고급SiC 캔틸레버 패들vet-china에서 개발한 웨이퍼 가공용 패들은 반도체 제조에 탁월한 솔루션을 제공합니다. 이 캔틸레버 패들은 SiC(탄화규소) 소재로 제작되었으며, 높은 경도와 내열성을 갖춰 고온 및 부식성 환경에서도 탁월한 성능을 유지합니다. 캔틸레버 패들의 설계는 공정 중 웨이퍼를 안정적으로 지지하여 파편화 및 손상 위험을 줄여줍니다.
SiC 캔틸레버 패들산화로, 확산로, 어닐링로 등 반도체 제조 장비에 사용되는 특수 부품으로, 주로 웨이퍼 로딩 및 언로딩에 사용되며, 고온 공정 중 웨이퍼를 지지하고 운반합니다.
공통 구조~의SiCc앤티레버p썩다: 한쪽 끝은 고정되어 있고 다른 쪽 끝은 자유로운 지지대 구조는 일반적으로 평평하고 노 모양의 디자인을 갖고 있습니다.
VET 에너지는 고순도 재결정 실리콘 카바이드 소재를 사용하여 품질을 보장합니다.
| 재결정된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 재산 | 일반적인 값 |
| 작동 온도(°C) | 1600°C(산소 존재), 1700°C(환원 환경) |
| SiC 함량 | > 99.96% |
| 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 체적 밀도 | 2.60~2.70g/cm3 |
| 겉보기 다공성 | < 16% |
| 압축 강도 | > 600엠파 |
| 냉간 굽힘 강도 | 80~90MPa(20°C) |
| 열간 굽힘 강도 | 90-100MPa(1400°C) |
| 1500°C에서의 열팽창 | 4.70 10-6/°C |
| 열전도도 @1200°C | 23와트/m•K |
| 탄성계수 | 240 GPa |
| 열충격 저항성 | 매우 좋음 |
웨이퍼 가공을 위한 VET Energy의 고급 SiC 캔틸레버 패들의 장점은 다음과 같습니다.
- 고온 안정성: 1600°C 이상의 환경에서 사용 가능
- 낮은 열팽창 계수: 치수 안정성을 유지하고 웨이퍼 휘어짐 위험을 줄입니다.
- 높은 순도: 금속 오염 위험 낮음
-화학적 불활성: 부식 방지, 다양한 가스 환경에 적합함;
- 높은 강도와 경도: 내마모성, 긴 사용 수명;
- 우수한 열전도도: 웨이퍼 가열을 균일하게 하는 데 도움이 됩니다.
