Ncuav mog qab zibkev txiav yog ib qho ntawm cov kev sib txuas tseem ceeb hauv kev tsim cov khoom siv hluav taws xob semiconductor. Cov kauj ruam no yog tsim los cais cov integrated circuits lossis chips ntawm cov semiconductor wafers kom raug.
Tus yuam sij rauncuav mog qab zibkev txiav yog kom muaj peev xwm cais cov chips ib leeg thaum xyuas kom meej tias cov qauv thiab cov voj voog uas nyob hauvncuav mog qab zibtsis puas tsuaj. Qhov kev vam meej lossis kev ua tsis tiav ntawm cov txheej txheem txiav tsis yog tsuas yog cuam tshuam rau qhov zoo ntawm kev sib cais thiab cov txiaj ntsig ntawm cov chip, tab sis kuj tseem muaj feem cuam tshuam ncaj qha rau qhov ua tau zoo ntawm tag nrho cov txheej txheem ntau lawm.
▲Peb hom kev txiav wafer uas siv ntau | Qhov chaw: KLA CHINA
Tam sim no, cov pej xeem feem ntauncuav mog qab zibCov txheej txheem txiav tau muab faib ua:
Txiav hniav: tus nqi qis, feem ntau yog siv rau cov tuab duacov ncuav mog qab zib
Laser txiav: tus nqi siab, feem ntau yog siv rau wafers nrog tuab ntawm ntau dua 30μm
Plasma txiav: tus nqi siab, ntau qhov kev txwv, feem ntau siv rau wafers nrog lub thickness tsawg dua 30μm
Kev txiav hniav siv tshuab
Kev txiav hniav yog ib qho txheej txheem ntawm kev txiav raws txoj kab sau los ntawm lub disc sib tsoo ceev ceev (hniav). Cov hniav feem ntau yog ua los ntawm cov khoom siv pob zeb diamond abrasive lossis ultra-thin, tsim nyog rau kev txiav lossis grooving ntawm silicon wafers. Txawm li cas los xij, raws li txoj kev txiav tshuab, kev txiav hniav vam khom kev tshem tawm cov khoom siv lub cev, uas tuaj yeem ua rau chipping lossis tawg ntawm ntug chip, yog li cuam tshuam rau cov khoom zoo thiab txo cov txiaj ntsig.
Qhov zoo ntawm cov khoom kawg uas tsim los ntawm cov txheej txheem sawing tshuab yog cuam tshuam los ntawm ntau yam kev ntsuas, suav nrog kev txiav ceev, tuab ntawm cov hniav, txoj kab uas hla ntawm cov hniav, thiab kev tig ceev ntawm cov hniav.
Kev txiav tag nrho yog txoj kev txiav hniav yooj yim tshaj plaws, uas txiav tag nrho cov khoom ua haujlwm los ntawm kev txiav rau cov khoom ruaj khov (xws li daim kab xev txiav).
▲ Kev txiav hniav siv tshuab-txiav tag nrho | Duab los ntawm network
Kev txiav ib nrab yog ib txoj kev ua uas tsim ib lub qhov los ntawm kev txiav mus rau nruab nrab ntawm qhov workpiece. Los ntawm kev ua cov txheej txheem grooving tas li, cov ntsiab lus zoo li comb thiab koob tuaj yeem tsim tau.
▲ Kev txiav riam siv tshuab-txiav ib nrab | Duab los ntawm network
Kev txiav ob npaug yog ib txoj kev ua haujlwm uas siv lub tshuab txiav ob npaug nrog ob lub spindles los ua tiav tag nrho lossis ib nrab ntawm ob txoj kab ntau lawm tib lub sijhawm. Lub tshuab txiav ob npaug muaj ob lub spindle axes. Cov txheej txheem no tuaj yeem ua tiav cov khoom siv siab.
▲ Kev txiav hniav siv tshuab-txiav ob zaug | Duab los ntawm network
Kev txiav kauj ruam siv lub tshuab txiav ob chav nrog ob lub spindles los ua qhov txiav tag nrho thiab ib nrab hauv ob theem. Siv cov hniav uas tau kho kom zoo rau kev txiav cov xov hlau ntawm qhov chaw ntawm lub wafer thiab cov hniav uas tau kho kom zoo rau cov silicon single crystal seem kom ua tiav cov txheej txheem zoo.
▲ Kev txiav hniav siv tshuab - kev txiav kauj ruam | Duab los ntawm network
Kev txiav bevel yog ib txoj kev ua haujlwm uas siv cov hniav nrog ntug V-zoo li ntug ntawm ib nrab-txiav los txiav lub wafer hauv ob theem thaum lub sijhawm txiav kauj ruam. Cov txheej txheem chamfering yog ua tiav thaum lub sijhawm txiav. Yog li ntawd, lub zog pwm siab thiab kev ua haujlwm zoo tuaj yeem ua tiav.
▲ Kev txiav hniav siv tshuab - kev txiav bevel | Duab los ntawm network
Kev txiav laser
Kev txiav laser yog ib txoj kev siv tshuab txiav wafer uas tsis sib chwv uas siv lub teeb laser tsom mus rau kev cais cov chips ib leeg ntawm cov wafers semiconductor. Lub teeb laser muaj zog siab tsom mus rau ntawm qhov chaw ntawm wafer thiab ua kom qhuav lossis tshem tawm cov khoom raws li kab txiav uas tau teem tseg los ntawm kev rhuav tshem lossis cov txheej txheem thermal decomposition.
▲ Daim duab txiav laser | Duab los ntawm: KLA CHINA
Cov hom lasers uas siv dav tam sim no suav nrog ultraviolet lasers, infrared lasers, thiab femtosecond lasers. Ntawm lawv, ultraviolet lasers feem ntau siv rau kev ua kom txias vim lawv lub zog photon siab, thiab thaj chaw kub-cuam tshuam yog me me heev, uas tuaj yeem txo qhov kev pheej hmoo ntawm kev puas tsuaj thermal rau wafer thiab nws cov chips nyob ib puag ncig. Infrared lasers zoo dua rau cov wafers tuab dua vim lawv tuaj yeem nkag mus tob rau hauv cov khoom. Femtosecond lasers ua tiav qhov tseeb siab thiab tshem tawm cov khoom siv zoo nrog yuav luag tsis muaj cua sov hloov pauv los ntawm ultrashort lub teeb pulses.
Kev txiav laser muaj qhov zoo dua li kev txiav hniav ib txwm muaj. Ua ntej, ua ib qho txheej txheem tsis sib cuag, kev txiav laser tsis xav tau kev nias lub cev rau ntawm lub wafer, txo qhov teeb meem tawg thiab tawg uas feem ntau tshwm sim hauv kev txiav tshuab. Qhov no ua rau kev txiav laser tshwj xeeb tshaj yog rau kev ua cov wafers uas tawg yooj yim lossis nyias heev, tshwj xeeb tshaj yog cov uas muaj cov qauv nyuaj lossis cov yam ntxwv zoo.
▲ Daim duab txiav laser | Lub network qhov chaw duab
Tsis tas li ntawd xwb, qhov kev txiav laser uas raug thiab raug siab ua rau nws tsom tau lub teeb laser rau qhov me me heev, txhawb nqa cov qauv txiav nyuaj, thiab ua tiav qhov sib cais tsawg kawg nkaus ntawm cov chips. Qhov no yog qhov tseem ceeb rau cov khoom siv semiconductor siab heev nrog qhov loj me me.
Txawm li cas los xij, kev txiav laser kuj muaj qee qhov kev txwv. Piv nrog rau kev txiav hniav, nws qeeb dua thiab kim dua, tshwj xeeb tshaj yog hauv kev tsim khoom loj. Tsis tas li ntawd, kev xaiv hom laser zoo thiab kev ua kom zoo dua kom ntseeg tau tias kev tshem tawm cov khoom siv tau zoo thiab thaj chaw cuam tshuam los ntawm cua sov tsawg kawg nkaus tuaj yeem nyuaj rau qee cov ntaub ntawv thiab tuab.
Kev txiav laser ablation
Thaum lub sijhawm txiav laser ablation, lub teeb laser raug tsom mus rau qhov chaw tshwj xeeb ntawm qhov chaw ntawm lub wafer, thiab lub zog laser raug coj raws li tus qauv txiav uas tau teem tseg, maj mam txiav los ntawm lub wafer mus rau hauv qab. Nyob ntawm qhov yuav tsum tau txiav, qhov kev ua haujlwm no yog ua tiav siv lub laser pulsed lossis lub laser nthwv dej tas mus li. Txhawm rau tiv thaiv kev puas tsuaj rau lub wafer vim yog cua sov hauv zos ntau dhau ntawm lub laser, dej txias yog siv los txias thiab tiv thaiv lub wafer los ntawm kev puas tsuaj thermal. Tib lub sijhawm, dej txias kuj tseem tuaj yeem tshem tawm cov khoom me me uas tsim thaum lub sijhawm txiav, tiv thaiv kev ua qias tuaj thiab xyuas kom meej qhov zoo ntawm kev txiav.
Laser tsis pom kev txiav
Lub laser kuj tseem tuaj yeem tsom mus rau kev hloov cua sov mus rau hauv lub cev tseem ceeb ntawm lub wafer, ib txoj kev hu ua "kev txiav laser tsis pom". Rau txoj kev no, cua sov los ntawm lub laser tsim cov qhov sib txawv hauv cov kab sau ntawv. Cov chaw tsis muaj zog no tom qab ntawd ua tiav qhov cuam tshuam zoo sib xws los ntawm kev tawg thaum lub wafer raug ncab.
▲ Cov txheej txheem tseem ceeb ntawm kev txiav laser tsis pom
Cov txheej txheem txiav tsis pom kev yog cov txheej txheem laser nqus sab hauv, es tsis yog laser ablation qhov twg lub laser raug nqus rau ntawm qhov chaw. Nrog kev txiav tsis pom kev, lub zog laser nrog lub wavelength uas yog semi-transparent rau cov khoom siv wafer substrate siv. Cov txheej txheem no muab faib ua ob kauj ruam tseem ceeb, ib qho yog cov txheej txheem raws li laser, thiab qhov thib ob yog cov txheej txheem sib cais tshuab.
▲Lub teeb laser tsim ib qho perforation hauv qab qhov chaw wafer, thiab sab pem hauv ntej thiab sab nraub qaum tsis cuam tshuam | Duab qhov chaw network
Hauv thawj kauj ruam, thaum lub teeb laser luam theej lub wafer, lub teeb laser tsom mus rau ib qho chaw tshwj xeeb hauv lub wafer, tsim ib qho chaw tawg sab hauv. Lub zog ntawm lub teeb ua rau muaj ntau qhov tawg sab hauv, uas tseem tsis tau nthuav dav thoob plaws tag nrho cov tuab ntawm lub wafer mus rau sab saum toj thiab hauv qab.
▲Kev sib piv ntawm 100μm tuab silicon wafers txiav los ntawm txoj kev hniav thiab laser tsis pom kev txiav txoj kev | Duab qhov chaw network
Hauv kauj ruam thib ob, daim kab xev chip ntawm hauv qab ntawm wafer raug nthuav dav, uas ua rau muaj kev ntxhov siab tensile hauv cov kab nrib pleb hauv wafer, uas raug tsim los hauv cov txheej txheem laser hauv thawj kauj ruam. Qhov kev ntxhov siab no ua rau cov kab nrib pleb nthuav dav mus rau sab saud thiab sab qis ntawm wafer, thiab tom qab ntawd cais cov wafer ua cov chips raws cov ntsiab lus txiav no. Hauv kev txiav tsis pom, ib nrab txiav lossis ib nrab txiav hauv qab feem ntau yog siv los pab txhawb kev sib cais ntawm wafers ua cov chips lossis chips.
Cov txiaj ntsig tseem ceeb ntawm kev txiav laser tsis pom dua li laser ablation:
• Tsis tas yuav tsum muaj dej txias
• Tsis muaj khib nyiab tsim tawm
• Tsis muaj thaj chaw uas raug cua sov ua rau puas tsuaj rau cov hluav taws xob rhiab heev
Kev txiav ntshav
Kev txiav plasma (tseem hu ua plasma etching lossis qhuav etching) yog ib qho thev naus laus zis txiav wafer siab heev uas siv reactive ion etching (RIE) lossis deep reactive ion etching (DRIE) los cais cov chips ib leeg ntawm cov semiconductor wafers. Cov thev naus laus zis ua tiav kev txiav los ntawm kev tshem tawm cov khoom siv tshuaj raws li cov kab txiav uas tau teem tseg siv plasma.
Thaum lub sijhawm txiav plasma, cov wafer semiconductor raug muab tso rau hauv lub chamber nqus tsev, cov roj sib xyaw uas tswj tau raug coj mus rau hauv lub chamber, thiab lub zog hluav taws xob raug siv los tsim cov plasma uas muaj cov ions reactive thiab radicals ntau. Cov hom reactive no cuam tshuam nrog cov khoom siv wafer thiab xaiv cov khoom siv wafer raws kab scribe los ntawm kev sib xyaw ua ke ntawm cov tshuaj lom neeg thiab lub cev sputtering.
Qhov zoo tshaj plaws ntawm kev txiav plasma yog tias nws txo qhov kev ntxhov siab ntawm lub wafer thiab chip thiab txo qhov kev puas tsuaj los ntawm kev sib chwv lub cev. Txawm li cas los xij, cov txheej txheem no nyuaj dua thiab siv sijhawm ntau dua li lwm txoj hauv kev, tshwj xeeb tshaj yog thaum cuam tshuam nrog cov wafers tuab dua lossis cov ntaub ntawv uas muaj kev tiv thaiv etching siab, yog li nws daim ntawv thov hauv kev tsim khoom loj yog txwv.
▲Lub network duab
Hauv kev tsim khoom semiconductor, txoj kev txiav wafer yuav tsum tau xaiv raws li ntau yam, suav nrog cov khoom siv wafer, qhov loj me ntawm lub chip thiab geometry, qhov tseeb thiab qhov tseeb uas xav tau, thiab tag nrho cov nqi tsim khoom thiab kev ua haujlwm zoo.
Lub sijhawm tshaj tawm: Cuaj hlis-20-2024