Lẹ́yìn náàseramikiA fi omi ṣan ilẹ, a sì ṣẹ̀dá ilẹ̀ rẹ̀, a gbọ́dọ̀ fi irin ṣe é, lẹ́yìn náà a ṣe àwòrán ojú ilẹ̀ náà nípasẹ̀ ìyípadà àwòrán láti ṣàṣeyọrí iṣẹ́ ìsopọ̀ iná mànàmáná ti ilẹ̀ seramiki náà. Ìṣẹ̀dá ojú ilẹ̀ jẹ́ ìgbésẹ̀ pàtàkì nínú ṣíṣe àwọn ilẹ̀ seramiki. Èyí jẹ́ nítorí pé agbára rírọ̀ àwọn irin sí àwọn ilẹ̀ seramiki ní iwọ̀n otútù gíga ló ń pinnu agbára ìsopọ̀ láàárín àwọn irin àti àwọn ilẹ̀ seramiki. Agbára ìsopọ̀ tó dára jẹ́ ìdánilójú pàtàkì fún ìdúróṣinṣin iṣẹ́ ìdìpọ̀ LED. Lọ́wọ́lọ́wọ́, a lè pín àwọn ọ̀nà ìsopọ̀ tí ó wọ́pọ̀ lórí àwọn ilẹ̀ seramiki sí onírúurú ọ̀nà, títí bí àwọn ọ̀nà ìsopọ̀ (HTCC àti LTCC), ọ̀nà fíìmù tí ó nípọn (TFC), ọ̀nà ìsopọ̀ bàbà taara (DBC), ọ̀nà ìsopọ̀ aluminiomu taara (DBA), àti ọ̀nà fíìmù tín-ín-rín (DPC)
Ọ̀nà Ìfọwọ́sowọ́pọ̀ (HTCC/LTCC)
Oríṣi ọ̀nà ìfọwọ́sowọ́pọ̀ méjì ló wà: ọ̀kan ni ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ooru gíga (HTCC), èkejì sì ni ìfọwọ́sowọ́pọ̀ ooru kékeré (LTCC). Ìṣàn iṣẹ́ méjèèjì jẹ́ bákan náà. Ìṣàn iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́ pàtàkì ni ìpèsè slurry, lílò àti ṣíṣe àwọn ìlà, gbígbẹ àwọn ewéko aláwọ̀ ewé, lílọ sínú ihò, títẹ̀ síta ibojú àti kíkún ihò, àwọn àyíká ìtẹ̀wé ibojú, fífẹ̀ àti sínẹ́rì, àti pípẹ́ ìkẹ́yìn àti àwọn ìlànà mìíràn lẹ́yìn ìtọ́jú. A máa da lulú Alumina pọ̀ mọ́ àwọn ohun èlò ìsopọ̀ organic láti ṣẹ̀dá slurry, lẹ́yìn náà a máa ṣe slurry náà sí àwọn ìwé pẹ̀lú scraper. Lẹ́yìn gbígbẹ, a máa ṣe ara ewéko seramiki [10]. Lẹ́yìn náà, gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun tí a béèrè fún, a máa ṣe àwọn ihò nípasẹ̀ ara ewéko náà a sì fi irin kún un. A máa fi àwòrán ìlà bo ojú ara ewéko náà nípa lílo ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtẹ̀wé ibojú. Níkẹyìn, a máa kó àwọn ewéko aláwọ̀ ewé ti ipele kọ̀ọ̀kan jọ, a sì máa tẹ̀ wọ́n pọ̀, a sì máa ṣe wọ́n sínú iná mànàmáná. Bó tilẹ̀ jẹ́ pé àwọn ọ̀nà ìfọwọ́sowọ́pọ̀ méjì náà jọra, ìwọ̀n otútù sínẹ́rì yàtọ̀ síra gidigidi. Iwọn otutu ti o so pọ fun HTCC jẹ 1300 si 1600℃, lakoko ti iwọn otutu ti o so pọ fun LTCC jẹ 850 si 900℃. Idi pataki fun iyatọ yii wa ni otitọ pe slurry ti o so pọ si LTCC ni awọn ohun elo gilasi ti o le dinku iwọn otutu ti o so pọ si, eyiti ko si ninu slurry ti o so pọ si HTCC. Biotilẹjẹpe awọn ohun elo gilasi le dinku iwọn otutu ti o so pọ si, wọn yori si idinku pataki ninu agbara agbara ooru ti substrate naa.
Seramiki Fiimu Siki (TFC)
Ọ̀nà fíìmù tó nípọn tọ́ka sí ìlànà ìṣelọ́pọ́ níbi tí a ti ń fi ìtẹ̀wé bo ìdàpọ̀ onírin náà tààrà sí orí ìsàlẹ̀ seramiki, lẹ́yìn náà a máa dì í mọ́ ìsàlẹ̀ seramiki náà dáadáa nípasẹ̀ síntering ooru gíga. Yíyan ìdàpọ̀ onírin tó nípọn jẹ́ kókó pàtàkì nínú pípinnu ìlànà fíìmù tó nípọn. Ó ní ìpele iṣẹ́ (ìyẹn ni, ìdàpọ̀ irin pẹ̀lú ìwọ̀n pàtákì tí kò tó 2μm), ìpele ìdàpọ̀ (ìdàpọ̀), àti ohun èlò ìrùsókè organic. Àwọn ìdàpọ̀ irin tó wọ́pọ̀ ní Au, Pt, Au/Pt, Au/Pd, Ag, Ag/Pt, Ag/Pd, Cu, Ni, Al àti W, lára èyí tí Ag, Ag/Pd àti Cu slurries jẹ́ èyí tó wọ́pọ̀ jùlọ. Ìdàpọ̀ náà sábà máa ń jẹ́ ohun èlò gilasi, oxide irin tàbí àdàpọ̀ méjèèjì. Iṣẹ́ rẹ̀ ni láti so seramiki àti irin pọ̀ kí ó sì pinnu ìsopọ̀ fíìmù tó nípọn mọ́ seramiki ìpìlẹ̀. Ó jẹ́ kọ́kọ́rọ́ sí ṣíṣe ìdàpọ̀ fíìmù tó nípọn. Iṣẹ́ pàtàkì ti ohun tí ó ń gbé e jáde láti inú organic ni láti tú ìpele iṣẹ́ àti ìpele ìsopọ̀ ká, nígbàtí ó ń pa ìfọ́jú díẹ̀ mọ́ ti fíìmù tí ó nípọn láti múra sílẹ̀ fún ìtẹ̀wé ìbòjú tí ó tẹ̀lé e. Yóò máa yọ́ díẹ̀díẹ̀ nígbà tí a bá ń ṣe síntering.
Ejò tí a so mọ́ tààrà (DBC)
DBC jẹ́ ọ̀nà ìṣẹ̀dá irin fún dídìpọ̀ fọ́ọ̀lì bàbà lórí àwọn ilẹ̀ seramiki (ní pàtàkì Al2O3 àti AlN). Ó jẹ́ ìlànà tuntun tí a ṣe pẹ̀lú ìdàgbàsókè ìmọ̀ ẹ̀rọ ìdìpọ̀ chip on Board (COB). Ìlànà ìpìlẹ̀ ni láti ṣe àgbékalẹ̀ àwọn èròjà atẹ́gùn láàárín Cu àti àwọn ohun èlò seramiki, lẹ́yìn náà kí ó ṣẹ̀dá ìpele omi Cu/O eutectic ní 1065 sí 1083℃. Ìpele yìí yóò ṣe àgbékalẹ̀ pẹ̀lú matrix seramiki àti fọ́ọ̀lì bàbà láti ṣe CuAlO2 tàbí Cu(AlO2)2, àti lábẹ́ ìṣiṣẹ́ ti ìpele àárín, fọ́ọ̀lì bàbà náà ni a so mọ́ matrix. Níwọ̀n ìgbà tí Al N jẹ́ ti àwọn ohun èlò seramiki tí kìí ṣe oxide, kọ́kọ́rọ́ sí ìbòrí bàbà lórí ojú rẹ̀ wà ní ṣíṣe ìpele ìyípadà Al2O3 lórí ojú rẹ̀, àti ṣíṣe àṣeyọrí ìsopọ̀ tó munadoko láàrín fọ́ọ̀lì bàbà àti seramiki ìpìlẹ̀ lábẹ́ ìṣiṣẹ́ ìpele ìyípadà.
Ti a fi Aluminiomu Sopọ Taara (DAB)
Ọ̀nà ìbòrí aluminiomu taara lo àǹfààní ìrọ̀rùn aluminiomu sí àwọn ohun èlò amọ̀ ní ipò omi láti ṣe àṣeyọrí ìsopọ̀ àwọn méjèèjì. Nígbà tí ìwọ̀n otútù bá ga ju 660℃ lọ, a máa ń tú omi aluminiomu líle. Lẹ́yìn tí omi aluminiomu bá ti tú omi sí ojú seramiki, bí ìwọ̀n otútù náà ṣe ń dínkù, àwọn ohun èlò amọ̀ tí aluminiomu pèsè lórí ojú seramiki náà máa ń tàn kálẹ̀, wọ́n sì máa ń dàgbàsókè. Nígbà tí ó bá tutù dé ìwọ̀n otútù yàrá, àpapọ̀ méjèèjì ni a máa ń ṣe. Nítorí ìṣiṣẹ́ gíga ti aluminiomu, ó máa ń jẹ́ kí ó máa gbóná ní àwọn ìwọ̀n otútù gíga láti ṣẹ̀dá fíìmù Al2O3 tí ó wà lórí ojú omi aluminiomu, èyí tí ó dín ìwọ̀n omi aluminiomu kù ní pàtàkì lórí ojú seramiki náà, tí ó sì ń mú kí ìsopọ̀ náà ṣòro láti ṣe. Nítorí náà, a gbọ́dọ̀ yọ ọ́ kúrò kí a tó so ó pọ̀ tàbí kí a ṣe ìsopọ̀ náà lábẹ́ àwọn ipò tí kò ní atẹ́gùn. Peng Rong àti àwọn ẹlòmíràn [23,27] lo ọ̀nà ìyọ́ graphite mold die-casting láti tan aluminiomu dídán mọ́ lórí àwọn ojú substrate Al2O3 àti substrate AlN lábẹ́ ìfúnpá. Nítorí àìní omi fíìmù Al2O3, ó wà nínú ihò mọ́ọ̀dì náà. Lẹ́yìn tí ó tutù tán, wọ́n rí ohun èlò DAB tí ó so mọ́ ara rẹ̀ dáadáa.
Ejò Tí A Fi Pàtàkì Pamọ́ (DPC)
Ọ̀nà tín-tín-fíìmù jẹ́ ìlànà kan tí ó sábà máa ń lo ìdènà èéfín ti ara (bí ìtújáde èéfín, ìtújáde magnetron, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ) àti àwọn ọ̀nà míràn láti ṣe ìpele irin lórí ojú àwọn ohun èlò amọ̀, lẹ́yìn náà ó máa ń lo ìbòjú, ìtẹ̀ àti àwọn iṣẹ́ míràn láti ṣe ìpele irin. Lára wọn, ìdènà èéfín ti ara ni ìlànà ṣíṣe fíìmù tinrin tí ó wọ́pọ̀ jùlọ.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-16-2025