WaferHo seha ke e 'ngoe ea lihokelo tsa bohlokoa tlhahisong ea semiconductor ea matla. Mohato ona o etselitsoe ho arola ka nepo lipotoloho tse kopaneng kapa li-chips ho li-wafer tsa semiconductor.
Senotlolo sasejana sa bohobeho seha ke ho kgona ho arola di-chip ka bonngoe ha ho ntse ho netefatswa hore dibopeho tse bonolo le dipotoloho di kentswe ka hare hosejana sa bohobeha di senyehe. Katleho kapa ho hloleha ha tshebetso ya ho seha ha ho ame feela boleng ba karohano le tlhahiso ya chip, empa hape ho amana ka ho toba le bokgoni ba tshebetso yohle ya tlhahiso.
▲Mefuta e meraro e tloaelehileng ea ho seha li-wafer | Mohloli: KLA CHINA
Hona jwale, tse tlwaelehilengsejana sa bohobeMekhoa ea ho seha e arotsoe ka:
Ho seha lehare: theko e tlase, hangata ho sebelisoa bakeng sa ho tenyali-wafer
Ho seha ka laser: theko e phahameng, hangata ho sebelisoa bakeng sa li-wafer tse nang le botenya bo fetang 30μm
Ho seha ka plasma: theko e phahameng, lithibelo tse ngata, hangata li sebelisoa bakeng sa li-wafer tse nang le botenya bo ka tlase ho 30μm
Ho itšeha ha lehare la mechini
Ho seha lehare ke mokhoa oa ho seha ho latela mola oa scribe ka disk ea ho sila e potolohang ka lebelo le phahameng (lehare). Lehare hangata le entsoe ka thepa ea daemane e khorofo kapa e tšesaane haholo, e loketseng ho seha kapa ho phunya holim'a li-wafer tsa silicon. Leha ho le joalo, e le mokhoa oa ho seha oa mechini, ho seha lehare ho itšetlehile ka ho tlosoa ha thepa ea 'mele, e leng se ka lebisang habonolo ho petsoheng kapa ho petsoheng ha moedi oa chip, ka hona ho ama boleng ba sehlahisoa le ho fokotsa chai.
Boleng ba sehlahisoa sa ho qetela se hlahisoang ke ts'ebetso ea ho sakha ka mechine bo angoa ke liparamente tse ngata, ho kenyeletsoa lebelo la ho seha, botenya ba lehare, bophara ba lehare le lebelo la ho potoloha lehare.
Ho seha ka botlalo ke mokhoa oa motheo oa ho seha lehare, o sehang mosebetsi ka botlalo ka ho seha ho ea ho thepa e tsitsitseng (joalo ka theipi ea ho seha).
▲ Ho seha ka botlalo ha lehare la mechini | Marangrang a mohloli oa setšoantšo
Ho seha halofo ke mokhoa oa ho sebetsana le ho hlahisa mokoti ka ho seha bohareng ba mosebetsi. Ka ho etsa ts'ebetso ea ho seha ka ho tsoelang pele, ho ka hlahisoa lintlha tse bōpehileng joaloka nale le ka har'a khetla.
▲ Ho seha lehare la mechine ka halofo | Marangrang a mohloli oa setšoantšo
Ho seha habeli ke mokhoa oa ho sebetsana le lintho o sebelisang sakha e habeli e nang le li-spindle tse peli ho etsa li-cutting tse felletseng kapa tse halofo meleng e 'meli ea tlhahiso ka nako e le' ngoe. Sakha e habeli e na le li-spindle tse peli. Phello e phahameng e ka finyelloa ka ts'ebetso ena.
▲ Lehare la mechine le sehiloeng habeli | Marangrang a mohloli oa setšoantšo
Mohato o sehiloeng o sebedisa sakha e habeli e nang le di-spindle tse pedi ho etsa dikotwana tse felletseng le tse halofo ka mekhahlelo e mmedi. Sebedisa di-blade tse ntlafaditsweng bakeng sa ho seha lera la terata hodima wafer le di-blade tse ntlafaditsweng bakeng sa kristale e le nngwe e setseng ya silicon ho fihlella tshebetso ya boleng bo hodimo.
▲ Ho seha lehare ka mechine - ho seha mehato | Marangrang a mohloli oa setšoantšo
Ho seha ka bevel ke mokhoa oa ho sebetsana le lehare le nang le bohale bo kang ba V moeling o sehiloeng halofo ho seha wafer ka mekhahlelo e 'meli nakong ea ts'ebetso ea ho seha ka mehato. Ts'ebetso ea ho seha e etsoa nakong ea ts'ebetso ea ho seha. Ka hona, matla a hlobo a phahameng le ts'ebetso ea boleng bo holimo li ka finyelloa.
▲ Ho seha lehare ka mechine - ho seha bevel | Marangrang a mohloli oa setšoantšo
Ho itšeha ka laser
Ho seha ka laser ke theknoloji ea ho seha wafer e sa amaneng le e sebelisang lehlaseli la laser le shebaneng le ho arola li-chips ka bomong ho li-wafer tsa semiconductor. Lehlaseli la laser le nang le matla a mangata le shebane le bokaholimo ba wafer 'me le mouoane kapa le tlosa thepa ho latela mohala o reriloeng esale pele oa ho seha ka mekhoa ea ho tlosa kapa ea ho bola ha mocheso.
▲ Setšoantšo sa ho seha ka laser | Mohloli oa setšoantšo: KLA CHINA
Mefuta ea li-laser tse sebelisoang haholo hajoale e kenyelletsa li-laser tsa ultraviolet, li-laser tsa infrared, le li-laser tsa femtosecond. Har'a tsona, li-laser tsa ultraviolet hangata li sebelisoa bakeng sa ho tlosa mocheso o batang ka ho nepahetseng ka lebaka la matla a tsona a phahameng a photon, 'me sebaka se amehileng ke mocheso se senyenyane haholo, e leng se ka fokotsang kotsi ea tšenyo ea mocheso ho wafer le li-chips tse e potileng. Li-laser tsa infrared li loketse li-wafer tse teteaneng hobane li ka kenella ka botebo ka har'a thepa. Li-laser tsa Femtosecond li finyella ho tlosoa ha thepa ka nepo e phahameng le ka katleho ka phetiso ea mocheso e batlang e sa lekane ka li-pulse tsa khanya e khutšoanyane haholo.
Ho seha ka laser ho na le melemo e meholo ho feta ho seha lehare la setso. Taba ea pele, e le mokhoa o sa amaneng, ho seha ka laser ha ho hloke khatello ea 'mele holim'a wafer, e leng se fokotsang mathata a ho arohana le ho petsoha a tloaelehileng ho seheng ka mechine. Tšobotsi ena e etsa hore ho seha ka laser ho loketse haholo bakeng sa ho sebetsana le li-wafer tse pshatlehang habonolo kapa tse tšesaane haholo, haholo-holo tse nang le meaho e rarahaneng kapa litšobotsi tse ntle.
▲ Setšoantšo sa ho seha ka laser | Marang-rang a mohloli oa setšoantšo
Ho phaella moo, ho nepahala ho hoholo le ho nepahala ha ho seha ka laser ho e nolofalletsa ho tsepamisa mahlaseli a laser boholong bo bonyenyane haholo, ho tshehetsa dipaterone tse rarahaneng tsa ho seha, le ho fihlella karohano ya sebaka se fokolang pakeng tsa di-chip. Tšobotsi ena e bohlokwa haholo bakeng sa disebediswa tse tswetseng pele tsa semiconductor tse nang le boholo bo fokotsehang.
Leha ho le jwalo, ho seha ka laser le hona ho na le mefokolo e itseng. Ha ho bapisoa le ho seha lehare, ho lieha ebile ho bitsa chelete e ngata, haholo-holo tlhahisong e kgolo. Ho phaella moo, ho kgetha mofuta o nepahetseng wa laser le ho ntlafatsa diparamitha ho netefatsa hore ho tloswa ha thepa ka katleho le sebaka se fokolang se amehileng ke mocheso ho ka ba thata bakeng sa thepa le botenya bo itseng.
Ho itšeha ha laser ablation
Nakong ea ho seha ka laser, lehlaseli la laser le shebane hantle le sebaka se itseng holim'a wafer, 'me matla a laser a tataisoa ho latela mokhoa o reriloeng esale pele oa ho seha, butle-butle ho seha ka wafer ho ea tlaase. Ho latela litlhoko tsa ho seha, ts'ebetso ena e etsoa ho sebelisoa laser e pulsed kapa laser e tsoelang pele ea maqhubu. E le ho thibela tšenyo ea wafer ka lebaka la ho futhumatsa ho feteletseng ha laser sebakeng seo, metsi a pholileng a sebelisoa ho pholisa le ho sireletsa wafer tšenyo ea mocheso. Ka nako e ts'oanang, metsi a pholileng a ka boela a tlosa likaroloana tse hlahisitsoeng nakong ea ts'ebetso ea ho seha ka katleho, a thibela tšilafalo le ho netefatsa boleng ba ho seha.
Ho itšeha ho sa bonahaleng ka laser
Lesetara e ka boela ea shebisisoa ho fetisetsa mocheso 'meleng o moholo oa wafer, mokhoa o bitsoang "ho seha ha laser ho sa bonahaleng". Bakeng sa mokhoa ona, mocheso o tsoang ho laser o baka likheo litseleng tsa scribe. Libaka tsena tse fokolang ebe li fumana phello e tšoanang ea ho kenella ka ho robeha ha wafer e otlolloa.
▲Tshebetso e ka sehloohong ea ho itšeha ha laser e sa bonahaleng
Mokhoa oa ho seha o sa bonahaleng ke mokhoa oa laser oa ho monya ka hare, ho fapana le ho tlosa mahlaseli a laser moo laser e monngoang holim'a metsi. Ka ho seha ho sa bonahaleng, matla a mahlaseli a laser a nang le bolelele ba leqhubu bo bonahalang hanyane ho thepa ea substrate ea wafer aa sebelisoa. Mokhoa ona o arotsoe ka mehato e 'meli e meholo, o mong ke mokhoa o thehiloeng ho laser, 'me o mong ke mokhoa oa karohano ea mechini.
▲Lehlaseli la laser le baka lesoba ka tlase ho bokaholimo ba wafer, 'me mahlakore a ka pele le a ka morao ha a amehe | Marang-rang a mohloli oa setšoantšo
Mohatong oa pele, ha lehlaseli la laser le ntse le hlahloba wafer, lehlaseli la laser le shebana le ntlha e itseng ka hare ho wafer, e leng se etsang ntlha ea ho petsoha ka hare. Matla a lehlaseli a etsa hore ho thehoe mapetso a mangata ka hare, a e-so ka atoloha ka botenya bohle ba wafer ho ea holimo le holimo.
▲Papiso ea li-wafer tsa silicon tse teteaneng tsa 100μm tse khaotsoeng ka mokhoa oa lehare le mokhoa oa ho seha o sa bonahaleng oa laser | Marang-rang a mohloli oa setšoantšo
Mohatong oa bobeli, theipi ea chip e ka tlase ho wafer e atolosoa ka 'mele, e leng se bakang khatello ea ho tsieleha mapetsong a ka hare ho wafer, a hlahisoang ts'ebetsong ea laser mohatong oa pele. Khatello ena e etsa hore mapetso a namele holimo le holimo ho ea holimo le tlase ho wafer, ebe a arola wafer ka li-chips ho latela lintlha tsena tsa ho seha. Ha ho sehoa ho sa bonahaleng, ho sehoa ha halofo kapa ho sehoa ha halofo lehlakoreng le ka tlase hangata ho sebelisoa ho nolofatsa karohano ea li-wafer ka li-chips kapa li-chips.
Melemo ea bohlokoa ea ho seha ka laser e sa bonahaleng holim'a ho tlosoa ha laser:
• Ha ho hlokahale sehatsetsi
• Ha ho na lithōle tse hlahisoang
• Ha ho libaka tse amehileng ke mocheso tse ka senyang lipotoloho tse bonolo
Ho seha ha plasma
Ho seha ka plasma (ho tsejoang hape e le ho seha ka plasma kapa ho seha ka omileng) ke theknoloji e tsoetseng pele ea ho seha ka wafer e sebelisang ho seha ka ion e arabelang (RIE) kapa ho seha ka ion e arabelang ka botebo (DRIE) ho arola li-chips tse ikemetseng ho li-wafer tsa semiconductor. Theknoloji ena e finyella ho seha ka ho tlosa thepa ka lik'hemik'hale meleng e reriloeng esale pele ea ho seha ho sebelisoa plasma.
Nakong ea ts'ebetso ea ho seha plasma, wafer ea semiconductor e beoa ka phapusing ea vacuum, motsoako oa khase o laoloang o kenngoa ka phapusing, 'me tšimo ea motlakase e sebelisoa ho hlahisa plasma e nang le mahloriso a mangata a li-ion tse arabelang le li-radical. Mefuta ena e arabelang e sebelisana le thepa ea wafer 'me e tlosa thepa ea wafer ka mokhoa o ikhethileng moleng oa scribe ka motsoako oa karabelo ea lik'hemik'hale le ho phatloha ha 'mele.
Molemo o moholo oa ho seha plasma ke hore e fokotsa khatello ea mechine holim'a wafer le chip mme e fokotsa tšenyo e ka bang teng e bakoang ke ho kopana 'meleng. Leha ho le joalo, ts'ebetso ena e rarahane haholo ebile e nka nako ho feta mekhoa e meng, haholo-holo ha ho sebetsanoa le li-wafer tse teteaneng kapa thepa e nang le khanyetso e phahameng ea ho qoelisoa, kahoo ts'ebeliso ea eona tlhahisong ea bongata e lekanyelitsoe.
▲ Marangrang a mohloli oa setšoantšo
Tlhahisong ea li-semiconductor, mokhoa oa ho seha oa wafer o hloka ho khethoa ho latela lintlha tse ngata, ho kenyeletsoa le thepa ea thepa ea wafer, boholo ba chip le jiometri, ho nepahala le ho nepahala ho hlokahalang, le litšenyehelo tsa tlhahiso le bokhoni ka kakaretso.
Nako ea poso: Loetse-20-2024