Graphitträger für den PECVD-Prozess

Kurze Beschreibung:

VET EnergieDas PECVD-Graphitschiffchen für Solarmodule ist eine fortschrittliche Komponente, die speziell für die Herstellung von Hochleistungs-Solarmodulen entwickelt wurde. Dieses Graphitschiffchen wird in plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidungsprozessen (PECVD) eingesetzt und gewährleistet optimales Materialhandling und gleichmäßige Abscheidung dünner Schichten auf Solarzellen. Es ist auf Präzision und Langlebigkeit ausgelegt und bietet hervorragende Wärmeleitfähigkeit, hohe Korrosionsbeständigkeit und minimale Verunreinigungen – unerlässlich für die Herstellung effizienter und hochwertiger Solarmodule.

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Produktdetail

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VET EnergieDer PECVD-Prozess-Graphitträger ist ein hochwertiges Verbrauchsmaterial, das speziell für den PECVD-Prozess (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung) entwickelt wurde. Dieser Graphitträger besteht aus hochreinem, hochdichtem Graphitmaterial mit ausgezeichneter Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, Dimensionsstabilität und weiteren Eigenschaften. Er bietet eine stabile Trägerplattform für den PECVD-Prozess und gewährleistet die Gleichmäßigkeit und Ebenheit der Dünnschichtabscheidung.

Graphitträger für den PECVD-Prozess haben die folgenden Eigenschaften:

▪ Hohe Reinheit: extrem niedriger Verunreinigungsgehalt, wodurch eine Kontamination des Films vermieden und die Filmqualität sichergestellt wird.

▪ Hohe Dichte: Hohe Dichte, hohe mechanische Festigkeit, hält hohen Temperaturen und hohem Druck in einer PECVD-Umgebung stand.

▪ Gute Dimensionsstabilität: geringe Dimensionsänderung bei hohen Temperaturen, wodurch Prozessstabilität gewährleistet wird.

▪ Hervorragende Wärmeleitfähigkeit: Effektive Wärmeübertragung, um eine Überhitzung des Wafers zu verhindern.

▪ Hohe Korrosionsbeständigkeit: beständig gegen Erosion durch verschiedene korrosive Gase und Plasma.

▪ Kundenspezifischer Service: Graphitträger unterschiedlicher Größe und Form können entsprechend den Kundenanforderungen individuell angepasst werden.

Graphitwerkstoff von SGL:

Typischer Parameter: R6510
Index	Prüfnorm	Wert	Einheit
Durchschnittliche Korngröße	ISO 13320	10	μm
Schüttdichte	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Offene Porosität	DIN66133	10	%
Mittlere Porengröße	DIN66133	1.8	μm
Permeabilität	DIN 51935	0,06	cm²/s
Rockwellhärte HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spezifischer elektrischer Widerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Biegefestigkeit	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druckfestigkeit	DIN 51910	130	MPa
Elastizitätsmodul	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Wärmeausdehnung (20–200 °C)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Wärmeleitfähigkeit (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Es wurde speziell für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen entwickelt und unterstützt die Verarbeitung großer G12-Wafer. Das optimierte Trägerdesign erhöht den Durchsatz deutlich und ermöglicht höhere Erträge und niedrigere Produktionskosten.

Artikel	Typ	Nummer Waferträger
PEVCD Grephite Boot - Die 156er Serie	156-13 Grephitboot	144
	156-19 Grephitboot	216
	156-21 Grephite-Boot	240
	156-23 Graphitboot	308
PEVCD Grephite Boot - Die 125er Serie	125-15 Grephite-Boot	196
	125-19 Grephite-Boot	252
	125-21 Graphitboot	280