Ferramentas bem administradas, equipe especializada em lucros e produtos e serviços pós-venda muito melhores; Somos também uma empresa unida, onde todos se dedicam ao valor da empresa de "união, dedicação e tolerância" para a fabricação de Cantilevers de Carboneto de Silício RBSIC/SISIC de alta qualidade, utilizados na indústria fotovoltaica solar. Damos as boas-vindas a parceiros comerciais nacionais e estrangeiros e esperamos operar com vocês em um futuro próximo!
Ferramentas bem administradas, equipe especializada em lucros e produtos e serviços pós-venda ainda melhores; também somos uma grande família unida, onde todos se dedicam ao valor da empresa: “união, dedicação e tolerância”.Forno cerâmico refratário e cerâmica da ChinaPara atender às necessidades específicas de cada cliente, oferecemos um serviço ainda mais impecável e produtos de qualidade consistente. Damos as boas-vindas a clientes do mundo todo para que nos visitem e, juntos, possamos cooperar em diversas frentes e desenvolver novos mercados, construindo um futuro brilhante!
Revestimento de SiC/revestimento de substrato de grafite para semicondutores Os susceptores seguram e aquecem os wafers semicondutores durante o processamento térmico. Um susceptor é feito de um material que absorve energia por indução, condução e/ou radiação e aquece o wafer. Sua resistência ao choque térmico, condutividade térmica e pureza são cruciais para o processamento térmico rápido (RTP). Grafite revestido com carbeto de silício, carbeto de silício (SiC) e silício (Si) são comumente usados como susceptores, dependendo do ambiente térmico e químico específico. PureSiC® CVD SiC e ClearCarbon™ são materiais ultrapuros que oferecem estabilidade térmica, resistência à corrosão e durabilidade superiores. Descrição do produto
O revestimento de SiC em substrato de grafite para aplicações em semicondutores produz uma peça com pureza superior e resistência a atmosferas oxidantes.
A deposição química de silício (SiC) por CVD ou CVI é aplicada ao grafite em peças de design simples ou complexo. O revestimento pode ser aplicado em diversas espessuras e em peças de grandes dimensões.

As cerâmicas técnicas são uma escolha natural para aplicações de processamento térmico de semicondutores, incluindo RTP (Processamento Térmico Rápido), Epi (Epitaxial), difusão, oxidação e recozimento. A CoorsTek fornece componentes de materiais avançados, projetados especificamente para suportar choques térmicos, com alta pureza, robustez e desempenho consistente em altas temperaturas.
Características:
• Excelente resistência ao choque térmico
• Excelente resistência a impactos físicos
• Excelente resistência química
• Pureza super elevada
• Disponibilidade em formatos complexos
• Pode ser usado em atmosfera oxidante.
aplicativo:
Um wafer precisa passar por diversas etapas antes de estar pronto para uso em dispositivos eletrônicos. Um processo importante é a epitaxia de silício, na qual os wafers são depositados sobre suportes de grafite. As propriedades e a qualidade dos suportes têm um efeito crucial na qualidade da camada epitaxial do wafer.
Propriedades típicas do material base de grafite:
| Densidade aparente: | 1,85 g/cm³ |
| Resistividade elétrica: | 11 μΩm |
| Resistência à flexão: | 49 MPa (500 kgf/cm²) |
| Dureza da costa: | 58 |
| Cinzas: | <5 ppm |
| Condutividade térmica: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
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