Tar éis anceirmeachDéantar an tsubstráit a shintéiriú agus a fhoirmiú, ní mór a dhromchla a mhiotalú, agus ansin déantar an patrún dromchla trí aistriú íomhá chun feidhmíocht nasc leictreach an tsubstráit cheirmeach a bhaint amach. Is céim ríthábhachtach i ndéantúsaíocht foshraitheanna ceirmeacha é miotalú dromchla. Tá sé seo amhlaidh toisc go gcinneann cumas fliuchta miotail le dromchlaí ceirmeacha ag teochtaí arda an fórsa nasctha idir miotail agus criadóireacht. Is ráthaíocht thábhachtach é fórsa nasctha maith do chobhsaíocht fheidhmíocht phacáistithe LED. Faoi láthair, is féidir na modhanna miotalaithe coitianta ar dhromchlaí ceirmeacha a aicmiú go garbh i roinnt foirmeacha, lena n-áirítear modhanna comh-dhó (HTCC agus LTCC), modh scannáin thiubh (TFC), modh taiscthe copair dhírigh (DBC), modh taiscthe alúmanaim dhírigh (DBA), agus modh scannáin tanaí (DPC)
Modh Comh-lámhaigh (HTCC/LTCC)
Tá dhá chineál modhanna comh-dhóite ann: ceann amháin is ea comh-dhóite ardteochta (HTCC), agus an ceann eile is ea comh-dhóite ísealteochta (LTCC). Tá sreabhadh próisis an dá cheann mar an gcéanna go bunúsach. Áirítear ar phríomhshreabhadh an phróisis táirgthe ullmhú sloda, stiallacha a réitigh agus a ghiniúint, comhlachtaí glasa a thriomú, poill trí dhruileáil, priontáil scáileáin agus poill a líonadh, ciorcaid phriontála scáileáin, sraitheadh agus sintéiriú, agus an slisniú deiridh agus próisis iarchóireála eile. Measctar púdar alúmana le ceanglóirí orgánacha chun sloda a dhéanamh, agus ansin próiseáiltear an sloda ina bhileoga le scríobán. Tar éis a thriomú, cruthaítear comhlacht glas ceirmeach [10]. Ansin, de réir na gceanglas dearaidh, próiseáiltear poill trí ar an gcomhlacht glas agus líontar iad le púdar miotail. Tá dromchla an chomhlachta ghlasa brataithe le patrún líne trí theicneolaíocht phriontála scáileáin. Ar deireadh, cruachtar agus brúitear comhlachtaí glasa gach sraithe le chéile, agus ansin sintéirítear agus cruthaítear iad san fhoirnéis chomh-dhóite. Cé go bhfuil próisis an dá mhodh comh-dhóite beagnach mar an gcéanna, athraíonn na teochtaí sintéirithe go mór. Is é 1300 go 1600℃ an teocht chomh-dhóite do HTCC, agus is é 850 go 900℃ an teocht shintéirithe do LTCC. Is é an phríomhchúis leis an difríocht seo ná go bhfuil ábhair ghloine sa sloda shintéirithe LTCC ar féidir leo an teocht shintéirithe a ísliú, nach bhfuil i láthair sa sloda chomh-dhóite HTCC. Cé gur féidir le hábhair ghloine an teocht shintéirithe a ísliú, bíonn laghdú suntasach ar sheoltacht theirmeach an tsubstráit mar thoradh orthu.
Scannán Tiubh Ceirmeach (TFC)
Tagraíonn an modh scannáin thiubh don phróiseas monaraíochta ina ndéantar greamaigh sheoltaí a sciathú go díreach ar an tsubstráit cheirmeach trí phriontáil scáileáin, agus ansin greamaítear an ciseal miotail go daingean leis an tsubstráit cheirmeach trí shintéiriú ardteochta. Is fachtóir ríthábhachtach é rogha an tslada seoltaí scannáin thiubh chun an próiseas scannáin thiubh a chinneadh. Tá sé comhdhéanta de chéim fheidhmiúil (i.e., púdar miotail le méid cáithníní níos lú ná 2μm), céim ceanglóra (ceanglóir), agus iompróir orgánach. I measc na bpúdair miotail choitianta tá Au, Pt, Au/Pt, Au/Pd, Ag, Ag/Pt, Ag/Pd, Cu, Ni, Al agus W, agus is iad sladraí Ag, Ag/Pd agus Cu is coitianta. De ghnáth is ábhar gloine, ocsaíd miotail nó meascán den dá rud an ceanglóir. Is é a fheidhm an criadóireacht agus an miotal a nascadh agus greamaitheacht an tsladáin scannáin thiubh leis an gcriadóireacht bhunúsach a chinneadh. Is í an eochair í chun sladraí scannáin thiubh a tháirgeadh. Is é príomhfheidhm an iompróra orgánaigh an chéim fheidhmiúil agus an chéim ceanglóra a scaipeadh, agus slaodacht áirithe den tsladán scannáin thiubh á choinneáil chun ullmhú don phriontáil scáileáin ina dhiaidh sin. Déanfaidh sé so-ghalú de réir a chéile le linn an phróisis shintéirithe.
Copar Nasctha Díreach (DBC)
Is modh miotalaithe é DBC chun scragall copair a nascadh ar dhromchlaí ceirmeacha (Al2O3 agus AlN den chuid is mó). Is próiseas nua é a forbraíodh le teacht chun cinn na teicneolaíochta pacáistithe sliseanna ar Bhord (COB). Is é an prionsabal bunúsach eilimintí ocsaigine a thabhairt isteach idir Cu agus criadóireacht, agus ansin céim leachtach eiteicteach Cu/O a fhoirmiú ag 1065 go 1083 ℃. Imoibríonn an chéim seo ansin leis an maitrís ceirmeach agus leis an scragall copair chun CuAlO2 nó Cu(AlO2)2 a ghiniúint, agus faoi ghníomh na céime idirmheánaí, nasctar an scragall copair leis an maitrís. Ós rud é go mbaineann AlN le criadóireacht neamh-ocsaíd, is é an eochair do sciath copair ar a dhromchla ná ciseal trasdula Al2O3 a fhoirmiú ar a dhromchla, agus nascadh éifeachtach a bhaint amach idir an scragall copair agus an criadóireacht bhunúsach faoi ghníomh na ciseal trasdula.
Alúmanam Díreach Nasctha (DAB)
Baineann an modh sciath dhíreach alúmanaim leas as an bhfliuchacht mhaith atá ag alúmanam le criadóireacht i riocht leachtach chun nascadh an dá rud a bhaint amach. Nuair a ardaíonn an teocht os cionn 660℃, leachtaíonn an t-alúmanam soladach. Tar éis don alúmanam leachtach an dromchla criadóireachta a fhliuchadh, de réir mar a thiteann an teocht, criostalaíonn agus fásann na núicléis criostail a sholáthraíonn an t-alúmanam ar an dromchla criadóireachta. Nuair a fhuaraítear go teocht an tseomra é, baintear amach teaglaim an dá rud. Mar gheall ar imoibríocht ard alúmanaim, tá sé seans maith go n-ocsaídeofar é ag teochtaí arda chun scannán Al2O3 a fhoirmiú atá ann ar dhromchla an leachta alúmanaim, rud a laghdaíonn go suntasach infhliuchacht an leachta alúmanaim ar dhromchla criadóireachta agus a fhágann go bhfuil sé deacair nascadh a bhaint amach. Dá bhrí sin, ní mór é a bhaint roimh nascadh nó ba chóir an nascadh a dhéanamh faoi choinníollacha saor ó ocsaigin. Ghlac Peng Rong et al. [23,27] leis an modh réitigh bás-mhúnla graifíte chun alúmanam leáite íon a scaipeadh ar dhromchlaí an tsubstráit Al2O3 agus an tsubstráit AlN faoi bhrú. Mar gheall ar easpa leachtachta an scannáin Al2O3, d'fhan sé i gcuas an mhúnla. Tar éis fuaraithe, fuarthas foshraith DAB dea-nasctha.
Copar Plátáilte Díreach (DPC)
Is próiseas é an modh scannáin thanaí a úsáideann taisceadh gaile fisiceach (amhail galú folúis, spútaradh maighnéadrón, srl.) agus teicnící eile den chuid is mó chun ciseal miotail a fhoirmiú ar dhromchla criadóireachta, agus ansin úsáideann sé mascáil, greanadh agus oibríochtaí eile chun ciseal ciorcaid miotail a fhoirmiú. Ina measc, is é taisceadh gaile fisiceach an próiseas monaraíochta scannán tanaí is coitianta.
Am an phoist: 16 Iúil 2025