WaferGígé jẹ́ ọ̀kan lára àwọn ìjápọ̀ pàtàkì nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor power. A ṣe ìgbésẹ̀ yìí láti ya àwọn iyika tàbí àwọn ìṣùpọ̀ oníṣọ̀kan kọ̀ọ̀kan sọ́tọ̀ láti inú àwọn wafer semiconductor.
Kókó síwaferGígé ni lati le ya awọn eerun kọọkan sọtọ lakoko ti o rii daju pe awọn ẹya ati awọn iyika ẹlẹgẹ ti a fi sinu inuwaferkò bàjẹ́. Àṣeyọrí tàbí àìṣedéédé ilana gígé kìí ṣe pé ó ní ipa lórí dídára ìyàsọ́tọ̀ àti ìbísí ërún nìkan ni, ṣùgbọ́n ó tún ní í ṣe pẹ̀lú ìṣiṣẹ́ gbogbo ilana ìṣelọ́pọ́.
▲Irú gígé wáfárì mẹ́ta tó wọ́pọ̀ | Orísun: KLA CHINA
Lọwọlọwọ, awọn ohun ti o wọpọwaferAwọn ilana gige ni a pin si:
Gígé abẹ́: owó kékeré, a sábà máa ń lò ó fún kíkúnnáàwọn àkàrà kéékèèké
Gígé lésà: owó gíga, a sábà máa ń lò ó fún àwọn wafers tí ó nípọn ju 30μm lọ
Gígé Plasma: iye owo giga, awọn ihamọ diẹ sii, ti a maa n lo fun awọn wafers ti o ni sisanra ti ko to 30μm
Ige abẹfẹlẹ darí
Gígé abẹ́ jẹ́ ìlànà gígé ní ìlà ìkọ̀wé nípa lílo díìsì ìlọ tí ń yípo kíákíá (abẹ́). A sábà máa ń fi ohun èlò dáyámọ́ńdì onírun tàbí tín-tín ṣe abẹ́ náà, ó dára fún gígé tàbí fífọ́ àwọn wafers silicon. Ṣùgbọ́n, gẹ́gẹ́ bí ọ̀nà gígé abẹ́, gígé abẹ́ sinmi lórí yíyọ ohun èlò tí a lè lò, èyí tí ó lè fa ìfọ́ tàbí fífọ́ etí bẹ́ẹ́, èyí tí yóò sì ní ipa lórí dídára ọjà àti ìdínkù èso rẹ̀.
Dídára ọjà ìkẹyìn tí a ṣe nípasẹ̀ iṣẹ́ gígé ẹ̀rọ ní ipa lórí ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn pàrámítà, títí bí iyára gígé, sisanra abẹ́, ìwọ̀n abẹ́, àti iyára yíyípo abẹ́.
Gígé kíkún ni ọ̀nà gígé abẹfọ́ tó gbòòrò jùlọ, èyí tó máa ń gé iṣẹ́ náà pátápátá nípa gígé rẹ̀ sí ohun èlò tó wà nílẹ̀ (bíi tẹ́ẹ̀pù gígé).
▲ Gígé abẹ́ ẹ̀rọ - kíkún | Nẹ́ẹ̀tìwọ́ọ̀kì orísun àwòrán
Ìdajì gígé jẹ́ ọ̀nà ìṣiṣẹ́ tí ó ń mú ihò jáde nípa gígé sí àárín iṣẹ́ náà. Nípa ṣíṣe ilana gọ́ọ̀fù nígbà gbogbo, a lè ṣe gígé àti àwọn àmì tí ó rí bí abẹ́rẹ́.
▲ Gígé abẹ́ ẹ̀rọ - ìdajì gígé | Nẹ́ẹ̀tìwọ́ọ̀kì orísun àwòrán
Ige meji jẹ́ ọ̀nà ìṣiṣẹ́ tí ó ń lo gígé méjì pẹ̀lú àwọn ìgbá méjì láti ṣe ìgé pípé tàbí ààbọ̀ lórí àwọn ìlà iṣẹ́-ọnà méjì ní àkókò kan náà. Gígé méjì náà ní àwọn àáké méjì. A lè ṣe àṣeyọrí gíga nípasẹ̀ ìlànà yìí.
▲ Gígé abẹ́ ẹ̀rọ - gígé méjì | Nẹ́ẹ̀tìwọ́ọ̀kì orísun àwòrán
Gígé ìgbésẹ̀ ń lo gígé onígun méjì pẹ̀lú àwọn ìgbá méjì láti ṣe àwọn ìgé pípé àti ìdajì ní ìpele méjì. Lo àwọn abẹ́ tí a ṣe àtúnṣe fún gígé ìpele okùn lórí ojú wafer náà àti àwọn abẹ́ tí a ṣe àtúnṣe fún àwọn crystal silicon kan ṣoṣo tí ó kù láti ṣe àṣeyọrí iṣẹ́ dídára gíga.
▲ Gígé abẹ́ ẹ̀rọ – gígé ìgbésẹ̀ | Nẹ́tíwọ́ọ̀kì orísun àwòrán
Gígé Bevel jẹ́ ọ̀nà ìṣiṣẹ́ tí ó ń lo abẹ́ tí ó ní etí V ní etí ìdajì tí a gé láti gé wafer ní ìpele méjì nígbà ìgbésẹ̀ gígé ìgbésẹ̀. Ìlànà yíyípo chamfering ni a ń ṣe nígbà ìgbésẹ̀ gígé náà. Nítorí náà, a lè ṣe agbára mọ́ọ̀dì gíga àti ìṣiṣẹ́ dídára.
▲ Gígé abẹ́ ẹ̀rọ – gígé bevel | Nẹ́tíwọ́ọ̀kì orísun àwòrán
Gígé lésà
Ige lesa jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ gige wafer tí kìí ṣe ti ara ẹni tí ó ń lo ìró lésa tí a fojú sí láti ya àwọn ègé kọ̀ọ̀kan kúrò lára àwọn wafer semiconductor. Ìró lésa tí ó ní agbára gíga ni a fojú sí ojú wafer náà, ó sì máa ń gbẹ tàbí yọ ohun èlò kúrò ní orí ìlà gige tí a ti pinnu tẹ́lẹ̀ nípasẹ̀ àwọn ilana ablation tàbí ìbàjẹ́ ooru.
▲ Àwòrán gígé léésà | Orísun àwòrán: KLA CHINA
Àwọn irú àwọn lésà tí a ń lò lọ́wọ́lọ́wọ́ báyìí ni lésà ultraviolet, lésà infrared, àti lésà femtosecond. Láàrín wọn, lésà ultraviolet ni a sábà máa ń lò fún ablation òtútù tó péye nítorí agbára fọ́tòn wọn tó ga, àti agbègbè tí ooru ti ń kan jẹ́ kékeré gan-an, èyí tó lè dín ewu ìbàjẹ́ ooru sí léfà àti àwọn ègé tó yí i ká kù dáadáa. Lésà infrared dára jù fún àwọn léfà tó le koko nítorí wọ́n lè wọ inú ohun èlò náà jinlẹ̀. Lésà Femtosecond ṣe àṣeyọrí gíga àti yíyọ ohun èlò tó munadoko pẹ̀lú ìyípadà ooru tó fẹ́rẹ̀ẹ́ jẹ́ àìlágbára nípasẹ̀ ìlù ìmọ́lẹ̀ ultrashort.
Gígé lésà ní àwọn àǹfààní pàtàkì ju gígé abẹ́ ìbílẹ̀ lọ. Àkọ́kọ́, gẹ́gẹ́ bí ìlànà tí kìí ṣe ti ara, gígé lésà kò nílò ìfúnpá ara lórí wàfà, èyí tí ó dín ìfọ́ àti ìfọ́ tí ó wọ́pọ̀ nínú gígé ẹ̀rọ kù. Ẹ̀yà ara yìí mú kí gígé lésà jẹ́ ohun tí ó yẹ fún ṣíṣe àwọn wàfà tí ó jẹ́ ẹlẹ́gẹ́ tàbí tín-ín-rín, pàápàá jùlọ àwọn tí ó ní àwọn ìrísí dídíjú tàbí àwọn ànímọ́ dídára.
▲ Àwòrán gígé léésà | Nẹ́ẹ̀tìwọ́ọ̀kì orísun àwòrán
Ni afikun, deedee giga ati deedee ti gige lesa jẹ ki o le fojusi ina lesa si iwọn aaye kekere pupọ, ṣe atilẹyin awọn ilana gige ti o ni idiju, ati ṣaṣeyọri ipinya ti aaye ti o kere julọ laarin awọn eerun. Ẹya yii ṣe pataki pataki fun awọn ẹrọ semiconductor ti o ni ilọsiwaju pẹlu awọn iwọn idinku.
Sibẹsibẹ, gige lesa tun ni awọn idiwọn diẹ. Ni akawe pẹlu gige abẹfẹlẹ, o lọra ati gbowolori diẹ sii, paapaa ni iṣelọpọ nla. Ni afikun, yiyan iru lesa ti o tọ ati iṣapeye awọn paramita lati rii daju pe yiyọkuro ohun elo ti o munadoko ati agbegbe ti o kere ju ti ooru ba kan le jẹ ipenija fun awọn ohun elo ati sisanra kan.
Gígé ìfọ́mọ́ lésà
Nígbà tí a bá ń gé ìfọ́ laser kúrò, a máa ń fojú sí ibi pàtó kan lórí ojú wafer náà, a sì máa ń darí agbára lesa náà gẹ́gẹ́ bí ìlànà gígé tí a ti pinnu tẹ́lẹ̀, a sì máa ń gé wafer náà díẹ̀díẹ̀ títí dé ìsàlẹ̀. Gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun tí a nílò fún gígé náà, a máa ń lo lesa tí a ti pulsed tàbí lesa ìgbì tí ń lọ lọ́wọ́. Láti dènà ìbàjẹ́ sí wafer náà nítorí ìgbóná ara tó pọ̀ jù ti lesa náà, a máa ń lo omi ìtútù láti tutù kí a sì dáàbò bo wafer náà kúrò lọ́wọ́ ìbàjẹ́ ooru. Ní àkókò kan náà, omi ìtútù tún lè mú àwọn èròjà tí a ń rí nígbà tí a bá ń gé e kúrò dáadáa, kí ó dènà ìbàjẹ́, kí ó sì rí i dájú pé a ń gé e dáadáa.
Ige lesa ti a ko le ri
A tún le lo lesa naa lati gbe ooru sinu ara akọkọ ti wafer naa, ọna ti a pe ni “ige lesa ti a ko le ri”. Fun ọna yii, ooru lati inu lesa naa n ṣẹda awọn aaye ni awọn ọna scribe. Awọn agbegbe ti o ni ailera wọnyi lẹhinna ṣaṣeyọri ipa titẹsi kanna nipa fifọ nigbati wafer naa ba na.
▲Ilana akọkọ ti gige lesa alaihan
Ìlànà gígé tí a kò lè fojú rí jẹ́ ìlànà lílo lésà tí a ń gbà sínú ara, dípò lílo lésà tí a ń gbà lésà sí ojú ilẹ̀. Pẹ̀lú gígé tí a kò lè fojú rí, a ń lo agbára ìtànṣán lésà pẹ̀lú ìgbì omi tí ó jẹ́ díẹ̀-tí ó hàn gbangba sí ohun èlò wafer substrate. A pín ìlànà náà sí àwọn ìgbésẹ̀ pàtàkì méjì, ọ̀kan jẹ́ ìlànà lílo lésà, èkejì sì jẹ́ ìlànà ìyàsọ́tọ̀ ẹ̀rọ.
▲Ìlà lísà náà ń ṣẹ̀dá ihò kan lábẹ́ ojú wafer náà, àwọn apá iwájú àti ẹ̀yìn kò sì ní ipa kankan lórí rẹ̀ | Nẹ́ẹ̀tìwọ́ọ̀kì orísun àwòrán
Ní ìgbésẹ̀ àkọ́kọ́, bí iná lésà ṣe ń wo wáfà náà, iná lésà náà dojúkọ ojú kan pàtó nínú wáfà náà, ó sì ń ṣe ibi tí ó ti ya ní inú. Agbára iná náà ń fa kí ọ̀pọ̀lọpọ̀ ìfọ́ wà nínú rẹ̀, èyí tí kò tí ì gùn ún dé gbogbo ìfúnpọ̀ wáfà náà sí àwọn ojú òkè àti ìsàlẹ̀.
▲Afiwéra àwọn wafers silikoni tó nípọn 100μm tí a gé nípa lílo ọ̀nà abẹ àti ọ̀nà gígé tí a kò lè rí láti ọwọ́ lésà | Nẹ́ẹ̀tìwọ́ọ̀kì orísun àwòrán
Ní ìgbésẹ̀ kejì, a máa ń fi téèpù ìyẹ̀fun tó wà ní ìsàlẹ̀ wáfà náà fẹ̀ sí i, èyí tó máa ń fa ìdààmú ọkàn nínú àwọn ìyẹ̀fun tó wà nínú wáfà náà, èyí tí a máa ń fà nínú ìlànà lésà ní ìgbésẹ̀ àkọ́kọ́. Ìdààmú yìí máa ń mú kí àwọn ìyẹ̀fun náà nà sí òkè àti ìsàlẹ̀ wáfà náà, lẹ́yìn náà ó máa ń ya wáfà náà sí àwọn ìyẹ̀fun tó wà ní ẹ̀gbẹ́ àwọn ibi ìyẹ̀fun wọ̀nyí. Nínú ìyẹ̀fun tí a kò lè rí, a sábà máa ń lo ìyẹ̀fun ìyẹ̀fun tàbí ìyẹ̀fun ìsàlẹ̀ láti mú kí ìpínyà wáfà náà rọrùn.
Àwọn àǹfààní pàtàkì ti ìgé laser tí a kò lè rí lórí ìgé laser ablation:
• Ko nilo ohun elo itutu otutu
• Ko si idoti ti a ṣẹda
• Ko si awọn agbegbe ti ooru kan ti o le ba awọn iyika ti o ni imọlara jẹ
Gígé Plasma
Ige Plasma (tí a tún mọ̀ sí ìge plasma tàbí ìge dry etching) jẹ́ ìmọ̀ ẹ̀rọ ìge wafer tó ti ní ìlọsíwájú tó ń lo ìge ion reactive (RIE) tàbí ìge ion deep reactive (DRIE) láti ya àwọn ìge kọ̀ọ̀kan kúrò lára àwọn ìge semiconductor wafers. Ìmọ̀ ẹ̀rọ náà ń ṣe àṣeyọrí ìge nípa yíyọ ohun èlò kúrò ní orí àwọn ìlà ìge tí a ti pinnu tẹ́lẹ̀ nípa lílo plasma.
Nígbà tí a bá ń gé plasma, a máa ń gbé wafer semiconductor sínú yàrá ìfọ́, a máa ń fi àdàpọ̀ gaasi oníṣẹ́ tí a ṣàkóso sínú yàrá náà, a sì máa ń lo pápá iná mànàmáná láti mú plasma kan jáde tí ó ní ìṣọ̀kan gíga ti àwọn ions àti radicals reactive. Àwọn irú reactive wọ̀nyí máa ń bá ohun èlò wafer náà lò, wọ́n sì máa ń yọ ohun èlò wafer kúrò ní ìlà scribe náà nípasẹ̀ àpapọ̀ ìhùwàpadà kẹ́míkà àti sputtering ti ara.
Àǹfààní pàtàkì ti gígé plasma ni pé ó dín wahala ẹ̀rọ kù lórí wafer àti chip, ó sì dín ìbàjẹ́ tí ó lè ṣẹlẹ̀ láti inú ìfọwọ́kan ara kù. Síbẹ̀síbẹ̀, ìlànà yìí díjú jù, ó sì ń gba àkókò ju àwọn ọ̀nà mìíràn lọ, pàápàá jùlọ nígbà tí a bá ń bá àwọn wafer tí ó nípọn tàbí àwọn ohun èlò tí ó ní agbára ìdènà síta, nítorí náà, lílò rẹ̀ nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ rẹ̀ ní ààlà.
▲Nẹ́tíwọ́ọ̀kì orísun àwòrán
Nínú iṣẹ́ àgbékalẹ̀ semiconductor, a gbọ́dọ̀ yan ọ̀nà ìgé wafer ní ìbámu pẹ̀lú ọ̀pọ̀lọpọ̀ nǹkan, títí bí àwọn ohun ìní ohun èlò wafer, ìwọ̀n ërún àti àwòrán, ìṣedéédé àti ìpéye tí a nílò, àti iye owó àti ìṣiṣẹ́ gbogbogbòò.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹsàn-20-2024