Mgbe nke ahụ gasịrịseramiikiA na-eme ka ihe e ji mee ihe dị n'ime ala sie ike ma mepụta ya, a ga-eme ka elu ya dị ọcha, e mesịa, a na-eme ihe osise elu site na mbufe onyonyo iji nweta arụmọrụ njikọ eletriki nke ihe e ji mee ihe dị n'ime ala seramiiki. Nhazi ihe dị n'elu ala bụ nzọụkwụ dị mkpa n'ịmepụta ihe e ji mee ihe dị n'ime ala seramiiki. Nke a bụ n'ihi na ike mmiri nke ọla na elu seramiiki na okpomọkụ dị elu na-ekpebi ike njikọ dị n'etiti ọla na seramiiki. Ike njikọ dị mma bụ nkwa dị mkpa maka nkwụsi ike nke arụmọrụ nkwakọ ngwaahịa LED. Ugbu a, enwere ike kewaa ụzọ metallization nkịtị na elu seramiiki n'ọtụtụ ụdị, gụnyere ụzọ co-burning (HTCC na LTCC), usoro ihe nkiri dị arọ (TFC), usoro copper deposition direct (DBC), usoro aluminum deposition direct (DBA), na usoro ihe nkiri dị gịrịgịrị (DPC)
Ụzọ Njikọta Ọkụ (HTCC/LTCC)
E nwere ụdị ụzọ abụọ e si eji ọkụ eme ihe: otu bụ iji ọkụ eme ihe n'elu okpomọkụ (HTCC), nke ọzọ bụ iji ọkụ eme ihe n'okpuru okpomọkụ (LTCC). Usoro ha abụọ bụ otu. Usoro mmepụta bụ isi gụnyere nkwadebe mmiri, ịtụ ihe na imepụta ihe, ịkpọ nkụ ahụ akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ, igwu olulu, ibipụta ihe na ijuputa oghere, sekit mbipụta ihuenyo, ịkwa akwa na ịgbawa ihe, na ịkpụcha ihe ikpeazụ na usoro ndị ọzọ mgbe ọgwụgwọ gasịrị. A na-agwakọta ntụ ntụ alumina na ihe ndị e ji ejikọta ihe n'ime ihe ndị e ji ihe na-akpụcha ihe, wee jiri ihe e ji kpụọ ihe mee ihe n'ime mpempe akwụkwọ. Mgbe ọ kpọchara, a na-emepụta ahụ akwụkwọ ndụ seramiiki [10]. Mgbe ahụ, dịka ihe achọrọ maka imewe si dị, a na-esi n'ime oghere mee ihe n'ahụ akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ ma jupụta ya na ntụ ntụ ígwè. A na-eji usoro ahịrị ekpuchi elu ahụ akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ site na teknụzụ ibipụta ihe n'ihu. N'ikpeazụ, a na-ejikọta ahụ akwụkwọ ndụ akwụkwọ ndụ nke oyi akwa ọ bụla ma pịa ha ọnụ, wee sinte ma mepụta ha n'ime ọkụ ọkụ. Ọ bụ ezie na usoro nke ụzọ abụọ ahụ na-eji ọkụ eme ihe n'otu ihe ahụ, okpomọkụ ịgbawa ihe dị iche iche nke ukwuu. Okpomọkụ nke HTCC na-agba ọkụ bụ site na 1300 ruo 1600℃, ebe okpomọkụ nke LTCC na-agba ọkụ bụ site na 850 ruo 900℃. Isi ihe kpatara ọdịiche a bụ na slurry nke LTCC na-agba ọkụ nwere ihe iko nke nwere ike ibelata okpomọkụ nke sintering, nke na-adịghị na slurry nke HTCC na-agba ọkụ. Ọ bụ ezie na ihe iko nwere ike ibelata okpomọkụ sintering, ha na-eduga na mbelata dị ukwuu na ike okpomọkụ nke substrate ahụ.
Seramiiki Ihe Nkiri Dị Oke (TFC)
Usoro ihe nkiri dị oke arọ na-ezo aka n'usoro mmepụta nke a na-eji ekpuchi ihe mkpuchi ihe na-eduzi ihe na seramiiki site na mbipụta ihuenyo, wee rapara n'ogwe ígwè ahụ nke ọma na ihe mkpuchi seramiiki site na sintering okpomọkụ dị elu. Nhọrọ nke ihe mkpuchi ihe nkiri dị oke arọ bụ isi ihe na-ekpebi usoro ihe nkiri dị oke arọ. Ọ mejupụtara ya na usoro ọrụ (ya bụ, ntụ ntụ ígwè nwere nha ihe na-erughị 2μm), usoro ihe mkpuchi (ihe mkpuchi), na ihe na-ebu ihe organic. Ntụ ntụ ígwè a na-ahụkarị gụnyere Au, Pt, Au/Pt, Au/Pd, Ag, Ag/Pt, Ag/Pd, Cu, Ni, Al na W, nke Ag, Ag/Pd na ihe mkpuchi Cu bụ ihe a na-ahụkarị. Ihe mkpuchi ahụ bụ ihe iko, ihe mkpuchi metal ma ọ bụ ngwakọta nke ha abụọ. Ọrụ ya bụ ijikọ seramiiki na ígwè ahụ wee chọpụta njikọta nke ihe mkpuchi fim dị oke arọ na seramiiki ntọala. Ọ bụ isi ihe na-eme ka mmepụta ihe mkpuchi fim dị oke arọ. Isi ọrụ nke ihe na-ebu ihe ndị dị ndụ bụ ịgbasa usoro ọrụ na usoro ihe njikọ, ebe ọ na-ejigide obere viscosity nke ihe nkiri siri ike iji kwadebe maka mbipụta ihuenyo na-esote. Ọ ga-agbanwe nwayọ nwayọ n'oge usoro ihe na-esi ísì.
Ọla kọpa ejikọtara kpọmkwem (DBC)
DBC bụ usoro metallization maka ijikọ foil ọla kọpa n'elu seramiiki (karịsịa Al2O3 na AlN). Ọ bụ usoro ọhụrụ e mepụtara site na mmụba nke teknụzụ nkwakọ ngwaahịa chip on Board (COB). Isi ihe bụ itinye ihe oxygen n'etiti Cu na seramiiki, wee mepụta usoro mmiri Cu/O eutectic na 1065 ruo 1083℃. Usoro a na-emeghachi omume na matrix seramiiki na foil ọla kọpa iji mepụta CuAlO2 ma ọ bụ Cu(AlO2)2, na n'okpuru ọrụ nke usoro etiti, a na-ejikọ foil ọla kọpa na matrix. Ebe ọ bụ na Al N bụ nke seramiiki na-abụghị oxide, isi ihe dị na mkpuchi ọla kọpa n'elu ya dị n'ịmepụta oyi akwa mgbanwe Al2O3 n'elu ya, na inweta njikọ dị irè n'etiti foil ọla kọpa na seramiiki ntọala n'okpuru ọrụ nke oyi akwa mgbanwe.
Ejiri Aluminom Kpọọ (DAB)
Usoro mkpuchi aluminom kpọmkwem na-eji ezigbo mmiri nke aluminom na seramiiki eme ihe iji nweta njikọ nke ha abụọ. Mgbe okpomọkụ rịrị elu karịa 660℃, aluminom siri ike na-agbaze mmiri. Mgbe mmiri aluminom na-agbaze mmiri n'elu seramiiki ahụ, ka okpomọkụ na-ada, nuclei kristal nke aluminom na-enye n'elu seramiiki na-agbaze ma na-eto. Mgbe ọ dị jụụ ruo na okpomọkụ ụlọ, a na-enweta njikọta nke ha abụọ. N'ihi nnukwu mmeghachi omume nke aluminom, ọ na-adịkarị mfe oxidation na okpomọkụ dị elu iji mepụta ihe nkiri Al2O3 nke dị n'elu mmiri aluminom ahụ, na-ebelata nke ukwuu mmiri mmiri nke mmiri aluminom na elu seramiiki ahụ ma na-eme ka njikọ sie ike iru. Ya mere, a ga-ewepụ ya tupu ejikọta ya ma ọ bụ a ga-eme njikọ ahụ n'okpuru ọnọdụ enweghị oxygen. Peng Rong et al. [23,27] nakweere usoro nke ịkpụ ihe e ji graphite mee iji gbasaa aluminom a gbazere agbaze n'elu ihe Al2O3 na ihe AlN n'okpuru nrụgide. N'ihi enweghị mmiri mmiri nke ihe nkiri Al2O3, ọ nọgidere n'ime oghere ebu. Mgbe ha jụrụ oyi, e nwetara ihe mkpuchi DAB nke jikọtara nke ọma.
Ọla kọpa a pịrị apị kpọmkwem (DPC)
Usoro ihe nkiri dị gịrịgịrị bụ usoro nke na-ejikarị ihe ndị e ji etinye uzuoku anụ ahụ (dịka uzuoku ikuku, magnetron sputtering, wdg) na usoro ndị ọzọ iji mepụta akwa ígwè n'elu seramiiki, wee jiri ihe mkpuchi ihu, ihe e ji achọ mma na ọrụ ndị ọzọ mepụta akwa sekit ígwè. N'ime ha, ihe ndị e ji etinye uzuoku anụ ahụ bụ usoro mmepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị kachasị ewu ewu.
Oge ozi: Julaị-16-2025