ୱାଫରପାୱାର ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ କଟିଂ ହେଉଛି ଏକ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଲିଙ୍କ। ଏହି ପଦକ୍ଷେପଟି ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ୱେଫର୍ସରୁ ବ୍ୟକ୍ତିଗତ ସମନ୍ୱିତ ସର୍କିଟ୍ କିମ୍ବା ଚିପ୍ସକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ପୃଥକ କରିବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି।
ଏହାର ଚାବିୱାଫରକଟିଙ୍ଗ ହେଉଛି ପୃଥକ ଚିପ୍ସକୁ ପୃଥକ କରିବା ସହିତ ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ଯେ ଏଥିରେ ସନ୍ନିହିତ ସୂକ୍ଷ୍ମ ଗଠନ ଏବଂ ସର୍କିଟଗୁଡ଼ିକୱାଫରକ୍ଷତିଗ୍ରସ୍ତ ହୁଏ ନାହିଁ। କାଟିବା ପ୍ରକ୍ରିୟାର ସଫଳତା କିମ୍ବା ବିଫଳତା କେବଳ ଚିପ୍ ର ପୃଥକୀକରଣ ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନକୁ ପ୍ରଭାବିତ କରେ ନାହିଁ, ବରଂ ସମଗ୍ର ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାର ଦକ୍ଷତା ସହିତ ମଧ୍ୟ ସିଧାସଳଖ ଜଡିତ।
▲ତିନିଟି ସାଧାରଣ ପ୍ରକାରର ୱେଫର କଟିଂ | ଉତ୍ସ: KLA ଚୀନ୍
ବର୍ତ୍ତମାନ, ସାଧାରଣୱାଫରକାଟିବା ପ୍ରକ୍ରିୟାଗୁଡ଼ିକୁ ଏହି ପ୍ରକାରରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇଛି:
ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ: କମ ମୂଲ୍ୟ, ସାଧାରଣତଃ ମୋଟା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏୱାଫର୍
ଲେଜର କଟିଂ: ଅଧିକ ମୂଲ୍ୟ, ସାଧାରଣତଃ 30μm ରୁ ଅଧିକ ଘନତା ଥିବା ୱେଫର ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ପ୍ଲାଜ୍ମା କଟିଂ: ଅଧିକ ମୂଲ୍ୟ, ଅଧିକ କଟକଣା, ସାଧାରଣତଃ 30μm ରୁ କମ୍ ଘନତା ଥିବା ୱେଫର ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଯାନ୍ତ୍ରିକ ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ
ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ ହେଉଛି ଏକ ହାଇ-ସ୍ପିଡ୍ ରୋଟେଟିଂ ଗ୍ରାଇଣ୍ଡିଂ ଡିସ୍କ (ବ୍ଲେଡ୍) ଦ୍ୱାରା ସ୍କ୍ରାଇବ୍ ଲାଇନ୍ ସହିତ କାଟିବାର ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟା। ବ୍ଲେଡ୍ ସାଧାରଣତଃ ଘୃଣ୍ୟ କିମ୍ବା ଅତ୍ୟଧିକ ପତଳା ହୀରା ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି ହୋଇଥାଏ, ଯାହା ସିଲିକନ୍ ୱେଫର୍ସରେ କାଟିବା କିମ୍ବା ଗ୍ରୁଭ୍ କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ। ତଥାପି, ଏକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ କଟିଂ ପଦ୍ଧତି ଭାବରେ, ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ ଭୌତିକ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ, ଯାହା ସହଜରେ ଚିପ୍ ଧାରକୁ ଚିପ୍ କିମ୍ବା ଫାଟିପାରେ, ଯାହା ଫଳରେ ଉତ୍ପାଦର ଗୁଣବତ୍ତା ପ୍ରଭାବିତ ହୁଏ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ହ୍ରାସ ହୁଏ।
ଯାନ୍ତ୍ରିକ କରତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଦ୍ୱାରା ଉତ୍ପାଦିତ ଚୂଡ଼ାନ୍ତ ଉତ୍ପାଦର ଗୁଣବତ୍ତା କଟିବା ଗତି, ବ୍ଲେଡ୍ ଘନତା, ବ୍ଲେଡ୍ ବ୍ୟାସ ଏବଂ ବ୍ଲେଡ୍ ଘୂର୍ଣ୍ଣନ ଗତି ସମେତ ଅନେକ ପାରାମିଟର ଦ୍ୱାରା ପ୍ରଭାବିତ ହୁଏ।
ଫୁଲ୍ କଟ୍ ହେଉଛି ସବୁଠାରୁ ମୌଳିକ ବ୍ଲେଡ୍ କଟିବା ପଦ୍ଧତି, ଯାହା ଏକ ସ୍ଥିର ସାମଗ୍ରୀ (ଯେପରିକି ଏକ ସ୍ଲାଇସିଂ ଟେପ୍) ରେ କାଟି ୱର୍କପିସ୍ କୁ ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଭାବରେ କାଟିଥାଏ।
▲ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ-ପୂର୍ଣ୍ଣ କଟ୍ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ
ଅଧା କଟ୍ ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦ୍ଧତି ଯାହା କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷେତ୍ରର ମଝି ଭାଗକୁ କାଟି ଏକ ଖାଲ ସୃଷ୍ଟି କରେ। ନିରନ୍ତର ଗ୍ରୂଭ୍ ପ୍ରକ୍ରିୟା କରିବା ଦ୍ୱାରା, କୋଣ ଏବଂ ଛୁଞ୍ଚି ଆକାରର ବିନ୍ଦୁ ଉତ୍ପାଦନ କରାଯାଇପାରିବ।
▲ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ-ଅଧା କଟ୍ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ
ଡବଲ୍ କଟ୍ ହେଉଛି ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦ୍ଧତି ଯାହା ଦୁଇଟି ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ସହିତ ଏକ ଡବଲ୍ ସ୍ଲାଇସିଂ ସ ବ୍ୟବହାର କରି ଦୁଇଟି ଉତ୍ପାଦନ ଲାଇନରେ ଏକା ସମୟରେ ପୂର୍ଣ୍ଣ କିମ୍ବା ଅଧା କଟ୍ କରିଥାଏ। ଡବଲ୍ ସ୍ଲାଇସିଂ ସ'ରେ ଦୁଇଟି ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ଅକ୍ଷ ଥାଏ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ଉଚ୍ଚ ଥ୍ରୁପୁଟ୍ ହାସଲ କରାଯାଇପାରିବ।
▲ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ-ଡବଲ କଟ୍ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ
ଷ୍ଟେପ୍ କଟ୍ ଦୁଇଟି ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ପୂର୍ଣ୍ଣ ଏବଂ ଅଧା କଟ୍ କରିବା ପାଇଁ ଦୁଇଟି ସ୍ପିଣ୍ଡଲ୍ ସହିତ ଏକ ଡବଲ୍ ସ୍ଲାଇସିଂ ସ ବ୍ୟବହାର କରିଥାଏ। ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ହାସଲ କରିବା ପାଇଁ ୱେଫର ପୃଷ୍ଠରେ ୱାୟାରିଂ ସ୍ତର କାଟିବା ପାଇଁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ ହୋଇଥିବା ବ୍ଲେଡ୍ ଏବଂ ଅବଶିଷ୍ଟ ସିଲିକନ୍ ସିଙ୍ଗଲ୍ କ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ପାଇଁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ ହୋଇଥିବା ବ୍ଲେଡ୍ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତୁ।
▲ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ - ଷ୍ଟେପ୍ କଟିଂ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ
ବେଭେଲ୍ କଟିଂ ଏକ ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପଦ୍ଧତି ଯାହା ଷ୍ଟେପ୍ କଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ଦୁଇଟି ପର୍ଯ୍ୟାୟରେ ୱେଫରକୁ କାଟିବା ପାଇଁ ଅଧା-କଟ୍ ଧାରରେ V-ଆକୃତିର ଧାର ସହିତ ଏକ ବ୍ଲେଡ୍ ବ୍ୟବହାର କରେ। କଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ଚାମ୍ଫରିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା କରାଯାଏ। ତେଣୁ, ଉଚ୍ଚ ଛାଞ୍ଚ ଶକ୍ତି ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ହାସଲ କରାଯାଇପାରିବ।
▲ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ - ବେଭେଲ୍ କଟିଂ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ
ଲେଜର୍ କଟିଂ
ଲେଜର କଟିଙ୍ଗ ଏକ ଅଣ-ସମ୍ପର୍କ ୱାଫର କଟିଙ୍ଗ ପ୍ରଯୁକ୍ତି ଯାହା ଅର୍ଦ୍ଧଚାଳକ ୱାଫରରୁ ବ୍ୟକ୍ତିଗତ ଚିପ୍ସକୁ ପୃଥକ କରିବା ପାଇଁ ଏକ କେନ୍ଦ୍ରିତ ଲେଜର ବିମ୍ ବ୍ୟବହାର କରେ। ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଲେଜର ବିମ୍ ୱାଫରର ପୃଷ୍ଠ ଉପରେ କେନ୍ଦ୍ରିତ ହୋଇଥାଏ ଏବଂ ଆବଲେଶନ୍ କିମ୍ବା ତାପଜ ବିଘଟନ ପ୍ରକ୍ରିୟା ମାଧ୍ୟମରେ ପୂର୍ବନିର୍ଦ୍ଧାରିତ କଟିଙ୍ଗ ରେଖା ସହିତ ସାମଗ୍ରୀକୁ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରେ କିମ୍ବା ଅପସାରଣ କରେ।
▲ ଲେଜର କଟିଂ ଡାଏଗ୍ରାମ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ: KLA ଚୀନା
ବର୍ତ୍ତମାନ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହେଉଥିବା ଲେଜରଗୁଡ଼ିକର ପ୍ରକାରଗୁଡ଼ିକ ହେଉଛି ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଲେଜର, ଇନଫ୍ରାରେଡ୍ ଲେଜର ଏବଂ ଫେମଟୋସେକେଣ୍ଡ ଲେଜର। ସେମାନଙ୍କ ମଧ୍ୟରୁ, ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଲେଜରଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରାୟତଃ ସେମାନଙ୍କର ଉଚ୍ଚ ଫୋଟନ୍ ଶକ୍ତି ହେତୁ ସଠିକ୍ ଥଣ୍ଡା ଆବଲେସନ୍ ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ, ଏବଂ ତାପ-ପ୍ରଭାବିତ ଜୋନ୍ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଛୋଟ, ଯାହା ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ୱେଫର ଏବଂ ଏହାର ଚାରିପାଖରେ ଥିବା ଚିପ୍ସକୁ ତାପଜ କ୍ଷତିର ବିପଦକୁ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ। ଇନଫ୍ରାରେଡ୍ ଲେଜରଗୁଡ଼ିକ ଘନ ୱେଫର ପାଇଁ ଅଧିକ ଉପଯୁକ୍ତ କାରଣ ସେମାନେ ସାମଗ୍ରୀ ମଧ୍ୟରେ ଗଭୀର ଭାବରେ ପ୍ରବେଶ କରିପାରିବେ। ଫେମଟୋସେକେଣ୍ଡ ଲେଜରଗୁଡ଼ିକ ଅଲ୍ଟ୍ରାଭାୟୋଲେଟ୍ ଆଲୋକ ପଲ୍ସ ମାଧ୍ୟମରେ ପ୍ରାୟ ନଗଣ୍ୟ ତାପ ସ୍ଥାନାନ୍ତର ସହିତ ଉଚ୍ଚ-ସଠିକତା ଏବଂ ଦକ୍ଷ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ହାସଲ କରନ୍ତି।
ପାରମ୍ପରିକ ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ ତୁଳନାରେ ଲେଜର କଟିଂର ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ସୁବିଧା ଅଛି। ପ୍ରଥମତଃ, ଏକ ଅଣ-ସଂପର୍କ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଭାବରେ, ଲେଜର କଟିଂ ପାଇଁ ୱେଫର ଉପରେ ଭୌତିକ ଚାପ ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ ନାହିଁ, ଯାହା ଯାନ୍ତ୍ରିକ କଟିଂରେ ସାଧାରଣ ଭାବରେ ଖଣ୍ଡ ଖଣ୍ଡ ଏବଂ ଫାଟିବା ସମସ୍ୟାକୁ ହ୍ରାସ କରେ। ଏହି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଲେଜର କଟିଂକୁ ବିଶେଷ ଭାବରେ ଭଙ୍ଗୁର କିମ୍ବା ଅତ୍ୟଧିକ-ପତଳା ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ, ବିଶେଷକରି ଜଟିଳ ଗଠନ କିମ୍ବା ସୂକ୍ଷ୍ମ ବ features ଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ।
▲ ଲେଜର କଟିଂ ଡାଏଗ୍ରାମ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ
ଏହା ସହିତ, ଲେଜର କଟିଂର ଉଚ୍ଚ ସଠିକତା ଏବଂ ସଠିକତା ଏହାକୁ ଲେଜର ବିମକୁ ଏକ ଅତ୍ୟନ୍ତ ଛୋଟ ସ୍ପଟ୍ ଆକାରରେ କେନ୍ଦ୍ରିତ କରିବାକୁ, ଜଟିଳ କଟିଂ ପ୍ୟାଟର୍ନକୁ ସମର୍ଥନ କରିବାକୁ ଏବଂ ଚିପ୍ସ ମଧ୍ୟରେ ସର୍ବନିମ୍ନ ବ୍ୟବଧାନର ପୃଥକୀକରଣ ହାସଲ କରିବାକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ। ଏହି ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ବିଶେଷ ଭାବରେ ସଙ୍କୁଚିତ ଆକାର ସହିତ ଉନ୍ନତ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
ତଥାପି, ଲେଜର କଟିଂର ମଧ୍ୟ କିଛି ସୀମା ରହିଛି। ବ୍ଲେଡ୍ କଟିଂ ତୁଳନାରେ, ଏହା ଧୀର ଏବଂ ଅଧିକ ମହଙ୍ଗା, ବିଶେଷକରି ବଡ଼ ଉତ୍ପାଦନରେ। ଏହା ସହିତ, ସଠିକ୍ ଲେଜର ପ୍ରକାର ବାଛିବା ଏବଂ ଦକ୍ଷ ସାମଗ୍ରୀ ଅପସାରଣ ଏବଂ ସର୍ବନିମ୍ନ ତାପ-ପ୍ରଭାବିତ କ୍ଷେତ୍ର ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ପାରାମିଟରଗୁଡ଼ିକୁ ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ କରିବା କିଛି ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ଘନତା ପାଇଁ ଚ୍ୟାଲେଞ୍ଜିଂ ହୋଇପାରେ।
ଲେଜର ଆବାଲେସନ୍ କଟିଂ
ଲେଜର ଆବଲେଶନ୍ କଟିଂ ସମୟରେ, ଲେଜର ବିମ୍ ୱାଫରର ପୃଷ୍ଠରେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ସ୍ଥାନରେ ସଠିକ୍ ଭାବରେ କେନ୍ଦ୍ରିତ ହୋଇଥାଏ, ଏବଂ ଲେଜର ଶକ୍ତି ଏକ ପୂର୍ବନିର୍ଦ୍ଧାରିତ କଟିଂ ପ୍ୟାଟର୍ଣ୍ଣ ଅନୁସାରେ ନିର୍ଦ୍ଦେଶିତ ହୋଇଥାଏ, ଧୀରେ ଧୀରେ ୱାଫର ଦେଇ ତଳକୁ କାଟିଥାଏ। କଟିଂ ଆବଶ୍ୟକତା ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି, ଏହି କାର୍ଯ୍ୟ ଏକ ସ୍ପନ୍ଦିତ ଲେଜର କିମ୍ବା ଏକ ନିରନ୍ତର ତରଙ୍ଗ ଲେଜର ବ୍ୟବହାର କରି କରାଯାଏ। ଲେଜରର ଅତ୍ୟଧିକ ସ୍ଥାନୀୟ ଗରମ ଯୋଗୁଁ ୱାଫରକୁ କ୍ଷତି ରୋକିବା ପାଇଁ, ଥଣ୍ଡା ପାଣିକୁ ଥଣ୍ଡା କରିବା ଏବଂ ୱାଫରକୁ ତାପଜ କ୍ଷତିରୁ ରକ୍ଷା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। ସେହି ସମୟରେ, ଥଣ୍ଡା ପାଣି କଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା କଣିକାଗୁଡ଼ିକୁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ଅପସାରଣ କରିପାରିବ, ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ରୋକିପାରିବ ଏବଂ କଟିଂ ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ।
ଲେଜର ଅଦୃଶ୍ୟ କଟିବା
ଲେଜରକୁ ୱେଫରର ମୁଖ୍ୟ ଶରୀରକୁ ତାପ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରିବା ପାଇଁ ମଧ୍ୟ କେନ୍ଦ୍ରିତ କରାଯାଇପାରିବ, ଏହାକୁ "ଅଦୃଶ୍ୟ ଲେଜର କଟିଙ୍ଗ" କୁହାଯାଏ। ଏହି ପଦ୍ଧତି ପାଇଁ, ଲେଜରରୁ ଉତ୍ତାପ ସ୍କ୍ରିବ୍ ଲେନରେ ଫାଙ୍କ ସୃଷ୍ଟି କରେ। ଏହି ଦୁର୍ବଳ ଅଞ୍ଚଳଗୁଡ଼ିକ ୱେଫରକୁ ବିସ୍ତାର କରିବା ସମୟରେ ଭାଙ୍ଗି ସମାନ ପ୍ରବେଶ ପ୍ରଭାବ ହାସଲ କରେ।
▲ଲେଜର ଅଦୃଶ୍ୟ କଟିବାର ମୁଖ୍ୟ ପ୍ରକ୍ରିୟା
ଅଦୃଶ୍ୟ କଟିବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏକ ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଅବଶୋଷଣ ଲେଜର ପ୍ରକ୍ରିୟା, ଲେଜର ଆବଲେସନ୍ ନୁହେଁ ଯେଉଁଠାରେ ଲେଜର ପୃଷ୍ଠରେ ଶୋଷିତ ହୁଏ। ଅଦୃଶ୍ୟ କଟିବା ସହିତ, ୱେଫର ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ଅର୍ଦ୍ଧ-ସ୍ୱଚ୍ଛ ତରଙ୍ଗଦୈର୍ଘ୍ୟ ସହିତ ଲେଜର ବିମ୍ ଶକ୍ତି ବ୍ୟବହାର କରାଯାଏ। ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟାକୁ ଦୁଇଟି ମୁଖ୍ୟ ପଦକ୍ଷେପରେ ବିଭକ୍ତ କରାଯାଇଛି, ଗୋଟିଏ ଲେଜର-ଆଧାରିତ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଏବଂ ଅନ୍ୟଟି ଏକ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ପୃଥକୀକରଣ ପ୍ରକ୍ରିୟା।
▲ଲେଜର ବିମ୍ ୱାଫର ପୃଷ୍ଠ ତଳେ ଏକ ଛିଦ୍ର ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଏବଂ ସମ୍ମୁଖ ଏବଂ ପଛ ପାର୍ଶ୍ୱ ପ୍ରଭାବିତ ହୁଏ ନାହିଁ | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ
ପ୍ରଥମ ପଦକ୍ଷେପରେ, ଲେଜର ବିମ୍ ୱାଫରକୁ ସ୍କାନ କରିବା ସମୟରେ, ଲେଜର ବିମ୍ ୱାଫର ଭିତରେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବିନ୍ଦୁ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ କେନ୍ଦ୍ରିତ କରେ, ଯାହା ଭିତରେ ଏକ ଫାଟିବା ବିନ୍ଦୁ ସୃଷ୍ଟି କରେ। ବିମ୍ ଶକ୍ତି ଭିତରେ ଫାଟର ଏକ ଶୃଙ୍ଖଳା ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯାହା ଏପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ୱାଫରର ସମ୍ପୂର୍ଣ୍ଣ ଘନତା ଦେଇ ଉପର ଏବଂ ତଳ ପୃଷ୍ଠକୁ ବିସ୍ତାରିତ ହୋଇନାହିଁ।
▲ବ୍ଲେଡ୍ ପଦ୍ଧତି ଏବଂ ଲେଜର ଅଦୃଶ୍ୟ କଟିବା ପଦ୍ଧତି ଦ୍ୱାରା କଟା 100μm ଘନ ସିଲିକନ୍ ୱେଫରର ତୁଳନା | ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ
ଦ୍ୱିତୀୟ ପଦକ୍ଷେପରେ, ୱାଫରର ତଳ ଭାଗରେ ଥିବା ଚିପ୍ ଟେପ୍ ଭୌତିକ ଭାବରେ ବିସ୍ତାରିତ ହୁଏ, ଯାହା ୱାଫର ଭିତରେ ଥିବା ଫାଟଗୁଡ଼ିକରେ ଟାନସାଇଲ୍ ଚାପ ସୃଷ୍ଟି କରେ, ଯାହା ପ୍ରଥମ ପଦକ୍ଷେପରେ ଲେଜର ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ପ୍ରେରିତ ହୁଏ। ଏହି ଚାପ ଯୋଗୁଁ ଫାଟଗୁଡ଼ିକ ୱାଫରର ଉପର ଏବଂ ତଳ ପୃଷ୍ଠକୁ ଭୂଲମ୍ବ ଭାବରେ ବିସ୍ତାରିତ ହୁଏ, ଏବଂ ତା’ପରେ ଏହି କଟିଂ ବିନ୍ଦୁଗୁଡ଼ିକ ସହିତ ୱାଫରକୁ ଚିପ୍ସରେ ପୃଥକ କରେ। ଅଦୃଶ୍ୟ କଟିଂରେ, ଅର୍ଦ୍ଧ-କଟିଂ କିମ୍ବା ତଳ-ପାର୍ଶ୍ୱ ଅର୍ଦ୍ଧ-କଟିଂ ସାଧାରଣତଃ ୱାଫରକୁ ଚିପ୍ସ କିମ୍ବା ଚିପ୍ସରେ ପୃଥକ କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଲେଜର ଆବଲେସନ୍ ଉପରେ ଅଦୃଶ୍ୟ ଲେଜର କଟିଂର ପ୍ରମୁଖ ସୁବିଧା:
• କୌଣସି ଥଣ୍ଡାକାରୀ ଆବଶ୍ୟକ ନାହିଁ
• କୌଣସି ଅଳିଆ ସୃଷ୍ଟି ହୋଇନାହିଁ
• ଏପରି କୌଣସି ଗରମ-ପ୍ରଭାବିତ ଜୋନ୍ ନାହିଁ ଯାହା ସମ୍ବେଦନଶୀଳ ସର୍କିଟକୁ କ୍ଷତି ପହଞ୍ଚାଇପାରେ।
ପ୍ଲାଜ୍ମା କଟିଂ
ପ୍ଲାଜ୍ମା କଟିଙ୍ଗ (ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚିଂ କିମ୍ବା ଡ୍ରାଏ ଏଚିଂ ଭାବରେ ମଧ୍ୟ ଜଣାଶୁଣା) ଏକ ଉନ୍ନତ ୱେଫର କଟିଙ୍ଗ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଯାହା ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଆୟନ ଏଚିଂ (RIE) କିମ୍ବା ଗଭୀର ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଆୟନ ଏଚିଂ (DRIE) ବ୍ୟବହାର କରି ବ୍ୟକ୍ତିଗତ ଚିପ୍ସକୁ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ୱେଫରରୁ ପୃଥକ କରିଥାଏ। ଏହି ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପ୍ଲାଜ୍ମା ବ୍ୟବହାର କରି ପୂର୍ବନିର୍ଦ୍ଧାରିତ କଟିଙ୍ଗ ରେଖା ସହିତ ସାମଗ୍ରୀକୁ ରାସାୟନିକ ଭାବରେ ଅପସାରଣ କରି କଟିଙ୍ଗ ହାସଲ କରିଥାଏ।
ପ୍ଲାଜ୍ମା କଟିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ୱେଫରକୁ ଏକ ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାମ୍ବରରେ ରଖାଯାଏ, ଚାମ୍ବରରେ ଏକ ନିୟନ୍ତ୍ରିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ ମିଶ୍ରଣ ପ୍ରବେଶ କରାଯାଏ, ଏବଂ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଆୟନ ଏବଂ ରେଡିକାଲ୍ସର ଉଚ୍ଚ ସାନ୍ଦ୍ରତା ଧାରଣ କରି ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ ଏକ ବୈଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ର ପ୍ରୟୋଗ କରାଯାଏ। ଏହି ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ପ୍ରଜାତିଗୁଡ଼ିକ ୱେଫର ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ ପାରସ୍ପରିକ କ୍ରିୟା କରନ୍ତି ଏବଂ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଭୌତିକ ସ୍ପଟରିଂର ମିଶ୍ରଣ ମାଧ୍ୟମରେ ସ୍କ୍ରିବ୍ ରେଖା ସହିତ ୱେଫର ସାମଗ୍ରୀକୁ ଚୟନମୂଳକ ଭାବରେ ଅପସାରଣ କରନ୍ତି।
ପ୍ଲାଜ୍ମା କଟିଂର ମୁଖ୍ୟ ସୁବିଧା ହେଉଛି ଏହା ୱେଫର ଏବଂ ଚିପ୍ ଉପରେ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଚାପ ହ୍ରାସ କରେ ଏବଂ ଶାରୀରିକ ସମ୍ପର୍କ ଯୋଗୁଁ ସମ୍ଭାବ୍ୟ କ୍ଷତିକୁ ହ୍ରାସ କରେ। ତଥାପି, ଏହି ପ୍ରକ୍ରିୟା ଅନ୍ୟ ପଦ୍ଧତି ତୁଳନାରେ ଅଧିକ ଜଟିଳ ଏବଂ ସମୟସାପେକ୍ଷ, ବିଶେଷକରି ଯେତେବେଳେ ଘନ ୱେଫର କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ ଏଚ୍ିଙ୍ଗ୍ ପ୍ରତିରୋଧକ ସାମଗ୍ରୀ ସହିତ କାର୍ଯ୍ୟ କରାଯାଏ, ତେଣୁ ବହୁଳ ଉତ୍ପାଦନରେ ଏହାର ପ୍ରୟୋଗ ସୀମିତ।
▲ପ୍ରତିଛବି ଉତ୍ସ ନେଟୱାର୍କ
ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ଉତ୍ପାଦନରେ, ୱାଫର କଟିଂ ପଦ୍ଧତିକୁ ଅନେକ କାରଣ ଉପରେ ଆଧାର କରି ଚୟନ କରିବାକୁ ପଡିବ, ଯେପରିକି ୱାଫର ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣ, ଚିପ୍ ଆକାର ଏବଂ ଜ୍ୟାମିତି, ଆବଶ୍ୟକୀୟ ସଠିକତା ଏବଂ ସଠିକତା, ଏବଂ ସାମଗ୍ରିକ ଉତ୍ପାଦନ ମୂଲ୍ୟ ଏବଂ ଦକ୍ଷତା।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ସେପ୍ଟେମ୍ବର-୨୦-୨୦୨୪