Ka dib markiidhoobadaSubstrate-ka waa la simi karaa oo la sameeyaa, dusha sarena waa in la bireeyaa, ka dibna qaabka dusha sare waxaa lagu sameeyaa wareejinta sawirka si loo gaaro waxqabadka isku xirka korantada ee substrate-ka dhoobada ah. Birta dusha sare waa tallaabo muhiim ah oo lagu sameeyo substrate-ka dhoobada ah. Tani waa sababta oo ah awoodda qoynta biraha ee dusha sare ee dhoobada heerkulka sare waxay go'aamisaa xoogga isku xirka ee u dhexeeya biraha iyo dhoobada. Xoogga isku xirka wanaagsan waa dammaanad muhiim ah oo loogu talagalay xasilloonida waxqabadka baakadaha LED. Waqtigan xaadirka ah, hababka birta ee caadiga ah ee dusha sare ee dhoobada waxaa si qiyaas ah loogu kala saari karaa dhowr nooc, oo ay ku jiraan hababka isku-gubashada (HTCC iyo LTCC), habka filimka qaro weyn (TFC), habka dhigista naxaasta tooska ah (DBC), habka dhigista aluminiumka tooska ah (DBA), iyo habka filimka khafiifka ah (DPC)
Habka Isku-dubaridka (HTCC/LTCC)
Waxaa jira laba nooc oo habab isku-dubarid ah: mid waa isku-dubarid heerkul sare leh (HTCC), kan kalena waa isku-dubarid heerkul hooseeya (LTCC). Socodka habka labaduba asal ahaan waa isku mid. Socodka habka wax soo saarka ugu weyn waxaa ka mid ah diyaarinta isku-darka, tuurista iyo soo saarista xariijimaha, qalajinta jirka cagaaran, qodista godadka, daabacaadda shaashadda iyo buuxinta godadka, wareegyada daabacaadda shaashadda, lakabaynta iyo sintering, iyo jarista kama dambaysta ah iyo hababka kale ee daaweynta ka dib. Budada Alumina waxaa lagu qasaa xidhmooyin dabiici ah si ay u sameeyaan isku-darka, ka dibna isku-darka waxaa loo farsameeyaa xaashiyo xoqan. Ka dib marka la qalajiyo, jir cagaaran oo dhoobo ah ayaa la sameeyaa [10]. Kadib, sida waafaqsan shuruudaha naqshadeynta, godadka waxaa lagu farsameeyaa jirka cagaaran waxaana lagu buuxiyaa budada birta. Dusha sare ee jirka cagaaran waxaa lagu dahaadhay qaab xariiq iyadoo la adeegsanayo tiknoolajiyada daabacaadda shaashadda. Ugu dambeyntii, jirrada cagaaran ee lakab kasta waa la isku dhejiyaa oo la isku cadaadiyaa, ka dibna lagu simiyaa oo lagu sameeyaa foornada isku-dubaridka. Inkasta oo hababka labada hab ee isku-dubaridka ay qiyaastii isku mid yihiin, heerkulka isku-dubaridku aad ayuu u kala duwan yahay. Heerkulka isku-darka ee HTCC waa 1300 ilaa 1600℃, halka heerkulka sintering-ka ee LTCC uu yahay 850 ilaa 900℃. Sababta ugu weyn ee farqigan waxay ku jirtaa xaqiiqda ah in sintering-ka LTCC uu ka kooban yahay walxo galaas ah oo hoos u dhigi kara heerkulka sintering-ka, kuwaas oo aan ku jirin sintering-ka HTCC ee isku-darka ah. Inkasta oo walxaha galaaska ay hoos u dhigi karaan heerkulka sintering-ka, waxay horseedi karaan hoos u dhac weyn oo ku yimaada kulaylka kulaylka ee substrate-ka.
Dhoobada Filim Qaro weyn (TFC)
Habka filimka qaro weyn wuxuu tilmaamayaa habka wax soo saarka kaas oo koolada gudbisa si toos ah loogu dahaadho substrate-ka dhoobada iyadoo la adeegsanayo daabacaadda shaashadda, ka dibna lakabka birta ah si adag loogu dhejiyo substrate-ka dhoobada iyada oo loo marayo sintering heerkul sare leh. Xulashada slurry-ka gudbiyaha filimka qaro weyn waa qodob muhiim ah oo lagu go'aaminayo habka filimka qaro weyn. Waxay ka kooban tahay marxalad shaqeyneysa (tusaale ahaan, budada birta ah oo leh cabbir walax ah oo ka yar 2μm), marxaladda xidhitaanka (xidhka), iyo side dabiici ah. Budada birta caadiga ah waxaa ka mid ah Au, Pt, Au/Pt, Au/Pd, Ag, Ag/Pt, Ag/Pd, Cu, Ni, Al iyo W, kuwaas oo Ag, Ag/Pd iyo slurries-ka Cu ay yihiin kuwa ugu badan. Xidhku guud ahaan waa walxo galaas ah, oksaydh bir ah ama isku darka labadaba. Shaqadiisu waa inay isku xirto dhoobada iyo birta oo ay go'aamiso isku dhejinta slurry-ka qaro weyn ee dhoobada salka ah. Waa furaha soo saarista slurry-ka qaro weyn. Shaqada ugu weyn ee side-ka dabiiciga ah waa inuu kala firdhiyo wejiga shaqada iyo wejiga xidhitaanka, iyadoo la ilaalinayo isku-dhafnaan gaar ah oo ah dareeraha filimka qaro weyn si loogu diyaariyo daabacaadda shaashadda ee xigta. Si tartiib tartiib ah ayay u lumi doontaa inta lagu jiro habka sintering-ka.
Naxaas Toos ah oo Ku Xidhan (DBC)
DBC waa hab bir-dhalin ah oo lagu xidho bir-dhalin naxaas ah oo ku taal dusha dhoobada (badanaa Al2O3 iyo AlN). Waa hab cusub oo la sameeyay iyadoo la kor u qaadayo tignoolajiyada baakadaha ee jajabka ah ee loo yaqaan 'board on Board (COB). Mabda'a aasaasiga ah waa in la soo bandhigo walxaha oksijiinta ee u dhexeeya Cu iyo dhoobada, ka dibna la sameeyo wejiga dareeraha ah ee Cu/O eutectic 1065 ilaa 1083℃. Marxaladdani waxay markaa la falgashaa matrix-ka dhoobada iyo bir-dhalin naxaas ah si loo soo saaro CuAlO2 ama Cu(AlO2)2, iyadoo hoos timaada tallaabada marxaladda dhexe, bir-dhalin naxaas ah ayaa lagu xidhaa matrix-ka. Maadaama Al N ay ka tirsan tahay dhoobada aan oksaydhka ahayn, furaha dahaarka naxaasta ee dusha sare ku yaal wuxuu ku jiraa sameynta lakabka kala-guurka ee Al2O3 oo dusha sare ah, iyo gaarista isku-xidhnaan wax ku ool ah oo u dhexeeya bir-dhalin naxaas ah iyo bir-dhalin salka ah iyadoo la adeegsanayo lakabka kala-guurka.
Aluminium toos ah oo xiran (DAB)
Habka dahaarka tooska ah ee aluminiumka ayaa ka faa'iideysanaya qoyaanka wanaagsan ee aluminiumka ilaa dhoobada marka xaalad dareere ah la gaaro si loo gaaro isku xidhka labada. Marka heerkulku ka sarreeyo 660℃, dareeraha aluminiumka adag ayaa soo baxa. Ka dib marka aluminiumka dareeraha ah uu qooyo dusha dhoobada, marka heerkulku hoos u dhaco, nuclei-ga kiristaalka ah ee uu bixiyo aluminiumka dusha dhoobada ayaa noqda mid kiristaal ah oo kora. Marka la qaboojiyo heerkulka qolka, isku darka labada ayaa la gaaraa. Sababtoo ah falcelinta sare ee aluminiumka, waxay u nugul tahay oksaydheynta heerkulka sare si loo sameeyo filim Al2O3 ah oo ka jira dusha sare ee dareeraha aluminiumka, taasoo si weyn u yareyneysa qoyaanka dareeraha aluminiumka dusha sare ee dhoobada waxayna ka dhigaysaa isku xidhka mid adag in la gaaro. Sidaa darteed, waa in laga saaraa ka hor inta aan la isku xidhin ama isku xidhka waa in lagu sameeyaa xaalado aan ogsijiin lahayn. Peng Rong et al. [23,27] waxay qaateen habka loo sameeyo graphite caaryada si loogu faafiyo aluminium saafi ah oo dhalaalay dusha sare ee substrate-ka Al2O3 iyo substrate-ka AlN cadaadis. Sababtoo ah la'aanta dareeraha filimka Al2O3, waxay ku sii jirtay godka caaryada. Ka dib markii la qaboojiyey, waxaa la helay substrate DAB ah oo si fiican isugu xiran.
Naxaas Toos ah oo Lagu Dahaadhay (DPC)
Habka khafiifka ah ee filimka waa hab inta badan isticmaala kaydinta uumiga jirka (sida uumiga faakuumka, xoqidda magnetron, iwm.) iyo farsamooyin kale si loo sameeyo lakab bir ah oo dusha sare ee dhoobada ah, ka dibna loo isticmaalo maaskaro, xoqid iyo hawlgallo kale si loo sameeyo lakab wareeg bir ah. Kuwaas waxaa ka mid ah, kaydinta uumiga jirka waa habka ugu badan ee wax soo saarka filimka khafiifka ah.
Waqtiga boostada: Luulyo-16-2025