VaiféarTá gearradh ar cheann de na naisc thábhachtacha i dtáirgeadh leathsheoltóirí cumhachta. Tá an chéim seo deartha chun ciorcaid chomhtháite aonair nó sceallóga a dheighilt go cruinn ó shliseáin leathsheoltóra.
An eochair dovaiféalis é an rud atá i gceist le gearradh ná a bheith in ann sceallóga aonair a dheighilt agus a chinntiú go bhfuil na struchtúir agus na ciorcaid íogair atá leabaithe savaiféalnach ndéantar damáiste dóibh. Ní hamháin go mbíonn tionchar ag rath nó teip an phróisis ghearrtha ar cháilíocht an deighilte agus ar tháirgeacht na sceallóga, ach bíonn baint dhíreach aige freisin le héifeachtúlacht an phróisis táirgthe ar fad.
▲Trí chineál coitianta gearrtha vaiféil | Foinse: KLA CHINA
Faoi láthair, an coiteannvaiféalroinntear próisis ghearrtha ina:
Gearradh lanna: costas íseal, a úsáidtear de ghnáth le haghaidh gearradh níos tibhevaiféil
Gearradh léasair: costas ard, a úsáidtear de ghnáth le haghaidh sceallóga a bhfuil tiús níos mó ná 30μm acu
Gearradh plasma: costas ard, níos mó srianta, a úsáidtear de ghnáth le haghaidh sceallóga a bhfuil tiús níos lú ná 30μm acu
Gearradh lann meicniúil
Is próiseas é gearradh lann ina ngearrtar feadh na líne scríbe le diosca meilt rothlach ardluais (lann). De ghnáth, déantar an lann as ábhar scríobach nó diamant ultra-tanaí, atá oiriúnach le haghaidh slisnithe nó grooving ar shliseáin sileacain. Mar sin féin, mar mhodh gearrtha meicniúil, braitheann gearradh lann ar bhaint fhisiciúil ábhair, rud a d’fhéadfadh a bheith ina chúis go héasca le scealpadh nó scoilteadh imeall na sceallóga, rud a théann i bhfeidhm ar cháilíocht an táirge agus a laghdaíonn toradh.
Bíonn tionchar ag roinnt paraiméadair ar cháilíocht an táirge deiridh a tháirgtear tríd an bpróiseas sábhadh meicniúil, lena n-áirítear luas gearrtha, tiús na lanna, trastomhas na lanna, agus luas rothlaithe na lanna.
Is é an gearradh iomlán an modh gearrtha lann is bunúsaí, a ghearrann an píosa oibre go hiomlán trí ghearradh go hábhar seasta (amhail téip slisnithe).
▲ Gearradh meicniúil lann - gearradh iomlán | Líonra foinse íomhá
Is modh próiseála é leathghearradh a tháirgeann clais trí ghearradh go lár an phíosa oibre. Trí an próiseas claisithe a dhéanamh go leanúnach, is féidir pointí cíor agus snáthaid-chruthacha a tháirgeadh.
▲ Gearradh meicniúil lann - leathghearradh | Líonra foinse íomhá
Is modh próiseála é gearradh dúbailte a úsáideann sábh slisnithe dúbailte le dhá fhearsaid chun gearrthacha iomlána nó leathghearrthacha a dhéanamh ar dhá líne táirgeachta ag an am céanna. Tá dhá ais fhearsaid ag an sábh slisnithe dúbailte. Is féidir tréchur ard a bhaint amach tríd an bpróiseas seo.
▲ Gearradh lann meicniúil - gearradh dúbailte | Líonra foinse íomhá
Úsáideann gearradh céimneach sábh slisnithe dúbailte le dhá fhearsaid chun gearrthacha iomlána agus leathghearrthacha a dhéanamh i ndá chéim. Úsáidtear lanna atá optamaithe chun an ciseal sreangaithe ar dhromchla an tsliabháin a ghearradh agus lanna atá optamaithe don chriostal aonair sileacain atá fágtha chun próiseáil ardchaighdeáin a bhaint amach.
▲ Gearradh meicniúil lann – gearradh céimneach | Líonra foinse íomhá
Is modh próiseála é gearradh beibhéil a úsáideann lann le himill V-chruthach ar an imeall leathghearrtha chun an sceallóg a ghearradh i ndá chéim le linn an phróisis gearrtha céimnithe. Déantar an próiseas chamfering le linn an phróisis gearrtha. Dá bhrí sin, is féidir neart ard múnla agus próiseáil ardchaighdeáin a bhaint amach.
▲ Gearradh meicniúil lann – gearradh beibhéil | Líonra foinse íomhá
Gearradh léasair
Is teicneolaíocht gearrtha vaiféir neamhtheagmhála í gearradh léasair a úsáideann bhíoma léasair dírithe chun sceallóga aonair a dheighilt ó vaiféir leathsheoltóra. Dírítear an bhíoma léasair ardfhuinnimh ar dhromchla an vaiféir agus galaíonn nó baintear ábhar feadh na líne gearrtha réamhchinntithe trí phróisis abláisiú nó dianscaoilte teirmeach.
▲ Léaráid gearrtha léasair | Foinse íomhá: KLA CHINA
I measc na gcineálacha léasair atá in úsáid go forleathan faoi láthair tá léasair ultraivialait, léasair infridhearg, agus léasair femtosoicind. Ina measc, is minic a úsáidtear léasair ultraivialait le haghaidh abláisiú fuar beacht mar gheall ar a bhfuinneamh ard fótóin, agus tá an crios teasa-thionchar thar a bheith beag, rud a fhéadann an baol damáiste teirmeach don sceallóga agus a sceallóga máguaird a laghdú go héifeachtach. Tá léasair infridhearg níos oiriúnaí do sceallóga níos tibhe toisc gur féidir leo dul isteach go domhain san ábhar. Baintear amach baint ábhair ardchruinneas agus éifeachtach le haistriú teasa beagnach neamhbhríoch trí bíoga solais ultra-ghearr.
Tá buntáistí suntasacha ag baint le gearradh léasair thar ghearradh lann traidisiúnta. Ar dtús, mar phróiseas neamh-theagmhála, ní gá brú fisiceach a chur ar an vaiféar le haghaidh gearradh léasair, rud a laghdaíonn na fadhbanna ilroinnte agus scoilteadh atá coitianta i ngearradh meicniúil. Fágann an ghné seo go bhfuil gearradh léasair oiriúnach go háirithe chun vaiféir leochaileacha nó thar a bheith tanaí a phróiseáil, go háirithe iad siúd a bhfuil struchtúir chasta nó gnéithe míne acu.
▲ Léaráid gearrtha léasair | Líonra foinse íomhá
Ina theannta sin, cuireann an cruinneas agus an cruinneas ard atá ag baint le gearradh léasair ar a chumas an bhíoma léasair a dhíriú ar mhéid spota an-bheag, tacú le patrúin ghearrtha casta, agus scaradh an spásála íosta idir sceallóga a bhaint amach. Tá an ghné seo thar a bheith tábhachtach i gcás gléasanna leathsheoltóra chun cinn a bhfuil méideanna crapadh acu.
Mar sin féin, tá roinnt teorainneacha ag baint le gearradh léasair freisin. I gcomparáid le gearradh lann, tá sé níos moille agus níos costasaí, go háirithe i dtáirgeadh ar scála mór. Ina theannta sin, is féidir go mbeadh sé dúshlánach an cineál léasair ceart a roghnú agus paraiméadair a bharrfheabhsú chun baint ábhair éifeachtach agus crios teasa íosta a chinntiú i gcás ábhar agus tiús áirithe.
Gearradh abláis léasair
Le linn gearradh léasair abláis, dírítear an bhíoma léasair go beacht ar shuíomh sonraithe ar dhromchla an tsliabháin, agus treoraítear fuinneamh an léasair de réir patrún gearrtha réamhshocraithe, ag gearradh de réir a chéile tríd an tsliabhán go dtí an bun. Ag brath ar na riachtanais ghearrtha, déantar an oibríocht seo ag baint úsáide as léasar cuisleach nó léasar tonn leanúnach. Chun damáiste don tsliabhán mar gheall ar théamh áitiúil iomarcach an léasair a chosc, úsáidtear uisce fuaraithe chun an tsliabhán a fhuarú agus a chosaint ar dhamáiste teirmeach. Ag an am céanna, is féidir le huisce fuaraithe cáithníní a ghintear le linn an phróisis ghearrtha a bhaint go héifeachtach, éilliú a chosc agus cáilíocht gearrtha a chinntiú.
Gearradh dofheicthe léasair
Is féidir an léasar a dhíriú freisin chun teas a aistriú isteach i bpríomhchorp an tsliabháin, modh ar a dtugtar “gearradh léasair dofheicthe”. Don mhodh seo, cruthaíonn teas an léasair bearnaí sna lánaí scríbhneoireachta. Baintear éifeacht treáite den chineál céanna amach sna limistéir lagaithe seo trí bhriseadh nuair a shíntear an sliabhán.
▲Príomhphróiseas gearrtha léasair dofheicthe
Is próiseas léasair ionsúcháin inmheánaigh é an próiseas gearrtha dofheicthe, seachas abláisiú léasair ina n-ionsúnn an léasar ar an dromchla. Le gearradh dofheicthe, úsáidtear fuinneamh bhíoma léasair le tonnfhad atá leath-thrédhearcach don ábhar foshraithe vaiféir. Tá an próiseas roinnte ina dhá phríomhchéim, ceann amháin is próiseas léasairbhunaithe é, agus an ceann eile is próiseas deighilte meicniúil é.
▲Cruthaíonn an bhíoma léasair poll faoi dhromchla an tsliabháin, agus ní dhéantar difear do na taobhanna tosaigh agus cúil | Líonra foinse íomhá
Sa chéad chéim, agus an bhíoma léasair ag scanadh an tsliabháin, díríonn an bhíoma léasair ar phointe ar leith taobh istigh den tsliabhán, ag cruthú pointe scoilte istigh. Fágann fuinneamh an bhíoma go bhfoirmítear sraith scoilteanna istigh, nach bhfuil sínte fós trí thiús iomlán an tsliabháin go dtí na dromchlaí uachtaracha agus bun.
▲Comparáid idir sliseáin sileacain 100μm tiubha gearrtha leis an modh lanna agus modh gearrtha dofheicthe léasair | Líonra foinse íomhá
Sa dara céim, leathnaítear an téip sliseanna ag bun an tsaiféir go fisiciúil, rud a chruthaíonn strus teanntachta sna scoilteanna taobh istigh den tsaiféir, a spreagtar sa phróiseas léasair sa chéad chéim. Fágann an strus seo go síneann na scoilteanna go hingearach go dtí dromchlaí uachtaracha agus íochtaracha an tsaiféir, agus ansin scarann siad an tsaiféir ina sceallóga feadh na bpointí gearrtha seo. I ngearradh dofheicthe, is gnách go n-úsáidtear leathghearradh nó leathghearradh bun-taobh chun scaradh na nsaiféir ina sceallóga nó ina sceallóga a éascú.
Príomhbhuntáistí a bhaineann le gearradh léasair dofheicthe thar abláisiú léasair:
• Níl aon fhuaraitheoir ag teastáil
• Gan aon smionagar a ghintear
• Gan aon chriosanna atá buailte ag teas a d’fhéadfadh damáiste a dhéanamh do chiorcaid íogaire
Gearradh plasma
Is teicneolaíocht gearrtha vaiféir ardleibhéil í gearradh plasma (ar a dtugtar eitseáil plasma nó eitseáil thirim freisin) a úsáideann eitseáil ian imoibríoch (RIE) nó eitseáil ian imoibríoch domhain (DRIE) chun sceallóga aonair a dheighilt ó vaiféir leathsheoltóra. Baintear amach gearradh leis an teicneolaíocht trí ábhar a bhaint go ceimiceach feadh línte gearrtha réamhchinntithe ag baint úsáide as plasma.
Le linn an phróisis gearrtha plasma, cuirtear an sceallóg leathsheoltóra i seomra folúis, tugtar meascán gáis imoibríoch rialaithe isteach sa seomra, agus cuirtear réimse leictreach i bhfeidhm chun plasma a ghiniúint ina bhfuil tiúchan ard d’ian agus radacacha imoibríocha. Idirghníomhaíonn na speicis imoibríocha seo leis an ábhar sceallóige agus baintear ábhar an sceallóige go roghnach feadh na líne scríbe trí mheascán d’imoibriú ceimiceach agus spútaradh fisiceach.
Is é príomhbhuntáiste gearradh plasma ná go laghdaíonn sé strus meicniúil ar an vaiféar agus ar an sliseanna agus go laghdaíonn sé damáiste féideartha de bharr teagmhála fisiciúil. Mar sin féin, tá an próiseas seo níos casta agus níos am-íditheach ná modhanna eile, go háirithe nuair a bhíonn vaiféir níos tibhe nó ábhair a bhfuil friotaíocht ard greanta acu, mar sin tá a fheidhmchlár i dtáirgeadh mais teoranta.
▲Líonra foinse íomhá
I ndéantúsaíocht leathsheoltóirí, ní mór an modh gearrtha vaiféir a roghnú bunaithe ar go leor fachtóirí, lena n-áirítear airíonna ábhair vaiféir, méid agus geoiméadracht sliseanna, an cruinneas agus an cruinneas riachtanach, agus costas agus éifeachtúlacht táirgthe foriomlán.
Am an phoist: 20 Meán Fómhair 2024