GofrKoupe se youn nan lyen enpòtan nan pwodiksyon semi-kondiktè pouvwa. Etap sa a fèt pou separe avèk presizyon sikwi entegre endividyèl yo oswa chip yo ak waf semi-kondiktè yo.
Kle a pouwaflètkoupe a se pou kapab separe chip endividyèl yo pandan y ap asire ke estrikti delika yo ak sikui yo entegre nan lawaflètyo pa domaje. Siksè oswa echèk pwosesis koupe a pa sèlman afekte kalite separasyon an ak sede chip la, men li gen yon rapò dirèk tou ak efikasite tout pwosesis pwodiksyon an.
▲Twa kalite komen pou koupe waf | Sous: KLA CHINA
Kounye a, komen anwaflètPwosesis koupe yo divize an:
Koupe lam: pri ki ba, anjeneral yo itilize pou pi epègofr
Koupe lazè: pri ki wo, anjeneral yo itilize pou waf ki gen yon epesè plis pase 30μm
Koupe Plasma: pri ki wo, plis restriksyon, anjeneral yo itilize pou waf ki gen yon epesè mwens pase 30μm
Koupe lam mekanik
Koupe ak lam se yon pwosesis koupe sou liy tras la avèk yon disk moulen (lam) ki wotasyon rapid. Lam la anjeneral fèt ak yon materyèl dyaman abrazif oswa ultra-mens, ki apwopriye pou tranche oswa fè rainur sou waf silikon. Sepandan, kòm yon metòd koupe mekanik, koupe ak lam depann sou retire materyèl fizik, sa ki ka fasilman mennen nan fann oswa eklatman kwen chip la, kidonk afekte kalite pwodwi a epi diminye sede a.
Kalite pwodwi final la ki pwodui pa pwosesis si mekanik la afekte pa plizyè paramèt, tankou vitès koupe, epesè lam la, dyamèt lam la, ak vitès wotasyon lam la.
Koupe konplè se metòd koupe lam ki pi debaz la, ki koupe pyès la nèt lè li koupe sou yon materyèl fiks (tankou yon tep tranchan).
▲ Koupe lam mekanik - koupe konplè | Rezo sous imaj
Mwatye koupe se yon metòd pwosesis ki pwodui yon rainur lè yo koupe nan mitan pyès la. Lè yo kontinye fè pwosesis rainur la, yo ka pwodui pwent ki gen fòm peny ak zegwi.
▲ Koupe lam mekanik - koupe mwatye | Rezo sous imaj
Koupe doub se yon metòd pwosesis ki itilize yon si koupe doub ak de aks pou fè koupe konplè oswa mwatye sou de liy pwodiksyon an menm tan. Si koupe doub la gen de aks aks. Yo ka reyalize yon gwo pwodiksyon atravè pwosesis sa a.
▲ Koupe lam mekanik - koupe doub | Rezo sous imaj
Koupe etap pa etap la itilize yon si doub koupe ak de aks pou fè koupe konplè ak mwatye koupe an de etap. Li itilize lam optimize pou koupe kouch fil elektrik la sou sifas waf la ak lam optimize pou rès kristal silikon an pou reyalize yon pwosesis kalite siperyè.
▲ Koupe mekanik ak lam - koupe pa etap | Rezo sous imaj
Koupe bizote se yon metòd pwosesis ki itilize yon lam ak yon kwen an fòm V sou kwen mwatye koupe a pou koupe wafer la an de etap pandan pwosesis koupe etap pa etap la. Pwosesis chanfren an fèt pandan pwosesis koupe a. Kidonk, yo ka reyalize yon gwo fòs mwazi ak yon pwosesis kalite siperyè.
▲ Koupe mekanik ak lam - koupe bizote | Rezo sous imaj
Koupe lazè
Koupe lazè se yon teknoloji koupe wafer san kontak ki itilize yon reyon lazè konsantre pou separe chip endividyèl yo ak wafer semi-kondiktè yo. Reyon lazè ki gen anpil enèji a konsantre sou sifas wafer la epi li evapore oswa retire materyèl la sou liy koupe predetèmine a atravè pwosesis ablasyon oswa dekonpozisyon tèmik.
▲ Dyagram koupe lazè | Sous imaj: KLA CHINA
Kalite lazè yo itilize anpil kounye a gen ladan yo lazè iltravyolèt, lazè enfrawouj, ak lazè femtosegond. Pami yo, lazè iltravyolèt yo souvan itilize pou ablasyon frèt presi akòz gwo enèji foton yo, epi zòn ki afekte pa chalè a piti anpil, sa ki ka efektivman diminye risk domaj tèmik sou wafer la ak chip ki antoure li yo. Lazè enfrawouj yo pi byen adapte pou wafer ki pi epè paske yo ka penetre pwofondman nan materyèl la. Lazè femtosegond yo reyalize retire materyèl ki gen gwo presizyon ak efikasite ak yon transfè chalè prèske neglijab atravè pulsasyon limyè ultra kout.
Koupe lazè gen avantaj enpòtan parapò ak koupe lam tradisyonèl la. Premyèman, kòm yon pwosesis san kontak, koupe lazè pa bezwen presyon fizik sou waf la, sa ki diminye pwoblèm fragmentasyon ak fann ki komen nan koupe mekanik. Karakteristik sa a fè koupe lazè patikilyèman apwopriye pou trete waf frajil oswa ultra-mens, espesyalman sa yo ki gen estrikti konplèks oswa karakteristik amann.
▲ Dyagram koupe lazè | Rezo sous imaj
Anplis de sa, gwo presizyon ak egzaktitid koupe lazè a pèmèt li konsantre reyon lazè a sou yon gwosè tach ki piti anpil, sipòte modèl koupe konplèks, epi reyalize separasyon espas minimòm ant chip yo. Karakteristik sa a patikilyèman enpòtan pou aparèy semi-kondiktè avanse ki gen gwosè ki diminye.
Sepandan, koupe lazè gen kèk limitasyon tou. Konpare ak koupe lam, li pi dousman epi pi chè, sitou nan pwodiksyon an gwo echèl. Anplis de sa, chwazi bon kalite lazè a epi optimize paramèt yo pou asire yon retire materyèl efikas ak yon zòn ki afekte pa chalè minimòm ka difisil pou sèten materyèl ak epesè.
Koupe ablasyon lazè
Pandan koupe ablasyon lazè a, reyon lazè a konsantre avèk presizyon sou yon kote espesifik sou sifas wafer la, epi enèji lazè a gide dapre yon modèl koupe predetèmine, li koupe piti piti nan wafer la rive anba. Selon bezwen koupe yo, operasyon sa a fèt lè l sèvi avèk yon lazè pulsasyon oswa yon lazè vag kontinyèl. Pou anpeche domaj nan wafer la akòz twòp chofaj lokal lazè a, yo itilize dlo refwadisman pou refwadi epi pwoteje wafer la kont domaj tèmik. An menm tan, dlo refwadisman an kapab tou retire patikil ki pwodui pandan pwosesis koupe a efektivman, anpeche kontaminasyon epi asire bon jan kalite koupe a.
Koupe lazè envizib
Lazè a kapab tou konsantre pou transfere chalè nan kò prensipal waf la, yon metòd yo rele "koupe lazè envizib". Pou metòd sa a, chalè ki soti nan lazè a kreye espas nan liy ekri yo. Zòn febli sa yo Lè sa a, reyalize yon efè penetrasyon menm jan an lè yo kraze lè waf la lonje.
▲ Pwosesis prensipal koupe lazè envizib
Pwosesis koupe envizib la se yon pwosesis lazè absòpsyon entèn, olye de ablasyon lazè kote lazè a absòbe sou sifas la. Avèk koupe envizib la, yo itilize enèji reyon lazè ki gen yon longèdonn ki semi-transparan ak materyèl substrati waf la. Pwosesis la divize an de etap prensipal, youn se yon pwosesis ki baze sou lazè, epi lòt la se yon pwosesis separasyon mekanik.
▲ Reyon lazè a kreye yon pèforasyon anba sifas waf la, epi bò devan ak dèyè yo pa afekte | Rezo sous imaj
Nan premye etap la, pandan reyon lazè a ap eskane waf la, reyon lazè a konsantre sou yon pwen espesifik andedan waf la, sa ki fòme yon pwen fann anndan. Enèji reyon an lakòz yon seri fant fòme anndan, ki poko gaye nan tout epesè waf la rive sou sifas anwo ak anba yo.
▲Konparezon ant tranch silikon 100μm epesè koupe ak metòd lam ak metòd koupe envizib lazè | Rezo sous imaj
Nan dezyèm etap la, tep chip ki anba wafer la elaji fizikman, sa ki lakòz estrès tansyon nan fant ki andedan wafer la, ki pwovoke nan pwosesis lazè a nan premye etap la. Estrès sa a lakòz fant yo pwolonje vètikalman rive nan sifas anwo ak anba wafer la, epi answit separe wafer la an chip sou pwen koupe sa yo. Nan koupe envizib, yo anjeneral itilize mwatye koupe oswa mwatye koupe anba pou fasilite separasyon wafer yo an chip oswa chip.
Avantaj prensipal koupe lazè envizib sou ablasyon lazè:
• Pa bezwen likid refwadisman
• Pa gen okenn debri ki pwodui
• Pa gen zòn ki afekte pa chalè ki ta ka domaje sikui sansib yo
Koupe plasma
Koupe plasma (ke yo rele tou gravure plasma oubyen gravure sèk) se yon teknoloji koupe waf avanse ki itilize gravure iyon reyaktif (RIE) oubyen gravure iyon reyaktif pwofon (DRIE) pou separe chip endividyèl yo ak waf semi-kondiktè yo. Teknoloji a reyalize koupe a lè li retire materyèl chimikman sou liy koupe predetèmine lè l sèvi avèk plasma.
Pandan pwosesis koupe plasma a, yo mete waf semi-kondiktè a nan yon chanm vakyòm, yo entwodui yon melanj gaz reyaktif kontwole nan chanm lan, epi yo aplike yon chan elektrik pou jenere yon plasma ki gen yon gwo konsantrasyon iyon reyaktif ak radikal. Espès reyaktif sa yo kominike avèk materyèl waf la epi retire materyèl waf la yon fason selektif sou liy tras la atravè yon konbinezon reyaksyon chimik ak pulverizasyon fizik.
Prensipal avantaj koupe plasma a se ke li diminye estrès mekanik sou waf la ak chip la epi li diminye domaj potansyèl ki koze pa kontak fizik. Sepandan, pwosesis sa a pi konplèks epi li pran plis tan pase lòt metòd yo, sitou lè w ap travay ak waf ki pi epè oswa materyèl ki gen gwo rezistans nan grave, kidonk aplikasyon li nan pwodiksyon an mas limite.
▲ Rezo sous imaj
Nan fabrikasyon semi-kondiktè, metòd koupe wafer la bezwen chwazi dapre plizyè faktè, tankou pwopriyete materyèl wafer la, gwosè ak jeyometri chip la, presizyon ak egzaktitid ki nesesè yo, ak pri ak efikasite pwodiksyon an jeneral.
Dat piblikasyon: 20 septanm 2024