Meafaigaluega lelei, 'au fa'apitoa e maua ai tupe mama, ma oloa ma auaunaga sili atu ona lelei pe a uma ona fa'atau atu; O i matou fo'i o se aiga ma fanau e autasi, o tagata uma e pipiimau i le manuia o le kamupani "tu'ufa'atasia, tuuto, ma le onosa'i" mo le lelei o le Silicon Carbide RBSIC/SISIC Cantilever Paddle e fa'aaogaina i le Solar Photovoltaic Industry, Matou te fa'afeiloa'i ma le fa'amaoni i pisinisi fa'avaomalo ma totonu o le atunu'u, ma matou te fa'amoemoe e galulue fa'atasi ma oe i se taimi lata mai!
Meafaigaluega lelei, 'au fa'apitoa e maua ai tupe mama, ma oloa ma auaunaga sili atu ona lelei pe a uma ona fa'atau atu; O i matou fo'i o se aiga ma fanau e autasi, o tagata uma e pipi'i i le manuia o le kamupani "tu'ufa'atasia, tuuto, onosa'i" moSaina Keramika e le mafai ona fa'aaogaina ma ogaumu seramika, Ina ia faʻamalieina manaʻoga o tagata faʻatau mo se tautua sili atu ona lelei ma oloa mautu. Matou te taliaina ma le agalelei tagata faʻatau i le lalolagi atoa e asiasi mai ia i matou, faʻatasi ai ma la matou galulue faʻatasi e tele ona itu, ma faʻatasi ona atiina ae ni maketi fou, ma fausia ai se lumanaʻi manuia!
Ufiufi SiC/ufiufi i le substrate Graphite mo Semiconductor E taofia ma fa'avevela e susceptors ni semiconductor wafers i le taimi o le fa'agasologaina o le vevela. O se susceptor e faia i se mea e mitiia ai le malosi e ala i le induction, conduction, ma/po'o le radiation ma fa'avevela ai le wafer. O lona tete'e atu i le te'i vevela, le fa'atinoina o le vevela, ma le mama e taua tele i le vave fa'agasologaina o le vevela (RTP). O le graphite ua ufiufi i le silicone carbide, silicon carbide (SiC), ma le silicon (Si) e masani ona fa'aaogaina mo susceptors e fa'atatau i le siosiomaga fa'apitoa o le vevela ma vaila'au. O le PureSiC® CVD SiC ma le ClearCarbon™ ultra-pure e tu'uina atu ai le mautu sili atu i le vevela, tete'e atu i le 'ele, ma le tumau. Fa'amatalaga o le Oloa
O le ufiufi SiC o le substrate Graphite mo galuega Semiconductor e maua ai se vaega e sili ona mama ma tete'e atu i le ea fa'a'okesaita.
E fa'aoga le CVD SiC po'o le CVI SiC i le Graphite o vaega faigofie pe faigata. E mafai ona fa'aoga le vali i mafiafia eseese ma vaega tetele.
O keramika fa'atekinolosi o se filifiliga masani mo fa'aoga fa'avevela o semiconductor e aofia ai le RTP (Rapid Thermal Processing), Epi (Epitaxial), diffusion, oxidation, ma le annealing. O lo'o tu'uina atu e CoorsTek ni vaega fa'apitoa o meafaitino ua mamanuina fa'apitoa e tete'e atu ai i te'i vevela ma le mama maualuga, malosi, ma le fa'atinoga e mafai ona toe faia mo le vevela maualuga.
Fa'amatalaga:
· Tete'e Sili Ona Lelei i le Te'i Fa'avevela
· Tete'e Lelei i Te'i Fa'aletino
· Tete'e Sili Ona Lelei i Vailaau Fa'akemikolo
· Mama Maualuga
· Mauaina i Foliga Faigata
· E mafai ona fa'aaogaina i lalo o le Ea Fa'a'okesaita
talosaga：
E manaʻomia ona ui atu se wafer i ni laʻasaga se tele aʻo leʻi sauni mo le faʻaaogaina i masini eletise. O se tasi o faiga taua o le silicon epitaxy, lea e feaveaʻi ai wafer i luga o graphite susceptors. O meatotino ma le lelei o susceptors e iai sona aafiaga taua i le lelei o le vaega epitaxial o le wafer.
Uiga Masani o le Meafaitino Fa'avae o le Graphite:
| Mafiafia e Vaaia: | 1.85 kalama/cm3 |
| Tete'e Fa'aeletise: | 11 μΩm |
| Malosiaga Fa'alava: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| Ma'a'a o le Matafaga: | 58 |
| Lefulefu: | <5ppm |
| Fa'avevela o le Tafega: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
Oloa Fa'aopoopo
