고급SiC 캔틸레버 패들vet-china에서 개발한 웨이퍼 가공용 캔틸레버 패들은 반도체 제조에 탁월한 솔루션을 제공합니다. 이 캔틸레버 패들은 SiC(탄화규소) 소재로 제작되어 높은 경도와 내열성을 자랑하며, 고온 및 부식성 환경에서도 우수한 성능을 유지합니다. 캔틸레버 패들의 설계는 가공 중 웨이퍼를 안정적으로 지지하여 파손 및 손상 위험을 줄여줍니다.
SiC 캔틸레버 패들반도체 제조 장비(산화로, 확산로, 어닐링로 등)에 사용되는 특수 부품으로, 주로 웨이퍼 로딩 및 언로딩, 고온 공정 중 웨이퍼 지지 및 이송에 사용됩니다.
일반적인 구조~의SiCc안티레버p썩다: 한쪽 끝이 고정되어 있고 다른 쪽 끝이 자유로운 캔틸레버 구조는 일반적으로 평평하고 노처럼 생긴 디자인을 가지고 있습니다.
VET Energy는 품질을 보장하기 위해 고순도 재결정 탄화규소 소재를 사용합니다.
| 재결정된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 재산 | 일반적인 값 |
| 작동 온도 (°C) | 1600°C (산소 존재 시), 1700°C (환원 환경) |
| SiC 함량 | > 99.96% |
| 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 부피 밀도 | 2.60-2.70 g/cm3 |
| 겉보기 다공성 | 16% 미만 |
| 압축 강도 | > 600MPa |
| 냉간 굽힘 강도 | 80-90 MPa (20°C) |
| 고온 굽힘 강도 | 90-100 MPa (1400°C) |
| 1500°C에서의 열팽창 | 4.70 10-6/°C |
| 1200°C에서의 열전도율 | 23워/m•K |
| 탄성 계수 | 240 GPa |
| 열충격 저항성 | 매우 좋음 |
VET Energy의 웨이퍼 가공용 고급 SiC 캔틸레버 패들의 장점은 다음과 같습니다.
- 고온 안정성: 1600°C 이상의 환경에서 사용 가능;
-낮은 열팽창 계수: 치수 안정성을 유지하여 웨이퍼 변형 위험을 줄입니다.
-높은 순도: 금속 오염 위험 감소;
-화학적 불활성: 내식성이 뛰어나 다양한 가스 환경에 적합합니다.
-높은 강도와 경도: 내마모성, 긴 수명;
-우수한 열전도율: 웨이퍼를 균일하게 가열하는 데 도움이 됩니다.
