효율적인 장비, 전문적인 운영팀, 그리고 탁월한 사후 서비스까지 갖춘 저희는 "단결, 헌신, 관용"이라는 기업 이념을 바탕으로 태양광 산업에 사용되는 고품질 탄화규소 RBSIC/SISIC 캔틸레버 패들을 생산하며, 국내외 모든 비즈니스 파트너 여러분을 진심으로 환영하고, 가까운 미래에 함께 협력할 수 있기를 기대합니다!
효율적인 운영 시스템, 전문적인 수익 관리팀, 그리고 훨씬 뛰어난 사후 서비스까지 갖춘 저희는 "단결, 헌신, 관용"이라는 기업 가치를 모두가 공유하는 단결된 공동체입니다.중국 내화 세라믹 및 세라믹 가마고객 한 분 한 분의 요구에 부응하는 더욱 완벽한 서비스와 안정적인 품질의 제품을 제공하기 위해 노력합니다. 전 세계 고객 여러분의 방문을 진심으로 환영하며, 다방면의 협력을 통해 새로운 시장을 공동 개척하고 밝은 미래를 만들어 나가겠습니다!
반도체용 흑연 기판의 SiC 코팅/코팅 서셉터는 열처리 과정에서 반도체 웨이퍼를 고정하고 가열하는 역할을 합니다. 서셉터는 유도, 전도 및/또는 복사를 통해 에너지를 흡수하고 웨이퍼를 가열하는 재질로 만들어집니다. 서셉터의 열충격 저항성, 열전도율 및 순도는 고속 열처리(RTP)에 매우 중요합니다. 서셉터에는 특정 열 및 화학적 환경에 따라 탄화규소 코팅 흑연, 탄화규소(SiC) 및 실리콘(Si)이 일반적으로 사용됩니다. PureSiC® CVD SiC와 ClearCarbon™ 초고순도 소재는 탁월한 열 안정성, 내식성 및 내구성을 제공합니다. 제품 설명
반도체 응용 분야용 흑연 기판에 SiC 코팅을 하면 순도가 우수하고 산화 환경에 대한 저항성이 뛰어난 부품을 생산할 수 있습니다.
CVD SiC 또는 CVI SiC 코팅은 단순하거나 복잡한 디자인의 부품에 사용되는 흑연 표면에 적용됩니다. 코팅 두께는 다양하게 적용할 수 있으며 매우 큰 부품에도 적용 가능합니다.
기술 세라믹은 RTP(고속 열처리), 에피(에피택셜), 확산, 산화 및 어닐링을 포함한 반도체 열처리 응용 분야에 적합한 소재입니다. CoorsTek은 고온 환경에서 고순도, 견고성, 반복 가능한 성능을 제공하며 열충격을 견딜 수 있도록 특별히 설계된 첨단 소재 부품을 제공합니다.
특징:
• 뛰어난 열충격 저항성
• 뛰어난 물리적 충격 저항성
• 뛰어난 내화학성
• 초고순도
• 복잡한 형태로 제공 가능
산화성 분위기에서 사용 가능
애플리케이션:
웨이퍼는 전자 기기에 사용되기 전에 여러 단계를 거쳐야 합니다. 중요한 공정 중 하나는 실리콘 에피택시인데, 이 공정에서는 웨이퍼가 흑연 서셉터 위에 증착됩니다. 서셉터의 특성과 품질은 웨이퍼의 에피택시층 품질에 결정적인 영향을 미칩니다.
흑연 기본 소재의 일반적인 특성:
| 겉보기 밀도: | 1.85 g/cm3 |
| 전기 저항률: | 11 μΩm |
| 굽힘 강도: | 49 MPa (500kgf/cm2) |
| 쇼어 경도: | 58 |
| 금연 건강 증진 협회: | <5ppm |
| 열전도율: | 116 W/mK (100 kcal/mhr-℃) |
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