Prau Wafer Kuarsaminangka piranti pembawa utama ing manufaktur semikonduktor, produksi sel fotovoltaik, lan riset lan pangembangan bahan canggih, dirancang kanggo transfer wafer sing stabil lan posisi ing proses suhu dhuwur. Produk iki digawe saka silika leburan (SiO2) kanthi kemurnian ultra-tinggi, kanthi tahan suhu sing apik banget, stabilitas kimia, lan karakteristik kontaminasi logam ultra-rendah, cocok kanggo tungku difusi, tungku oksidasi, PECVD/LPCVD lan peralatan liyane, digunakake sacara wiyar ing lapisan wafer, implantasi ion, anil suhu dhuwur, lan proses inti liyane.
Kauntungan Inti saka prau kuarsa VET Energy:
- Bahan kemurnian ultra dhuwur
Kemurnian ≥99,99%: Kandungan pengotor (Na, K, Fe, lsp.) <5ppm, nyegah kontaminasi wafer lan njamin asil chip.
Presipitasi lan adsorpsi sing sithik: permukaane dipoles super (Ra≤0.4μm) kanggo nyuda adhesi partikel lan residu gas. - Stabilitas suhu dhuwur
Watesan suhu: Suhu kerja jangka panjang 1100 ℃, puncak jangka pendek 1300 ℃, ora ana deformasi, ora ana presipitasi kristal.
Koefisien ekspansi termal sing endhek (5.5x10-7/℃), tahan kejut termal sing apik banget, bisa adaptasi karo proses kenaikan lan penurunan suhu sing cepet (kayata annealing cepet RTP). - Desain struktural sing tepat
Presisi slot ±0.1mm: cocog karo wafer 2” nganti 12”, kesalahan keseragaman jarak <0.05mm, njamin wafer ora duwe offset.
Kapasitas beban dhuwur: Beban maksimal 50 wafer (ing ukuran wafer 12”) ing sak prau, ndhukung transfer wafer tipis sing stabil (≥100um). - Kelembapan kimia
Tahan korosi: Tahan korosi asam (kajaba HF), alkali lan pelarut organik, kompatibel karo proses pembersihan CMP.
Kekencengan gas sing apik banget: Tingkat bocor <5x10-10 Pa.m3/s, cocok kanggo lingkungan vakum lan gas protèktif. - Umur dawa lan kemampuan kanggo njaga
Umur pakai ≥ 5000 siklus (kondisi kerja normal), permukaan bisa diresiki lan digunakake bola-bali, ngurangi biaya sakabèhé.
Desain modular: ndhukung panggantos sebagian (kayata untu prau tunggal), ngurangi downtime.
Kita nawakake permukaan transparan lan buram miturut kabutuhan pelanggan:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd minangka perusahaan teknologi tinggi sing fokus ing produksi lan dodolan bahan canggih kelas atas, bahan lan teknologi kalebu grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan kaya lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, lan liya-liyane, produk kasebut akeh digunakake ing fotovoltaik, semikonduktor, energi anyar, metalurgi, lan liya-liyane.
Tim teknis kita asale saka institusi riset domestik paling dhuwur, lan wis ngembangake pirang-pirang teknologi sing dipatenake kanggo njamin kinerja lan kualitas produk, uga bisa nyedhiyakake solusi materi profesional kanggo para pelanggan.
