VET Energyは、高性能CVDタンタルカーバイド（TaC）コーティンググラファイトリングの研究開発と製造に注力しており、半導体、太陽光発電、高温産業向けの中核消耗材料ソリューションの提供に尽力しています。当社独自開発の化学気相成長（CVD）技術は、精密なプロセスによりグラファイト基板表面に緻密で均一なタンタルカーバイドコーティングを形成し、製品の耐高温性（>3000℃）、耐腐食性、耐熱衝撃性を大幅に向上させ、耐用年数を3倍以上に延ばし、お客様の総合コストを削減します。
当社の技術的優位性：
1. 高温酸化耐性
1200℃の空気雰囲気下では、酸化重量増加率は0.05mg/cm²/h以下であり、これは通常の黒鉛の耐酸化寿命の3倍以上であり、高周波加熱冷却サイクル条件に適している。
2. 溶融シリコン／金属腐食に対する耐性
TaCコーティングは、液体シリコン（1600℃）、溶融アルミニウム／銅などの金属に対して極めて不活性であり、金属の浸透による従来のガイドリングの構造的破損を回避するため、特にパワー半導体や第三世代半導体の製造に適しています。
3. 超低粒子汚染
CVDプロセスは、99.5%を超えるコーティング密度とRa≤0.2μmの表面粗さを実現し、供給源からの粒子剥離のリスクを低減し、12インチウェハ製造の厳しい清浄度要件を満たします。
4. 精密なサイズ制御
CNC精密加工を採用することで、グラファイト基板の寸法公差は±0.01mm、コーティング後の全体的な変形は±5μm未満となり、高精度機器のチャンバーへの設置に適しています。
| 炭化钽涂層の物理特性 物理特性 物理的性質 TaC コーティング | |
| 密度/ 密度 | 14.3 (g/cm³) |
| 比放射率 比放射率 | 0.3 |
| 熱膨張胀系数 熱膨張係数 | 6.3 10-6/K |
| 努氏の硬さ/ 硬度（HK） | 2000香港 |
| 電気抵抗 / 抵抗 | 1×10-5 オーム・センチメートル |
| 熱稳安定性 熱安定性 | 2500℃未満 |
| 石墨尺寸变化 グラファイトのサイズ変化 | -10～-20μm |
| 層の厚さ コーティングの厚さ | ≥30μmの標準値（35μm±10μm） |
寧波VETエネルギー技術有限公司は、ハイエンドの先進材料の開発と製造に注力するハイテク企業です。グラファイト、炭化ケイ素、セラミックス、SiCコーティング、TaCコーティング、ガラス状炭素コーティング、熱分解炭素コーティングなどの表面処理を含む材料と技術を取り扱っており、これらの製品は太陽光発電、半導体、新エネルギー、冶金などの分野で幅広く使用されています。
当社の技術チームは国内トップクラスの研究機関出身者で構成されており、製品の性能と品質を保証するための複数の特許技術を開発しています。また、お客様に専門的な材料ソリューションを提供することも可能です。
