ۋافلىكېسىش ئېلېكتر ئېنېرگىيەسى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتىكى مۇھىم ھالقىلارنىڭ بىرى. بۇ قەدەم يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافېرلاردىن يەككە ئىنتېگرال توك يولى ياكى چىپلارنى توغرا ئايرىش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن.
ئاچقۇچварельكېسىش دېگەنلىك، نەپىس قۇرۇلمىلار ۋە توك يوللىرىنىڭ ئىچىگە سىڭىپ كىرىشىگە كاپالەتلىك قىلىش بىلەن بىر ۋاقىتتا، يەككە چىپلارنى ئايرىيالايدىغان بولۇشتۇر.варельبۇزۇلمىغان. كېسىش جەريانىنىڭ مۇۋەپپەقىيەتلىك ياكى مەغلۇبىيىتى پەقەت چىپنىڭ ئايرىش سۈپىتى ۋە مەھسۇلات مىقدارىغا تەسىر كۆرسىتىپلا قالماي، يەنە پۈتۈن ئىشلەپچىقىرىش جەريانىنىڭ ئۈنۈمى بىلەن بىۋاسىتە مۇناسىۋەتلىك.
▲ ئۈچ خىل كۆپ ئۇچرايدىغان ۋافلى كېسىش ئۇسۇلى | مەنبە: KLA CHINA
ھازىر، ئورتاقварельكېسىش جەريانلىرى تۆۋەندىكىلەرگە بۆلىنىدۇ:
پىچاق كېسىش: باھاسى تۆۋەن، ئادەتتە قېلىنراق قىلىش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇۋافلىلار
لازېرلىق كېسىش: باھاسى يۇقىرى، ئادەتتە قېلىنلىقى 30μm دىن ئاشىدىغان ۋافلىلارغا ئىشلىتىلىدۇ.
پلازما كېسىش: باھاسى يۇقىرى، چەكلىمىسى كۆپ، ئادەتتە قېلىنلىقى 30μm دىن تۆۋەن بولغان ۋافلىلارغا ئىشلىتىلىدۇ.
مېخانىكىلىق پىچاق كېسىش
پىچاق كېسىش يۇقىرى سۈرئەتلىك ئايلىنىدىغان سىلىقلاش دىسكىسى (پىچاق) ئارقىلىق سىلىقلاش سىزىقى بويىچە كېسىش جەريانى. پىچاق ئادەتتە سۈرتكۈچ ياكى ئىنتايىن نېپىز ئالماس ماتېرىيالىدىن ياسىلىدۇ، كرېمنىيلىق ۋاپپىلاردا كېسىش ياكى ئويما قىلىشقا ماس كېلىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، مېخانىكىلىق كېسىش ئۇسۇلى سۈپىتىدە، پىچاق كېسىش فىزىكىلىق ماتېرىيالنى چىقىرىۋېتىشكە تايىنىدۇ، بۇ ئاسانلا پىچاقنىڭ گىرۋىكىنىڭ يېرىلىشى ياكى يېرىلىشىغا ئېلىپ كېلىدۇ، شۇڭا مەھسۇلات سۈپىتىگە تەسىر كۆرسىتىدۇ ۋە مەھسۇلات مىقدارىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
مېخانىكىلىق ئارىلاش جەريانى ئارقىلىق ئىشلەپچىقىرىلغان ئاخىرقى مەھسۇلاتنىڭ سۈپىتىگە كېسىش سۈرئىتى، پىچاقنىڭ قېلىنلىقى، پىچاقنىڭ دىئامېتىرى ۋە پىچاقنىڭ ئايلىنىش سۈرئىتى قاتارلىق كۆپ خىل پارامېتىرلار تەسىر كۆرسىتىدۇ.
تولۇق كېسىش ئەڭ ئاساسىي پىچاق كېسىش ئۇسۇلى بولۇپ، ئۇ بەلگىلەنگەن ماتېرىيالغا (مەسىلەن، كېسىش لېنتىسىغا) كېسىش ئارقىلىق ئىشلەنگەن بۇيۇمنى پۈتۈنلەي كېسىۋېتىدۇ.
▲ مېخانىكىلىق پىچاقنى كېسىش - تولۇق كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
يېرىم كېسىش بىر خىل پىششىقلاش ئۇسۇلى بولۇپ، ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ ئوتتۇرىسىغىچە كېسىش ئارقىلىق ئويما ھاسىل قىلىدۇ. ئويما جەريانىنى ئۈزلۈكسىز ئېلىپ بېرىش ئارقىلىق، تاراق ۋە ئىگنە شەكىللىك ئۇچلارنى ھاسىل قىلغىلى بولىدۇ.
▲ مېخانىكىلىق پىچاقنى يېرىم كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
قوش كېسىش بىر خىل پىششىقلاش ئۇسۇلى بولۇپ، ئىككى ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىدە بىرلا ۋاقىتتا تولۇق ياكى يېرىم كېسىش ئۈچۈن ئىككى ئوقلۇق قوش كېسىش ئارىسىنى ئىشلىتىدۇ. قوش كېسىش ئارىسىنىڭ ئىككى ئوقلۇق ئوقى بار. بۇ جەريان ئارقىلىق يۇقىرى ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىگە ئېرىشكىلى بولىدۇ.
▲ مېخانىكىلىق پىچاق كېسىش - قوش كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
باسقۇچلۇق كېسىش ئىككى باسقۇچلۇق قوش كېسىش ئارىسى ئارقىلىق تولۇق ۋە يېرىم كېسىشنى ئىككى باسقۇچتا ئېلىپ بارىدۇ. يۇقىرى سۈپەتلىك بىر تەرەپ قىلىش ئۈچۈن، ۋافلىنىڭ يۈزىدىكى سىم قەۋىتىنى كېسىشكە ئەڭ ماسلاشتۇرۇلغان پىچاقلار ۋە قالغان كرېمنىي يەككە كرىستالىغا ئەڭ ماسلاشتۇرۇلغان پىچاقلارنى ئىشلىتىڭ.
▲ مېخانىكىلىق پىچاق كېسىش – باسقۇچلۇق كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
قىيپاش كېسىش بىر خىل پىششىقلاش ئۇسۇلى بولۇپ، يېرىم كېسىلگەن گىرۋىكىدە V شەكىللىك گىرۋەك بار پىچاق ئارقىلىق باسقۇچلۇق كېسىش جەريانىدا ۋافېرنى ئىككى باسقۇچتا كېسىش ئۇسۇلى قوللىنىلىدۇ. قىيپاشلاش جەريانى كېسىش جەريانىدا ئېلىپ بېرىلىدۇ. شۇڭا، يۇقىرى قېلىپ چىدامچانلىقى ۋە يۇقىرى سۈپەتلىك پىششىقلاشقا ئېرىشكىلى بولىدۇ.
▲ مېخانىكىلىق پىچاق كېسىش – قىيسىق كېسىش | رەسىم مەنبەسى تورى
لازېرلىق كېسىش
لازېر كېسىش بىر خىل ئالاقىسىز لېفتىلىق كېسىش تېخنىكىسى بولۇپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لېفتىلىقلاردىن يەككە چىپلارنى ئايرىش ئۈچۈن مەركەزلەشكەن لازېر نۇرىنى ئىشلىتىدۇ. يۇقىرى ئېنېرگىيەلىك لازېر نۇرى لېفتىلىقنىڭ يۈزىگە مەركەزلەشكەن بولۇپ، ئابلاتسىيە ياكى ئىسسىقلىق پارچىلاش جەريانلىرى ئارقىلىق بەلگىلەنگەن كېسىش سىزىقى بويىچە ماتېرىيالنى پارغا ئايلاندۇرىدۇ ياكى چىقىرىۋېتىدۇ.
▲ لازېر كېسىش دىئاگراممىسى | رەسىم مەنبەسى: KLA CHINA
ھازىر كەڭ قوللىنىلىۋاتقان لازېر تۈرلىرى ئۇلترا بىنەپشە نۇر لازېرلىرى، ئىنفىرا قىزىل نۇر لازېرلىرى ۋە فېمتوسېكۇند لازېرلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. بۇلارنىڭ ئىچىدە، ئۇلترا بىنەپشە نۇر لازېرلىرى يۇقىرى فوتون ئېنېرگىيىسى سەۋەبىدىن دائىم ئېنىق سوغۇق ئاجراتما ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ، ئىسسىقلىق تەسىر كۆرسىتىدىغان رايون ئىنتايىن كىچىك بولۇپ، بۇ ۋافتا ۋە ئۇنىڭ ئەتراپىدىكى پارچىلارنىڭ ئىسسىقلىق بۇزۇلۇش خەۋپىنى ئۈنۈملۈك تۆۋەنلىتىدۇ. ئىنفىرا قىزىل نۇر لازېرلىرى قېلىن ۋافتالارغا تېخىمۇ ماس كېلىدۇ، چۈنكى ئۇلار ماتېرىيالغا چوڭقۇر سىڭىپ كىرەلەيدۇ. فېمتوسېكۇند لازېرلىرى ئۇلترا قىسقا نۇر ئىمپۇلسلىرى ئارقىلىق ئىسسىقلىق ئۆتكۈزۈش نىسبىتىنى ئاساسەن يوقىتىدىغان يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى ۋە ئۈنۈملۈك ماتېرىيال چىقىرىۋېتىشنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
لازېرلىق كېسىش ئەنئەنىۋى پىچاق كېسىشتىن زور ئەۋزەللىكلەرگە ئىگە. بىرىنچىدىن، تېگىشسىز جەريان سۈپىتىدە، لازېرلىق كېسىش ۋاپچىغا فىزىكىلىق بېسىم تەلەپ قىلمايدۇ، بۇ مېخانىكىلىق كېسىشتە كۆپ ئۇچرايدىغان پارچىلىنىش ۋە يېرىلىش مەسىلىلىرىنى ئازايتىدۇ. بۇ ئالاھىدىلىك لازېرلىق كېسىشنى بولۇپمۇ نازۇك ياكى ئىنتايىن نېپىز ۋاپچىلارنى، بولۇپمۇ مۇرەككەپ قۇرۇلمىلىق ياكى ئىنچىكە ئالاھىدىلىككە ئىگە ۋاپچىلارنى بىر تەرەپ قىلىشقا ماس كېلىدۇ.
▲ لازېر كېسىش دىئاگراممىسى | رەسىم مەنبەسى تورى
بۇنىڭدىن باشقا، لازېر كېسىشنىڭ يۇقىرى ئېنىقلىقى ۋە توغرىلىقى لازېر نۇرىنى ئىنتايىن كىچىك نۇقتىلارغا مەركەزلەشتۈرۈش، مۇرەككەپ كېسىش ئەندىزىسىنى قوللاش ۋە چىپلار ئارىسىدىكى ئەڭ كىچىك بوشلۇقنى ئايرىشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش ئىمكانىيىتىگە ئىگە قىلىدۇ. بۇ ئالاھىدىلىك، بولۇپمۇ چوڭلۇقى كىچىكلەيدىغان ئىلغار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن ئالاھىدە مۇھىم.
قانداقلا بولمىسۇن، لازېر كېسىشنىڭ بەزى چەكلىمىلىرىمۇ بار. پىچاق كېسىش بىلەن سېلىشتۇرغاندا، ئۇ ئاستا ۋە قىممەترەك، بولۇپمۇ چوڭ كۆلەملىك ئىشلەپچىقىرىشتا. بۇنىڭدىن باشقا، ماتېرىيالنى ئۈنۈملۈك چىقىرىۋېتىش ۋە ئىسسىقلىقنىڭ تەسىرىگە ئەڭ ئاز ئۇچرايدىغان رايوننى كاپالەتلەندۈرۈش ئۈچۈن توغرا لازېر تىپىنى تاللاش ۋە پارامېتىرلارنى ئەلالاشتۇرۇش بەزى ماتېرىياللار ۋە قېلىنلىقلار ئۈچۈن قىيىن بولۇشى مۇمكىن.
لازېرلىق ئابلاتسىيە كېسىش
لازېر بىلەن كېسىش جەريانىدا، لازېر نۇرى لېنتا يۈزىدىكى بەلگىلەنگەن ئورۇنغا ئېنىق مەركەزلەشتۈرۈلىدۇ، ھەمدە لازېر ئېنېرگىيەسى ئالدىن بېكىتىلگەن كېسىش ئەندىزىسى بويىچە يېتەكلىنىدۇ، لېنتا ئارقىلىق ئاستا-ئاستا ئاستىغا كېسىلىدۇ. كېسىش تەلىپىگە ئاساسەن، بۇ مەشغۇلات ئىمپۇلسلۇق لازېر ياكى ئۈزلۈكسىز دولقۇنلۇق لازېر ئارقىلىق ئېلىپ بېرىلىدۇ. لازېرنىڭ يەرلىك قىزىشى سەۋەبىدىن لېنتانىڭ بۇزۇلۇشىنىڭ ئالدىنى ئېلىش ئۈچۈن، سوۋۇتۇش سۈيى ئىشلىتىلىدۇ، لېنتا سوۋۇيدۇ ۋە ئىسسىقلىق بۇزۇلۇشىدىن ساقلايدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، سوۋۇتۇش سۈيى كېسىش جەريانىدا پەيدا بولغان زەررىچىلەرنى ئۈنۈملۈك چىقىرىۋېتىدۇ، بۇلغىنىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ۋە كېسىش سۈپىتىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
لازېرلىق كۆرۈنمەس كېسىش
لازېر يەنە ئىسسىقلىقنى ۋافېرنىڭ ئاساسلىق گەۋدىسىگە يۆتكەشكە مەركەزلەشتۈرۈلىدۇ، بۇ ئۇسۇل «كۆرۈنمەس لازېر كېسىش» دەپ ئاتىلىدۇ. بۇ ئۇسۇلدا، لازېردىن چىققان ئىسسىقلىق سىكرىپ يولىدىكى بوشلۇقلارنى ھاسىل قىلىدۇ. بۇ ئاجىز رايونلار ۋافېر سوزۇلغاندا سۇنۇپ ئوخشاش سىڭىپ كىرىش ئۈنۈمىگە ئېرىشىدۇ.
▲لازېر كۆرۈنمەس كېسىشنىڭ ئاساسلىق جەريانى
كۆرۈنمەيدىغان كېسىش جەريانى لازېرنىڭ يۈزىگە سۈمۈرۈلۈشى ئەمەس، بەلكى ئىچكى سۈمۈرگۈچ لازېر جەريانى بولۇپ، كۆرۈنمەيدىغان كېسىش جەريانىدا لازېرنىڭ يۈزىگە سۈمۈرۈلۈشىنى كۆرسىتىدۇ. كۆرۈنمەيدىغان كېسىش جەريانىدا، ۋافېر ئاساسى ماتېرىيالىغا يېرىم سۈزۈك بولغان دولقۇن ئۇزۇنلۇقىدىكى لازېر نۇرى ئېنېرگىيەسى ئىشلىتىلىدۇ. بۇ جەريان ئىككى ئاساسلىق باسقۇچقا بۆلىنىدۇ، بىرى لازېرغا ئاساسلانغان جەريان، يەنە بىرى مېخانىكىلىق ئايرىش جەريانى.
▲لازېر نۇرى ۋافېر يۈزىنىڭ ئاستىدا تۆشۈك ھاسىل قىلىدۇ، ئالدى ۋە ئارقا تەرەپلىرى تەسىرگە ئۇچرىمايدۇ | رەسىم مەنبەسى تورى
بىرىنچى قەدەمدە، لازېر نۇرى ۋافېرنى سىكانىرلىغاندا، لازېر نۇرى ۋافېرنىڭ ئىچىدىكى مەلۇم بىر نۇقتىغا مەركەزلىشىپ، ئىچىدە يېرىلىش نۇقتىسىنى شەكىللەندۈرىدۇ. نۇر ئېنېرگىيەسى ئىچىدە بىر قاتار يېرىلىشلارنى پەيدا قىلىدۇ، بۇ يېرىلىشلار ۋافېرنىڭ پۈتۈن قېلىنلىقىدىن ئۆتۈپ ئۈستۈنكى ۋە ئاستىنقى يۈزگىچە كېڭىيىپ كەتمىگەن.
▲پىچاق ئۇسۇلى بىلەن كېسىلگەن 100μm قېلىنلىقتىكى كرېمنىي ۋاپپېرلىرىنى ۋە لازېر كۆرۈنمەس كېسىش ئۇسۇلى بىلەن سېلىشتۇرۇش | رەسىم مەنبەسى تورى
ئىككىنچى قەدەمدە، ۋافلىنىڭ ئاستى تەرىپىدىكى چىپسىلىق لېنتا فىزىكىلىق جەھەتتىن كېڭىيىدۇ، بۇ ۋافلىنىڭ ئىچىدىكى يېرىقلاردا تارتىش كۈچى پەيدا قىلىدۇ، بۇ كۈچ بىرىنچى قەدەمدە لازېر جەريانىدا پەيدا بولىدۇ. بۇ كۈچ يېرىقلارنىڭ ۋافلىنىڭ ئۈستۈنكى ۋە ئاستىنقى يۈزىگە تىك سوزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ، ئاندىن ۋافلى بۇ كېسىش نۇقتىلىرى بويىچە چىپسىلارغا ئايرىلىدۇ. كۆرۈنمەيدىغان كېسىشتە، ۋافلىلارنى چىپسىلارغا ياكى چىپسىلارغا ئايرىشنى ئاسانلاشتۇرۇش ئۈچۈن ئادەتتە يېرىم كېسىش ياكى ئاستىنقى تەرەپ يېرىم كېسىش ئىشلىتىلىدۇ.
كۆرۈنمەيدىغان لازېر كېسىشنىڭ لازېر ئابلاتسىيەسىگە قارىغاندا ئاساسلىق ئەۋزەللىكلىرى:
• سوۋۇتقۇچ لازىم ئەمەس
• ھېچقانداق ئەخلەت پەيدا بولمايدۇ
• سەزگۈر توك يولىغا زىيان يەتكۈزىدىغان ئىسسىقلىق تەسىرگە ئۇچرىغان رايونلار يوق
پلازما كېسىش
پلازما كېسىش (پلازما ئويۇش ياكى قۇرۇق ئويۇش دەپمۇ ئاتىلىدۇ) ئىلغار ۋافتا كېسىش تېخنىكىسى بولۇپ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافتىلاردىن يەككە چىپلارنى ئايرىش ئۈچۈن ئاكتىپ ئىئون ئويۇش (RIE) ياكى چوڭقۇر ئاكتىپ ئىئون ئويۇش (DRIE) نى ئىشلىتىدۇ. بۇ تېخنىكا پلازما ئارقىلىق بەلگىلەنگەن كېسىش سىزىقلىرى بويىچە ماتېرىياللارنى خىمىيىلىك ئۇسۇلدا چىقىرىۋېتىش ئارقىلىق كېسىشنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
پلازما كېسىش جەريانىدا، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋاپپېر ۋاكۇئۇم كامېراسىغا قويۇلىدۇ، كامېراغا كونترول قىلىنىدىغان رېئاكتىپ گاز ئارىلاشمىسى كىرگۈزۈلىدۇ ۋە ئېلېكتر مەيدانى ئارقىلىق يۇقىرى قويۇقلۇقتىكى رېئاكتىپ ئىئونلار ۋە رادىكاللارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان پلازما ھاسىل قىلىنىدۇ. بۇ رېئاكتىپ تۈرلەر ۋاپپېر ماتېرىيالى بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىدۇ ۋە خىمىيىلىك رېئاكسىيە ۋە فىزىكىلىق پۈركۈش ئارقىلىق ۋاپپېر ماتېرىيالىنى سىكرىپ سىزىقى بويىچە تاللاپ چىقىرىۋېتىدۇ.
پلازما كېسىشنىڭ ئاساسلىق ئەۋزەللىكى شۇكى، ئۇ لېنتا ۋە چىپقا مېخانىكىلىق بېسىمنى ئازايتىدۇ ۋە فىزىكىلىق تېگىشىشتىن كېلىپ چىقىدىغان زىياننى ئازايتىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، بۇ جەريان باشقا ئۇسۇللارغا قارىغاندا تېخىمۇ مۇرەككەپ ۋە ۋاقىت تەلەپ قىلىدۇ، بولۇپمۇ قېلىن لېنتا ياكى يۇقىرى ئويۇش قارشىلىق كۈچىگە ئىگە ماتېرىياللار بىلەن ئىشلىگەندە، شۇڭا ئۇنىڭ كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىشتىكى قوللىنىلىشى چەكلىك.
▲رەسىم مەنبەسى تورى
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا، ۋافلى كېسىش ئۇسۇلىنى نۇرغۇن ئامىللارغا ئاساسەن تاللاش كېرەك، بۇنىڭ ئىچىدە ۋافلى ماتېرىيالىنىڭ خۇسۇسىيىتى، چىپ چوڭلۇقى ۋە گېئومېتىرىيەسى، تەلەپ قىلىنىدىغان ئېنىقلىق ۋە توغرىلىق، ھەمدە ئومۇمىي ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخى ۋە ئۈنۈمى قاتارلىقلار بار.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 9-ئاينىڭ 20-كۈنى