Δακτύλιος εστίασης επίστρωσης CVD

Σύντομη Περιγραφή:

Ο δακτύλιος εστίασης με επίστρωση CVD για χάραξη με πλάσμα έχει σχεδιαστεί για να βελτιστοποιεί την κατανομή του πλάσματος και να βελτιώνει την ομοιομορφία της χάραξης σε προηγμένα συστήματα χάραξης. Διαθέτοντας ένα ανθεκτικό υπόστρωμα Si ή SiC σε συνδυασμό με επίστρωση CVD SiC υψηλής καθαρότητας, προσφέρει ανώτερη αντοχή στο πλάσμα, εξαιρετικά χαμηλή παραγωγή σωματιδίων και εκτεταμένη διάρκεια ζωής. Χρησιμοποιείται ευρέως σε διαδικασίες χάραξης με πλάσμα ICP και CCP, αυτός ο δακτύλιος εστίασης ελαχιστοποιεί αποτελεσματικά τις επιπτώσεις των ακμών, σταθεροποιεί τη συμπεριφορά των ιόντων και προστατεύει τα εξαρτήματα του θαλάμου από τη διάβρωση και τη μόλυνση. Είναι ένα απαραίτητο αναλώσιμο για την επίτευξη υψηλής απόδοσης και συνέπειας της διαδικασίας στην προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρειες προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Ο δακτύλιος εστίασης επίστρωσης CVD για χάραξη με πλάσμα είναι ένα κρίσιμο αναλώσιμο εξάρτημα που χρησιμοποιείται σε προηγμένα συστήματα χάραξης ημιαγωγών. Κατασκευασμένο με σύνθετη δομή υποστρώματος + επίστρωση CVD, αυτό το προϊόν έχει σχεδιαστεί για να βελτιστοποιεί την κατανομή πλάσματος, να βελτιώνει την ομοιομορφία χάραξης και να παρατείνει τη διάρκεια ζωής των εξαρτημάτων του θαλάμου.

Στην Vet Energy, αξιοποιούμε την βαθιά μας εμπειρία στην τεχνολογία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD) και σε προηγμένα κεραμικά υλικά για να παρέχουμε δακτυλίους εστίασης που πληρούν τις αυστηρές απαιτήσεις των σύγχρονων ημιαγωγικών κόμβων, συμπεριλαμβανομένων των διεργασιών FinFET και 3D NAND.

Ο ρόλος του δακτυλίου εστίασης στη χάραξη με πλάσμα

Στα συστήματα χάραξης με πλάσμα (όπως οι αντιδραστήρες ICP και CCP), ο δακτύλιος εστίασης τοποθετείται γύρω από την άκρη του πλακιδίου και παίζει ζωτικό ρόλο στη σταθερότητα της διεργασίας και την απόδοση.

1. Έλεγχος ομοιομορφίας πλάσματος

Ο δακτύλιος εστίασης λειτουργεί ως ηλεκτρικό και φυσικό όριο που βοηθά στη ρύθμιση της κατανομής της πυκνότητας πλάσματος στην επιφάνεια του πλακιδίου.

Βασικά οφέλη:

● Βελτιωμένη ομοιομορφία ρυθμού χάραξης
● Μειωμένη διακύμανση από κέντρο σε άκρη
● Βελτιωμένη επαναληψιμότητα διεργασίας

2. Αντιστάθμιση φαινομένου ακμής

Χωρίς δακτύλιο εστίασης, η παραμόρφωση του περιβλήματος πλάσματος στην άκρη της πλακέτας μπορεί να οδηγήσει σε μη ομοιόμορφη χάραξη.

Ο δακτύλιος εστίασης λειτουργεί αποτελεσματικά ως «εικονική επέκταση πλακιδίου», ελαχιστοποιώντας τις ανωμαλίες που σχετίζονται με τις άκρες, όπως:

● Υπερβολική χάραξη στις άκρες των πλακιδίων
● Απόκλιση κρίσιμης διάστασης (CD)
● Παραμόρφωση προφίλ

3. Τροχιά Ιόντων και Έλεγχος Ενέργειας

Επηρεάζοντας το τοπικό ηλεκτρικό πεδίο, ο δακτύλιος εστίασης βοηθά στη σταθεροποίηση των γωνιών πρόσπτωσης ιόντων και της κατανομής ενέργειας, κάτι που είναι κρίσιμο για:

● Χάραξη υψηλής αναλογίας διαστάσεων (HAR)
● Έλεγχος ανισότροπου προφίλ
● Μειωμένη ζημιά στα πλευρικά τοιχώματα