Augstas tīrības kvarca laiva vafeļu apstrādei

Kvarca vafeļu laivair galvenais nesējinstruments pusvadītāju ražošanā, fotoelektrisko elementu ražošanā un progresīvā materiālu pētniecībā un attīstībā, kas paredzēts stabilai vafeļu pārnešanai un pozicionēšanai augstas temperatūras procesos. Šis produkts ir izgatavots no īpaši augstas tīrības pakāpes kausēta silīcija dioksīda (SiO2) ar izcilu temperatūras izturību, ķīmisko stabilitāti un īpaši zemu metālu piesārņojuma īpašībām, piemērots difūzijas krāsnīm, oksidācijas krāsnīm, PECVD/LPCVD un citām iekārtām, plaši izmantots vafeļu pārklāšanā, jonu implantācijā, augstas temperatūras atkvēlināšanā un citos serdes procesos.

VET Energy kvarca laivas galvenās priekšrocības:

• Īpaši augstas tīrības pakāpes materiāls
  Tīrība ≥99,99%: piemaisījumu saturs (Na, K, Fe u. c.) <5 ppm, novēršot plākšņu piesārņojumu un garantējot mikroshēmas ražu.
  Zems nokrišņu daudzums un adsorbcija: virsma ir īpaši pulēta (Ra≤0,4 μm), lai samazinātu daļiņu adhēziju un gāzes atlikumus.
• Augsta temperatūras stabilitāte
  Temperatūras ierobežojums: Ilgtermiņa darba temperatūra 1100 ℃, īstermiņa maksimums 1300 ℃, bez deformācijas, bez kristālu nokrišņiem.
  Zems termiskās izplešanās koeficients (5,5x10-7/℃), lieliska termiskā trieciena izturība, pielāgojams straujam temperatūras paaugstināšanās un pazemināšanās procesam (piemēram, RTP ātrai atkvēlināšanai).
• Precīza konstrukcijas projektēšana
  Spraugas precizitāte ±0,1 mm: atbilst 2” līdz 12” plāksnēm, atstarpes vienmērīguma kļūda <0,05 mm, nodrošinot, ka plāksnēm nav nobīdes.
  Augsta kravnesība: Maksimāla 50 vafeļu slodze (12 collu vafeļu izteiksmē) vienā laivā, kas nodrošina plānu vafeļu (≥100 μm) stabilu pārvietošanu.
• Ķīmiskā inertitāte
  Izturība pret koroziju: Izturīga pret skābju (izņemot HF), sārmu un organisko šķīdinātāju koroziju, saderīga ar CMP tīrīšanas procesu.
  Lieliska gāzes necaurlaidība: noplūdes ātrums <5x10-10 Pa.m3/s, piemērots vakuuma un aizsarggāzes vidēm.
• Ilgs kalpošanas laiks un apkopes vieglums
  Kalpošanas laiks ≥ 5000 cikli (normālos darba apstākļos), virsmu var atkārtoti tīrīt un izmantot, samazinot kopējās izmaksas.
  Modulāra konstrukcija: atbalsta daļēju nomaiņu (piemēram, viena laivas zoba), samazinot dīkstāves laiku.

Piedāvājam gan caurspīdīgas, gan matētas virsmas atbilstoši klienta prasībām:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ir augsto tehnoloģiju uzņēmums, kas koncentrējas uz augstas klases progresīvu materiālu, tostarp grafīta, silīcija karbīda, keramikas, virsmas apstrādes, piemēram, SiC pārklājuma, TaC pārklājuma, stiklveida oglekļa pārklājuma, pirolītiskās oglekļa pārklājuma utt., ražošanu un pārdošanu. Šie produkti tiek plaši izmantoti fotoelektriskajā, pusvadītāju, jaunās enerģijas, metalurģijas u.c. jomā.

Mūsu tehniskā komanda nāk no labākajām vietējām pētniecības iestādēm un ir izstrādājusi vairākas patentētas tehnoloģijas, lai nodrošinātu produkta veiktspēju un kvalitāti, kā arī var nodrošināt klientus ar profesionāliem materiālu risinājumiem.