Palette cantilever en carbure de silicium RBSIC/SISIC de bonne qualité utilisée dans l'industrie solaire photovoltaïque

Brève description :

Nos suscepteurs en graphite revêtus de SiC présentent des avantages particuliers : une pureté extrêmement élevée, un revêtement homogène et une excellente durée de vie. Ils présentent également une résistance chimique et une stabilité thermique élevées.

Nous appliquons le revêtement SiC avec des tolérances très strictes, grâce à un usinage de haute précision garantissant un profil de suscepteur uniforme. Nous produisons également des matériaux aux propriétés de résistance électrique idéales pour les systèmes de chauffage par induction. Tous les composants finis sont accompagnés d'un certificat de pureté et de conformité dimensionnelle..

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Détails du produit

Étiquettes de produit

Des outils bien gérés, une équipe de profit experte et de bien meilleurs produits et services après-vente ; Nous avons également été un partenaire majeur unifié, chaque personne adhère à l'avantage de l'entreprise « unification, dévouement, tolérance » pour la palette en porte-à-faux en carbure de silicium RBSIC/SISIC de bonne qualité utilisée dans l'industrie solaire photovoltaïque, nous souhaitons la bienvenue sincèrement aux deux partenaires commerciaux étrangers et nationaux et espérons travailler avec vous à long terme !
Des outils bien gérés, une équipe de profit experte et des produits et services après-vente bien meilleurs ; nous avons également été un partenaire majeur unifié et chaque personne adhère aux avantages de l'entreprise « unification, dévouement, tolérance » pourCéramique réfractaire et four à céramique de ChineAfin de répondre aux exigences de chaque client, nous recherchons un service toujours plus irréprochable et des produits de qualité constante. Nous accueillons chaleureusement les clients du monde entier et, grâce à notre coopération multiforme, nous développons ensemble de nouveaux marchés et construisons un avenir prometteur.

Revêtement SiC/substrat en graphite pour semi-conducteur

Les suscepteurs maintiennent et chauffent les plaquettes de semi-conducteurs pendant le traitement thermique. Un suscepteur est constitué d'un matériau qui absorbe l'énergie par induction, conduction et/ou rayonnement et chauffe la plaquette. Sa résistance aux chocs thermiques, sa conductivité thermique et sa pureté sont essentielles au traitement thermique rapide (RTP). Le graphite revêtu de carbure de silicium, le carbure de silicium (SiC) et le silicium (Si) sont couramment utilisés pour les suscepteurs, en fonction de l'environnement thermique et chimique spécifique. PureSiC® CVD SiC et ClearCarbon™ sont des matériaux ultra-purs offrant une stabilité thermique, une résistance à la corrosion et une durabilité supérieures.

Description du produit

Le revêtement SiC du substrat en graphite pour les applications semi-conductrices produit une pièce d'une pureté et d'une résistance supérieures à l'atmosphère oxydante.
Le SiC CVD ou CVI est appliqué au graphite pour des pièces de conception simple ou complexe. Le revêtement peut être appliqué en différentes épaisseurs et sur de très grandes pièces.

Revêtement SiC/substrat en graphite pour semi-conducteur

Les céramiques techniques constituent un choix naturel pour les applications de traitement thermique des semi-conducteurs, notamment le RTP (traitement thermique rapide), l'épitaxie, la diffusion, l'oxydation et le recuit. CoorsTek propose des composants en matériaux avancés, spécialement conçus pour résister aux chocs thermiques, avec une pureté élevée, une robustesse et des performances reproductibles à haute température.

Caractéristiques:
· Excellente résistance aux chocs thermiques
· Excellente résistance aux chocs physiques
· Excellente résistance chimique
· Très haute pureté
· Disponibilité sous forme complexe
· Utilisable sous atmosphère oxydante

application:

Une plaquette doit franchir plusieurs étapes avant d'être prête à être utilisée dans des dispositifs électroniques. L'épitaxie du silicium est un procédé important, qui consiste à déposer les plaquettes sur des suscepteurs en graphite. Les propriétés et la qualité de ces suscepteurs ont un impact crucial sur la qualité de la couche épitaxiale de la plaquette.

Propriétés typiques du matériau de base en graphite :

Densité apparente :	1,85 g/cm3
Résistivité électrique :	11 μΩm
Résistance à la flexion :	49 MPa (500 kgf/cm2)
Dureté Shore :	58
Cendre:	<5 ppm
Conductivité thermique :	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)