Hoogwaardige siliciumcarbide RBSIC/SISIC cantilever-peddel, gebruikt in de zonne-energie-industrie.

Korte beschrijving:

De bijzondere voordelen van onze met SiC gecoate grafietsusceptoren zijn de extreem hoge zuiverheid, de homogene coating en de uitstekende levensduur. Ze beschikken bovendien over een hoge chemische bestendigheid en thermische stabiliteit.

Bij het aanbrengen van de SiC-coating hanteren we zeer nauwe toleranties en gebruiken we uiterst nauwkeurige bewerkingstechnieken om een uniform susceptorprofiel te garanderen. We produceren tevens materialen met ideale elektrische weerstandseigenschappen voor gebruik in inductief verwarmde systemen. Alle afgewerkte componenten worden geleverd met een certificaat van zuiverheid en dimensionale conformiteit..

Stuur ons een e-mail. Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

Goed functionerende machines, een deskundig team en uitstekende producten en diensten na de verkoop; we zijn een hechte familie, waarbij iedereen de bedrijfswaarden "eenheid, toewijding en tolerantie" onderschrijft. Wij leveren hoogwaardige siliciumcarbide RBSIC/SISIC cantilever paddles voor de zonne-energie-industrie. We verwelkomen oprecht zowel binnenlandse als buitenlandse zakenpartners en hopen op de lange termijn met u samen te werken!
Goed functionerende machines, een deskundig team en veel betere producten en diensten na de verkoop; we zijn ook een hechte familie, waarbij iedereen zich houdt aan de bedrijfswaarden "eenheid, toewijding, tolerantie".Vuurvast keramiek en keramische ovens uit ChinaOm aan de specifieke eisen van onze klanten te voldoen, bieden we steeds betere service en producten van constante kwaliteit. We verwelkomen klanten van over de hele wereld van harte om ons te bezoeken. Door middel van een veelzijdige samenwerking kunnen we samen nieuwe markten ontwikkelen en een schitterende toekomst creëren!

SiC-coating/bekleding van een grafietsubstraat voor halfgeleiders

Susceptors houden halfgeleiderwafers vast en verwarmen ze tijdens thermische processen. Een susceptor is gemaakt van een materiaal dat energie absorbeert door inductie, geleiding en/of straling en de wafer verwarmt. De thermische schokbestendigheid, thermische geleidbaarheid en zuiverheid zijn cruciaal voor snelle thermische processen (RTP). Siliciumcarbide-gecoat grafiet, siliciumcarbide (SiC) en silicium (Si) worden vaak gebruikt voor susceptors, afhankelijk van de specifieke thermische en chemische omgeving. PureSiC® CVD SiC en ClearCarbon™ ultra-zuiver materiaal bieden superieure thermische stabiliteit, corrosiebestendigheid en duurzaamheid.

Productbeschrijving

De SiC-coating van een grafietsubstraat voor halfgeleidertoepassingen levert een onderdeel op met een superieure zuiverheid en weerstand tegen oxiderende atmosfeer.
CVD SiC of CVI SiC wordt aangebracht op grafiet van eenvoudige of complexe onderdelen. De coating kan in verschillende diktes worden aangebracht en is geschikt voor zeer grote onderdelen.

SiC-coating/bekleding van een grafietsubstraat voor halfgeleiders

Technische keramiek is een voor de hand liggende keuze voor thermische verwerkingsprocessen in de halfgeleiderindustrie, waaronder RTP (Rapid Thermal Processing), Epi (Epitaxiaal), diffusie, oxidatie en gloeien. CoorsTek levert geavanceerde materiaalcomponenten die specifiek zijn ontworpen om thermische schokken te weerstaan, met een hoge zuiverheid, robuustheid en reproduceerbare prestaties bij hoge temperaturen.

Functies:
• Uitstekende thermische schokbestendigheid
• Uitstekende fysieke schokbestendigheid
• Uitstekende chemische bestendigheid
• Superhoge zuiverheid
• Beschikbaar in complexe vormen
• Bruikbaar in een oxiderende atmosfeer

sollicitatie:

Een wafer moet verschillende stappen doorlopen voordat deze klaar is voor gebruik in elektronische apparaten. Een belangrijk proces is siliciumepitaxie, waarbij de wafers op grafietsusceptoren worden gedragen. De eigenschappen en kwaliteit van de susceptoren hebben een cruciale invloed op de kwaliteit van de epitaxiale laag van de wafer.

Typische eigenschappen van basisgrafietmateriaal:

Schijnbare dichtheid:	1,85 g/cm3
Elektrische weerstand:	11 μΩm
Buigsterkte:	49 MPa (500 kgf/cm²)
Shore-hardheid:	58
As:	<5 ppm
Thermische geleidbaarheid:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)