KamoraletsopaSubstrate e siloa le ho etsoa, bokaholimo ba eona bo hloka ho etsoa ka tšepe, ebe mohlala oa bokaholimo o etsoa ka phetiso ea setšoantšo ho fihlela ts'ebetso ea khokahano ea motlakase ea substrate ea ceramic. Ho kopanya tšepe holim'a bokaholimo ke mohato oa bohlokoa tlhahisong ea li-substrate tsa ceramic. Lebaka ke hobane bokhoni ba ho kolobisa ba litšepe holim'a bokaholimo ba ceramic mochesong o phahameng bo khetholla matla a ho kopanya pakeng tsa litšepe le li-ceramic. Matla a matle a ho kopanya ke tiisetso ea bohlokoa bakeng sa botsitso ba ts'ebetso ea ho paka ea LED. Hona joale, mekhoa e tloaelehileng ea ho kopanya tšepe holim'a bokaholimo ba ceramic e ka aroloa ka mefuta e mengata, ho kenyeletsoa mekhoa ea ho chesa hammoho (HTCC le LTCC), mokhoa oa filimi e teteaneng (TFC), mokhoa oa ho beha koporo ka kotloloho (DBC), mokhoa oa ho beha aluminium ka kotloloho (DBA), le mokhoa oa filimi e tšesaane (DPC).
Mokhoa oa ho thunya hammoho (HTCC/LTCC)
Ho na le mefuta e 'meli ea mekhoa ea ho thunya hammoho: e 'ngoe ke ho thunya hammoho ka mocheso o phahameng (HTCC), 'me e 'ngoe ke ho thunya hammoho ka mocheso o tlase (LTCC). Phallo ea ts'ebetso ea bobeli e tšoana hantle. Phallo e kholo ea ts'ebetso ea tlhahiso e kenyelletsa ho lokisa slurry, ho lahla le ho hlahisa li-strips, ho omisa 'mele e tala, ho phunya ka masoba, ho hatisa skrineng le ho tlatsa masoba, lipotoloho tsa ho hatisa skrineng, ho beha le ho sinter, le ho seha ha ho qetela le mekhoa e meng ea kamora kalafo. Phofo ea alumina e kopanngoa le li-binder tsa tlhaho ho etsa slurry, ebe slurry e sebetsoa ka maqephe ka scraper. Kamora ho omisa, 'mele o motala oa ceramic oa thehoa [10]. Ebe, ho latela litlhoko tsa moralo, ka masoba ho sebetsoa 'meleng o motala 'me ho tlatsoa phofo ea tšepe. Bokaholimo ba 'mele o motala bo koahetsoe ka paterone ea mola ke theknoloji ea ho hatisa skrineng. Qetellong, 'mele o motala oa lera ka leng o bokelloa 'me oa hatelloa hammoho, ebe o sintered le ho etsoa ka ontong ea ho thunya hammoho. Le hoja mekhoa ea mekhoa e 'meli ea ho thunya hammoho e batla e tšoana, mocheso oa ho sinter o fapana haholo. Mocheso o kopanyang HTCC ke 1300 ho isa ho 1600℃, ha mocheso o kopanyang bakeng sa LTCC e le 850 ho isa ho 900℃. Lebaka le ka sehloohong la phapang ena le teng tabeng ea hore slurry ea LTCC e kopanyang e na le thepa ea khalase e ka fokotsang mocheso o kopanyang, e leng ntho e seng teng ka har'a slurry e kopanyang HTCC. Leha thepa ea khalase e ka fokotsa mocheso o kopanyang, e lebisa phokotsong e kholo ea motlakase oa substrate.
Filimi e Tetehileng ea Ceramic (TFC)
Mokhoa oa filimi e teteaneng o bolela mokhoa oa tlhahiso oo ho oona peista e tsamaisang motlakase e koahetsoeng ka ho toba holim'a substrate ea ceramic ka khatiso ea skrine, ebe lera la tšepe le khomareloa ka thata ho substrate ea ceramic ka ho sintering ea mocheso o phahameng. Khetho ea slurry ea conductor ea filimi e teteaneng ke ntlha ea bohlokoa ho khethoeng ha ts'ebetso ea filimi e teteaneng. E entsoe ka mohato o sebetsang (ke hore, phofo ea tšepe e nang le boholo ba likaroloana tse ka tlase ho 2μm), mohato oa binder (binder), le carrier ea organic. Phofo e tloaelehileng ea tšepe e kenyelletsa Au, Pt, Au/Pt, Au/Pd, Ag, Ag/Pt, Ag/Pd, Cu, Ni, Al le W, tseo har'a tsona Ag, Ag/Pd le Cu slurry e leng tsona tse atileng haholo. Binder hangata ke thepa ea khalase, oxide ea tšepe kapa motsoako oa tsona ka bobeli. Mosebetsi oa eona ke ho hokahanya ceramic le tšepe le ho fumana hore na slurry ea filimi e teteaneng e khomaretsoe ho ceramic ea motheo. Ke senotlolo sa tlhahiso ea slurry ea filimi e teteaneng. Mosebetsi o ka sehloohong oa sesebelisoa sa tlhaho ke ho hasanya karolo e sebetsang le karolo ea binder, ha ka nako e ts'oanang ho boloka viscosity e itseng ea lerōle le teteaneng la filimi ho lokisetsa khatiso ea skrine e latelang. E tla fokola butle-butle nakong ea ts'ebetso ea ho sila.
Koporo e Kopantsoeng ka ho Otloloha (DBC)
DBC ke mokhoa oa ho kopanya tšepe bakeng sa ho kopanya foil ea koporo holim'a libaka tsa ceramic (haholo-holo Al2O3 le AlN). Ke mokhoa o mocha o ntlafalitsoeng ka ho phahama ha theknoloji ea ho paka ea chip on Board (COB). Molao-motheo oa mantlha ke ho kenyelletsa likarolo tsa oksijene lipakeng tsa Cu le li-ceramics, ebe ho etsoa mokhahlelo oa mokelikeli oa Cu/O eutectic ho 1065 ho isa ho 1083℃. Mokhahlelo ona o arabela ka matrix ea ceramic le foil ea koporo ho hlahisa CuAlO2 kapa Cu(AlO2)2, 'me tlas'a ketso ea mokhahlelo o mahareng, foil ea koporo e hokahantsoe le matrix. Kaha Al N ke ea li-ceramics tse seng tsa oxide, senotlolo sa ho koahela koporo holim'a eona se lutse ho theheng lera la phetoho la Al2O3 holim'a eona, le ho fihlella tlamo e sebetsang pakeng tsa foil ea koporo le ceramic ea motheo tlas'a ketso ea lera la phetoho.
Aluminium e Kopantsoeng ka ho Otloloha (DAB)
Mokhoa oa ho koahela aluminium ka kotloloho o sebelisa monyetla oa ho kolobisa aluminium hantle ho li-ceramic tse boemong ba mokelikeli ho fihlela ho kopana ha tse peli. Ha mocheso o phahama ka holimo ho 660℃, aluminium e tiileng ea qhibiliha. Ka mor'a hore aluminium e metsi e kolobise bokaholimo ba ceramic, ha mocheso o theoha, li-nuclei tsa kristale tse fanoang ke aluminium holim'a bokaholimo ba ceramic lia kristaleha 'me lia hola. Ha li pholisitsoe mochesong oa kamore, motsoako oa tse peli oa finyelloa. Ka lebaka la ts'ebetso e phahameng ea aluminium, e sekamela ho oxidation mochesong o phahameng ho etsa filimi ea Al2O3 e teng holim'a mokelikeli oa aluminium, e fokotsang haholo ho kolobisa ha mokelikeli oa aluminium holim'a bokaholimo ba ceramic le ho etsa hore ho kopana ho be thata ho ho finyella. Ka hona, e tlameha ho tlosoa pele ho hokeloa kapa ho kopana ho lokela ho etsoa tlas'a maemo a se nang oksijene. Peng Rong et al. [23,27] ba amohetse mokhoa oa ho lahla hlobo ea graphite ho jala aluminium e hloekileng e qhibilihisitsoeng holim'a bokaholimo ba substrate ea Al2O3 le substrate ea AlN tlas'a khatello. Ka lebaka la ho hloka ho phalla ha filimi ea Al2O3, e ile ea lula ka har'a hlobo. Kamora ho pholile, ho ile ha fumanoa substrate ea DAB e kopantsoeng hantle.
Koporo e Tloaelehileng ka ho Otloloha (DPC)
Mokhoa oa filimi e tšesaane ke ts'ebetso e sebelisang haholo-holo ho beoa ha mouoane oa 'mele (joalo ka ho epolloa ha vacuum, ho sputtering ea magnetron, jj.) le mekhoa e meng ea ho etsa lera la tšepe holim'a li-ceramics, ebe e sebelisa ho pata, ho fata le mesebetsi e meng ho etsa lera la potoloho ea tšepe. Har'a tsona, ho beoa ha mouoane oa 'mele ke ts'ebetso e tloaelehileng ka ho fetisisa ea tlhahiso ea filimi e tšesaane.
Nako ea poso: Phupu-16-2025