WaferO le tipiina o se tasi o sootaga taua i le gaosiga o le semiconductor eletise. O lenei laasaga ua mamanuina e vavaeese ai ma le sa'o ia matagaluega tu'ufa'atasi ta'itasi po'o chips mai wafers semiconductor.
O le ki i lefalaoa manifinifio le tipiina o le mafai lea ona vavae'eseina ni fasi ta'itasi a'o fa'amautinoa o lo'o iai fausaga ma'ale'ale ma ta'amilosaga o lo'o fa'apipi'iina i totonufalaoa manifinifie le faʻaleagaina. O le manuia poʻo le toilalo o le faiga o le tipiina e le gata ina aʻafia ai le lelei o le vavaeʻeseina ma le fua o le chip, ae e fesoʻotaʻi tuusaʻo foʻi ma le lelei o le faiga atoa o le gaosiga.
▲E tolu ituaiga masani o le tipiina o le wafer | Punaoa: KLA CHINA
I le taimi nei, o le mea masanifalaoa manifinifiua vaevaeina faiga o le tipiina i ni:
Otiina o le lau: taugofie, e masani ona faʻaaogaina mo le mafiafiafalaoa manifinifi
O le tipiina o le laser: taugata tele, e masani ona faʻaaogaina mo wafers e sili atu i le 30μm le mafiafia
O le tipiina o le plasma: tau maualuga, tele atu tapula'a, e masani ona fa'aaogaina mo wafers e itiiti ifo i le 30μm le mafiafia
O le tipiina o le lau fa'amekanika
O le tipiina o le lau o se faiga o le tipiina i luga o le laina o le uʻamea e ala i se tisiketi olo (lau) e televave le saoasaoa. O le lau e masani ona faia i mea e pei o le taimane manifinifi poʻo le taimane manifinifi tele, e talafeagai mo le tipiina poʻo le faʻasolo i luga o le silicon wafers. Peitaʻi, i le avea ai ma se metotia tipi faʻamekanika, o le tipiina o le lau e faʻalagolago i le aveeseina o mea faaletino, lea e faigofie ona oʻo atu ai i le gau poʻo le māvaevae o le pito o le uʻamea, ma aʻafia ai le lelei o le oloa ma faʻaitiitia ai le fua.
O le lelei o le oloa mulimuli e gaosia e le faiga o le iliina fa'amekanika e a'afia i le tele o mea, e aofia ai le saoasaoa o le tipiina, le mafiafia o le lau, le lautele o le lau, ma le saoasaoa o le feliuliua'i o le lau.
O le tipi atoa o le metotia sili ona faigofie o le tipiina o le lau, lea e tipi atoa ai le mea faigaluega e ala i le tipiina i se mea mautu (e pei o se lipine tipi).
▲ Otiotiina o le lau fa'amekanika-otioti atoa | Punaoa o ata feso'ota'iga
O le tipi fa'afa o se metotia fa'agasologa e maua ai se ala e ala i le tipiina i le ogatotonu o le mea faigaluega. O le fa'aauau pea ona faia o le faiga o le ala, e mafai ai ona maua ni pito e pei o selu ma nila.
▲ Otiotiina o le lau fa'amekanika-otiotiina i le afa | Punaoa o ata feso'ota'iga
O le tipi faalua o se metotia fa'agaioiga e fa'aogaina ai se ili tipi faalua ma ni uili e lua e fa'atino ai le tipi atoa po'o le afa i luga o laina gaosiga e lua i le taimi e tasi. O le ili tipi faalua e iai ni uili e lua. E mafai ona ausia le maualuga o le gaosiga e ala i lenei faiga.
▲ Tipiina o le lau fa'amekanika-tipi faalua | Punaoa o ata feso'ota'iga
O le tipi fa'asolosolo e fa'aaogā ai se ili tipi fa'alua ma ni uili se lua e fa'atino ai le tipi atoa ma le tipi afa i ni vaega se lua. Fa'aaogā lau ua fa'alelei mo le tipiina o le vaega uaea i luga o le fogā'ele'ele ma lau ua fa'alelei mo le toega o le silicon single crystal ina ia maua ai le fa'agasologa maualuga.
▲ Tipiina o le lau fa'amekanika – tipiina fa'asolosolo | Feso'ota'iga puna ata
O le tipiina o le bevel o se metotia fa'agaioiga e fa'aaoga ai se lau e foliga V lona pito i le pito e afa ona tipi e tipi ai le wafer i ni vaega se lua i le taimi o le fa'agasologa o le tipiina. O le fa'agasologa o le chamfering e faia i le taimi o le fa'agasologa o le tipiina. O le mea lea, e mafai ai ona ausia le malosi maualuga o le fa'ata'ita'iga ma le fa'agasologa maualuga.
▲ Tipiina o le lau fa'amekanika – tipiina o le bevel | Feso'ota'iga puna o ata
Tipiina o le laser
O le tipiina o le laser o se tekinolosi tipiina o le wafer e le feso'ota'i e fa'aogaina ai se ave laser taula'i e vavae'ese ai ni fasi pepa ta'itasi mai ni wafer semiconductor. O le ave laser malosi e taula'i i luga o le wafer ma fa'amamago pe aveese mea i luga o le laina tipi ua uma ona fuafuaina e ala i le fa'agasologa o le ablation po'o le fa'ama'a'aina o le vevela.
▲ Ata o le tipiina o le laser | Punaoa o le ata: KLA CHINA
O ituaiga lasers o loʻo faʻaaogaina lautele i le taimi nei e aofia ai lasers ultraviolet, lasers infrared, ma lasers femtosecond. O nisi o ia mea, o lasers ultraviolet e masani ona faʻaaogaina mo le faʻamamaina saʻo o le malulu ona o lo latou malosi tele o le photon, ma o le sone e aʻafia i le vevela e matua laʻititi lava, lea e mafai ona faʻaitiitia lelei ai le lamatiaga o le faʻaleagaina o le vevela i le wafer ma ona fasipepa o loʻo siomia ai. O lasers infrared e sili atu ona fetaui mo wafers mafiafia aua e mafai ona latou ulu loloto i totonu o le meafaitino. E ausia e lasers femtosecond le aveʻesea o meafaitino ma le saʻo maualuga ma le lelei ma toetoe lava a leai se fesiitaiga o le vevela e ala i le ultrashort light pulses.
E tele ni fa'amanuiaga o le tipiina i le laser nai lo le tipiina masani o le lau. Muamua, ona o se faiga e le fa'afeso'ota'i, e le mana'omia e le tipiina i le laser se mamafa fa'aletino i luga o le wafer, ma fa'aitiitia ai fa'afitauli o le malepelepe ma le māvaevae e masani ona tupu i le tipiina fa'amekanika. O lenei foliga e matua'i talafeagai ai le tipiina i le laser mo le fa'agasoloina o wafers manifinifi pe manifinifi tele, aemaise lava i latou e iai ni fausaga faigata pe ni foliga lelei.
▲ Ata tipi laser | Feso'ota'iga puna ata
E le gata i lea, o le maualuga o le sa'o ma le sa'o o le tipiina o le laser e mafai ai ona taula'i le ave o le laser i se la'ititi tele o le tele o vaega, lagolagoina ni mamanu tipi faigata, ma ausia ai le vavae'eseina o le va maualalo i le va o chips. O lenei foliga e taua tele mo masini semiconductor fa'aonaponei e fa'aitiitia le tele.
Peita'i, e iai fo'i ni ona tapula'a i le tipiina i le laser. Pe a fa'atusatusa i le tipiina o le lau, e sili atu ona gesegese ma taugata, aemaise lava i le gaosiga tele. E le gata i lea, o le filifilia o le ituaiga laser sa'o ma le fa'aleleia atili o tapula'a e fa'amautinoa ai le ave'esea lelei o meafaitino ma le itiiti ifo o le sone e a'afia i le vevela e mafai ona faigata mo nisi meafaitino ma mafiafia.
O le tipiina o le laser ablation
I le taimi o le tipiina o le laser ablation, e taula’i sa’o le ave o le laser i se nofoaga fa’apitoa i luga o le fogā’ele’ele o le wafer, ma e ta’ita’ia le malosiaga o le laser e tusa ai ma se mamanu tipi ua uma ona fuafuaina, ma tipi malie ai le wafer i le pito i lalo. E fa’atatau i mana’oga o le tipiina, e fa’atinoina lenei fa’agaioiga e fa’aaoga ai se pulsed laser po’o se continuous wave laser. Ina ia puipuia le fa’aleagaina o le wafer ona o le tele o le vevela i le lotoifale o le laser, e fa’aaogaina le vai fa’amālūlū e fa’amālūlū ai ma puipuia ai le wafer mai le fa’aleagaina o le vevela. I le taimi lava e tasi, e mafai fo’i e le vai fa’amālūlū ona aveese lelei vaega na gaosia i le taimi o le tipiina, puipuia ai le fa’aleagaina ma fa’amautinoa le lelei o le tipiina.
O le tipiina e le vaaia e le laser
E mafai fo'i ona fa'atatau le laser e fa'aliliu ai le vevela i totonu o le vaega autū o le wafer, o se metotia e ta'ua o le "invisible laser cutting". Mo lenei metotia, o le vevela mai le laser e fa'atupuina ai ni avanoa i totonu o ala o le scribe. O nei vaega ua vaivai e maua ai se aafiaga tutusa o le fa'asusuina e ala i le gau pe a fa'aloaloa le wafer.
▲Faiga autū o le tipiina e le vaaia e le laser
O le faiga o le tipiina e le vaaia o se faiga o le laser e mitiia ai i totonu, nai lo le laser ablation lea e mitiia ai le laser i luga o le fogaeleele. I le tipiina e le vaaia, e faʻaaogaina ai le malosiaga o le ave laser ma se galu e manino lelei i le mea o loʻo i lalo o le wafer. E vaevaeina le faiga i ni laasaga autu se lua, o le tasi o se faiga e faʻavae i le laser, ma le isi o se faiga e vavaeʻeseina ai masini.
▲O le ave laser e faia ai se pu i lalo ifo o le fogāeleele o le wafer, ma e le afaina ai itu pito i luma ma tua | Punaoa o ata feso'ota'iga
I le laasaga muamua, a'o su'esu'eina e le ave o le laser le wafer, e taula'i le ave o le laser i se vaega patino i totonu o le wafer, ma fausia ai se vaega e malepe ai i totonu. O le malosi o le ave e mafua ai ona fausia ni vaega e malepe ai i totonu, ia e le'i o'o atu i le mafiafia atoa o le wafer i luga ma lalo.
▲Fa'atusatusaga o fasi silicon e 100μm le mafiafia e tipiina e ala i le metotia o le lau ma le metotia o le tipiina e le vaaia e le laser | Feso'ota'iga puna ata
I le laasaga lona lua, o le lipine tipi i le pito i lalo o le apameme ua fa'alauteleina fa'aletino, lea e mafua ai le mamafa o le tensile i totonu o māvaevae i totonu o le apameme, lea e mafua mai i le faiga laser i le laasaga muamua. O lenei mamafa e mafua ai ona fa'alautele sa'o māvaevae i luga ma lalo o le apameme, ona vaevae lea o le apameme i ni fasi i nei vaega e tipi ai. I le tipi e le vaaia, o le tipiina o le afa po'o le tipiina o le afa i lalo e masani ona fa'aaogaina e fa'afaigofie ai le vaevaeina o apameme i ni fasi po'o ni fasi.
O fa'amanuiaga autū o le tipiina o le laser e le vaaia nai lo le laser ablation:
• E le manaʻomia se vai faʻamālūlū
• Leai ni otaota e gaosia
• Leai ni vaega ua a'afia i le vevela e ono fa'aleagaina ai matagaluega maaleale
Tipiina o le plasma
O le tipiina o le plasma (e taʻua foʻi o le plasma etching poʻo le dry etching) o se tekinolosi tipiina o le wafer faʻaonaponei e faʻaaogaina ai le reactive ion etching (RIE) poʻo le deep reactive ion etching (DRIE) e vavaeʻese ai ni fasi pepa taʻitasi mai ni semiconductor wafers. O lenei tekinolosi e ausia ai le tipiina e ala i le aveeseina faʻakemikolo o meafaitino i luga o laina tipi ua uma ona fuafuaina e faʻaaogaina ai le plasma.
I le taimi o le faiga o le tipiina o le plasma, e tuu le semiconductor wafer i totonu o se potu e leai se eletise, e fa'aofiina se paluga kesi fa'atonutonuina i totonu o le potu, ma fa'aoga se fanua eletise e fa'atupu ai se plasma o lo'o i ai le maualuga o le fa'aputuga o ions ma radicals. O nei ituaiga fa'atino e fegalegaleai ma le mea o le wafer ma aveese fa'apitoa le mea o le wafer i luga o le laina tusitusi e ala i le tu'ufa'atasia o le tali atu fa'akemikolo ma le sputtering fa'aletino.
O le tulaga lelei autū o le tipiina o le plasma o le faʻaitiitia lea o le mamafa faʻamekanika i luga o le wafer ma le chip ma faʻaitiitia ai faʻaleagaina e ono mafua mai i le paʻi faʻaletino. Peitaʻi, o lenei faiga e sili atu ona lavelave ma tele ai le taimi e alu ai nai lo isi metotia, aemaise lava pe a feagai ma wafer mafiafia poʻo meafaitino e teteʻe tele i le etching, o lea e faʻatapulaʻaina ai lona faʻaaogaina i le gaosiga tele.
▲Feso'ota'iga puna o ata
I le gaosiga o semiconductor, e manaʻomia ona filifilia le metotia e tipi ai le wafer e faʻavae i luga o le tele o mea, e aofia ai meatotino o le meafaitino o le wafer, le tele ma le foliga o le chip, le saʻo ma le saʻo e manaʻomia, ma le tau atoa ma le lelei o le gaosiga.
Taimi na lafoina ai: Setema-20-2024