WaferỊcha bụ otu n'ime njikọ dị mkpa na mmepụta semiconductor ike. Emebere usoro a iji kewaa sekit ma ọ bụ ibe agbakọtara nke ọma na wafer semiconductor.
Isi ihe na-emewaferỊkpụcha bụ iji nwee ike kewaa ibe dị iche iche ma hụ na ihe owuwu na sekit ndị dị nro dị n'imewaferanaghị emebi emebi. Ọganiihu ma ọ bụ ọdịda nke usoro ịkpụ abụghị naanị na ọ na-emetụta mma nkewa na mmepụta nke chip ahụ, kamakwa ọ na-emetụta kpọmkwem arụmọrụ nke usoro mmepụta dum.
▲Ụdị atọ a na-ahụkarị maka ịkpụ wafer | Isi mmalite: KLA CHINA
Ugbu a, ihe a na-ahụkarịwaferA na-ekewa usoro ịkpụ ihe n'ime:
Ịcha agụba: ọnụ ala dị ala, a na-ejikarị ya eme ihe maka oke ibuwafers
Ịkpụcha laser: ọnụ ahịa dị elu, a na-ejikarị ya eme ihe maka wafers nwere ọkpụrụkpụ karịrị 30μm
Mbelata plasma: ọnụ ahịa dị elu, mmachi ndị ọzọ, a na-ejikarị ya eme ihe maka wafers nwere ọkpụrụkpụ na-erughị 30μm
Mbelata agụba igwe
Ịkpụ agụba bụ usoro nke ịkpụ n'akụkụ ahịrị ihe odide site na diski igwe na-agbagharị ọsọ ọsọ (agụba). A na-ejikarị ihe diamond a na-eme ka ọ dị nro ma ọ bụ nke dị oke mkpa, nke dị mma maka ịkpụ ma ọ bụ ịkụnye wafer silicon. Agbanyeghị, dịka ụzọ isi egbutu agụba, ịkpụ agụba na-adabere na mwepụ ihe anụ ahụ, nke nwere ike ibute mgbawa ma ọ bụ mgbawa nke ọnụ ụzọ chip, si otú a na-emetụta ịdị mma ngwaahịa ma belata mmepụta.
Ụdị ngwaahịa ikpeazụ nke usoro ịkpụcha ihe na-emetụta site na ọtụtụ paramita, gụnyere ọsọ ịkpụcha ihe, ọkpụrụkpụ agụba, dayameta agụba, na ọsọ ntụgharị agụba.
Mkpụcha zuru oke bụ ụzọ kachasị mfe isi gbubie agụba, nke na-egbutu ihe eji arụ ọrụ ahụ kpamkpam site na ịkpụ ya ka ọ bụrụ ihe edobere (dịka teepu ịkpụ).
▲ Mkpụcha agụba n'ime igwe | Netwọk isi iyi onyonyo
Ọkara ịkpụ bụ usoro nhazi nke na-emepụta oghere site na ịkpụ ruo n'etiti ihe eji arụ ọrụ ahụ. Site n'ịrụ ọrụ nhazi ahụ mgbe niile, enwere ike ịmepụta mbo na isi ihe ndị dị ka agịga.
▲ Mkpụcha agụba n'ime igwe | Netwọk isi iyi onyonyo
Mkpụcha okpukpu abụọ bụ usoro nhazi nke na-eji mkpụcha okpukpu abụọ nwere mkpụcha okpukpu abụọ iji mee mkpụcha zuru oke ma ọ bụ ọkara n'ahịrị mmepụta abụọ n'otu oge. Mkpụcha okpukpu abụọ nwere axes spindle abụọ. Enwere ike nweta nnukwu mmepụta site na usoro a.
▲ Mkpụcha agụba igwe - okpukpu abụọ | Netwọk isi iyi onyonyo
Ịkpụcha nzọụkwụ na-eji ihe e ji akwọ ihe okpukpu abụọ nke nwere spindles abụọ eme ihe iji mee nchacha zuru oke na ọkara n'ime usoro abụọ. Jiri agụba ndị e mere ka ha dị mma maka ịkpụcha waya n'elu wafer na agụba ndị e mere ka ha dị mma maka kristal silicon fọdụrụnụ iji nweta nhazi dị elu.
▲ Ịcha agụba n'ime igwe - ịkpụ nzọụkwụ | Netwọk isi iyi onyonyo
Ịkpụ Bevel bụ usoro nhazi nke na-eji agụba nwere nsọtụ V n'akụkụ ọkara nke a gbuturu egbutu iji bee wafer ahụ n'ime usoro abụọ n'oge usoro ịkpụcha nzọụkwụ. A na-eme usoro ịcha chamfering n'oge usoro ịkpụcha. Ya mere, enwere ike nweta ike ebu dị elu na nhazi dị elu.
▲ Ịcha agụba n'ime igwe - ịkpụ bevel | Netwọk isi iyi onyonyo
Ịkpụcha laser
Ịcha laser bụ teknụzụ ịkpụ wafer na-anaghị emetụ aka nke na-eji ọkụ laser lekwasịrị anya kewaa ibe dị iche iche na wafer semiconductor. A na-elekwasị anya na ọkụ laser dị elu n'elu wafer ahụ ma na-ekupụ ma ọ bụ wepụ ihe dị n'ahịrị ịkpụcha nke a kara aka site na usoro iwepụ ihe ma ọ bụ mmebi okpomọkụ.
▲ Eserese ịkpụ laser | Isi mmalite foto: KLA CHINA
Ụdị laser ndị a na-ejikarị eme ihe ugbu a gụnyere ultraviolet laser, infrared laser, na femtosecond lasers. N'ime ha, a na-ejikarị ultraviolet lasers eme ihe maka iwepụ oyi kpọmkwem n'ihi ike photon ha dị elu, ebe okpomọkụ metụtara dịkwa obere nke ukwuu, nke nwere ike ibelata ihe egwu nke mmebi okpomọkụ na wafer na chips gbara ya gburugburu nke ọma. Laser infrared dị mma karịa maka wafers ndị buru ibu n'ihi na ha nwere ike ịbanye n'ime ihe ahụ. Laser Femtosecond na-enweta mwepụ ihe dị oke mma na nke dị irè site na nnyefe okpomọkụ dị mkpụmkpụ site na ultrashort light pulses.
Ịkpụcha laser nwere uru dị ukwuu karịa ịkpụcha agụba ọdịnala. Nke mbụ, dịka usoro anaghị emetụ aka, ịkpụcha laser anaghị achọ nrụgide anụ ahụ na wafer, nke na-ebelata nsogbu nkewa na mgbawa a na-ahụkarị na ịkpụcha igwe. Njirimara a na-eme ka ịkpụcha laser dabara adaba karịsịa maka nhazi wafer ndị na-adịghị ike ma ọ bụ nke dị oke mkpa, ọkachasị ndị nwere nhazi dị mgbagwoju anya ma ọ bụ atụmatụ dị mma.
▲ Eserese ịkpụ laser | Netwọk isi iyi onyonyo
Tinyere nke ahụ, oke nkenke na izi ezi nke ịkpụ laser na-eme ka o nwee ike ilekwasị anya na obere nha ntụpọ, kwado usoro ịkpụ dị mgbagwoju anya, ma nweta nkewa nke oghere kacha nta n'etiti ibe. Njirimara a dị oke mkpa maka ngwaọrụ semiconductor dị elu nwere nha ndị na-ebelata.
Agbanyeghị, ịkpụ laser nwekwara ụfọdụ ihe mgbochi. Ma e jiri ya tụnyere ịkpụ agụba, ọ na-adị nwayọ ma dịkwa oke ọnụ, ọkachasị n'ihe gbasara mmepụta buru ibu. Na mgbakwunye, ịhọrọ ụdị laser kwesịrị ekwesị na imeziwanye paramita iji hụ na mwepụ ihe dị irè na obere mpaghara okpomọkụ metụtara nwere ike isi ike maka ụfọdụ ihe na ọkpụrụkpụ.
Ịchacha mwepụ laser
N'oge a na-egbutu ihe n'ime laser, a na-elekwasị anya kpọmkwem n'ebe a kapịrị ọnụ n'elu wafer ahụ, a na-eduzikwa ike laser ahụ dịka usoro ịkpụ ihe si dị, na-eji nwayọ nwayọ na-egbutu wafer ahụ ruo ala. Dabere na ihe achọrọ maka ịkpụ ihe, a na-arụ ọrụ a site na iji laser pulsed ma ọ bụ laser ebili mmiri na-aga n'ihu. Iji gbochie mmebi nke wafer ahụ n'ihi oke okpomọkụ mpaghara nke laser ahụ, a na-eji mmiri oyi eme ihe iji mee ka ọ dị jụụ ma chebe wafer ahụ pụọ na mmebi okpomọkụ. N'otu oge ahụ, mmiri oyi nwekwara ike iwepụ ihe ndị a na-emepụta n'oge ịkpụ ihe, gbochie mmetọ ma hụ na ịkpụ ihe dị mma.
Ịcha laser a na-anaghị ahụ anya
Enwere ike itinye laser ahụ n'ọrụ iji bufee okpomọkụ n'ime isi ahụ nke wafer ahụ, usoro a na-akpọ "ịcha laser a na-adịghị ahụ anya". Maka usoro a, okpomọkụ sitere na laser ahụ na-emepụta oghere n'okporo ụzọ scribe. Ebe ndị a na-adịghị ike na-enweta mmetụta yiri nke ahụ site na ịgbaji mgbe a gbatịchara wafer ahụ.
▲Isi usoro nke laser a na-apụghị ịhụ anya ọnwụ
Usoro ịkpụcha ihe a na-anaghị ahụ anya bụ usoro laser absorption dị n'ime, kama iwepụ laser ebe a na-etinye laser n'elu ya. Site na ịkpụcha ihe a na-anaghị ahụ anya, a na-eji ike ọkụ laser nwere ogologo ebili mmiri nke na-apụta ìhè na ihe e ji wafer substrate mee. A na-ekewa usoro a n'ime usoro abụọ bụ isi, otu bụ usoro laser, nke ọzọ bụ usoro nkewa igwe.
▲Ogwe laser ahụ na-emepụta oghere n'okpuru elu wafer ahụ, akụkụ ihu na azụ anaghị emetụtakwa | Netwọk isi iyi onyonyo
Na nzọụkwụ mbụ, ka laser beam na-enyocha wafer ahụ, laser beam na-elekwasị anya n'otu ebe kpọmkwem dị n'ime wafer ahụ, na-emepụta ebe mgbawa dị n'ime ya. Ike nke wafer ahụ na-eme ka usoro mgbawa dị n'ime ya pụta, nke na-agbasabeghị n'ime ọkpụrụkpụ wafer ahụ dum ruo n'elu na ala elu.
▲Ntụnyere nke wafer silicon 100μm dị arọ nke e ji agụba bee na usoro ịkpụcha ihe a na-anaghị ahụ anya site na laser | Netwọk isi iyi onyonyo
N'ọkwa nke abụọ, a na-agbasa teepu chip dị n'ala wafer ahụ n'ụzọ anụ ahụ, nke na-akpata nrụgide nrụgide n'ime mgbawa dị n'ime wafer ahụ, nke a na-akpali n'usoro laser na nzọụkwụ mbụ. Nrụgide a na-eme ka mgbawa ndị ahụ gbasaa n'elu na ala nke wafer ahụ, wee kewaa wafer ahụ ka ọ bụrụ ibe n'akụkụ ebe a na-egbutu ihe ndị a. N'ịkpụcha ihe a na-adịghị ahụ anya, a na-ejikarị ọkara ịkpụ ma ọ bụ ọkara ịkpụ akụkụ ala mee ka nkewa nke wafers dị mfe.
Uru dị mkpa nke ịkpụ laser a na-adịghị ahụ anya karịa iwepụ laser:
• Achọghị ihe mkpuchi oyi
• Enweghị ihe mkpofu ọ bụla emepụtara
• Enweghị mpaghara ọ bụla metụtara okpomọkụ nke nwere ike imebi sekit ndị nwere mmetụta dị nro
Mbelata plasma
Ịcha Plasma (a makwaara dịka ịcha plasma ma ọ bụ ịcha dry etching) bụ teknụzụ ịkpụ wafer dị elu nke na-eji ịcha ion reactive (RIE) ma ọ bụ ịcha ion miri emi (DRIE) kewapụ ibe dị iche iche na wafer semiconductor. Teknụzụ a na-enweta ịkpụ site na iwepụ ihe n'akụkụ ahịrị ịkpụzi nke edobere na iji plasma.
N'oge a na-egbutu plasma, a na-etinye wafer semiconductor n'ime ụlọ vacuum, a na-etinye ngwakọta gas a na-achịkwa n'ime ụlọ ahụ, a na-etinyekwa ọkụ eletrik iji mepụta plasma nwere nnukwu mkpokọta nke ion na radicals. Ụdị mmeghachi omume ndị a na-emekọ ihe na ihe wafer ma jiri nhọrọ wepụ ihe wafer n'akụkụ ahịrị scribe site na njikọta nke mmeghachi omume kemịkalụ na sputtering anụ ahụ.
Uru kachasị dị na ịkpụ plasma bụ na ọ na-ebelata nrụgide igwe na wafer na chip ma na-ebelata mmebi nwere ike ibute site na mmetụ anụ ahụ. Agbanyeghị, usoro a dị mgbagwoju anya ma na-ewe oge karịa ụzọ ndị ọzọ, ọkachasị mgbe a na-emeso wafers siri ike ma ọ bụ ihe ndị nwere oke iguzogide ịkpụ, yabụ ojiji ya na mmepụta oke dị oke.
▲ Netwọk isi iyi onyonyo
N'ime mmepụta semiconductor, a chọrọ ịhọrọ usoro ịkpụ wafer dabere na ọtụtụ ihe, gụnyere ihe onwunwe wafer, nha chip na geometry, nkenke na izi ezi achọrọ, yana ọnụ ahịa mmepụta na arụmọrụ zuru oke.
Oge ozi: Sep-20-2024