CVD pārklājuma fokusa gredzens plazmas kodināšanai ir kritiski svarīgs palīgmateriāls, ko izmanto modernās pusvadītāju kodināšanas sistēmās. Šis produkts, kas izstrādāts ar substrāta un CVD pārklājuma kompozītmateriālu struktūru, ir paredzēts plazmas sadalījuma optimizēšanai, kodināšanas vienmērīguma uzlabošanai un kameras komponentu kalpošanas laika pagarināšanai.
Uzņēmumā Vet Energy mēs izmantojam padziļinātas zināšanas ķīmiskās tvaiku uzklāšanas (CVD) tehnoloģijā un progresīvos keramikas materiālos, lai nodrošinātu fokusa gredzenus, kas atbilst stingrajām mūsdienu pusvadītāju mezglu prasībām, tostarp FinFET un 3D NAND procesiem.
Fokusa gredzena loma plazmas kodināšanā
Plazmas kodināšanas sistēmās (piemēram, ICP un CCP reaktoros) fokusa gredzens ir novietots ap vafeļu malu un tam ir būtiska loma procesa stabilitātes un ražas nodrošināšanā.
1. Plazmas vienmērīguma kontrole
Fokusa gredzens darbojas kā elektriskā un fiziskā robeža, kas palīdz regulēt plazmas blīvuma sadalījumu pa vafeļa virsmu.
Galvenās priekšrocības:
● Uzlabota kodināšanas ātruma vienmērība
● Samazināta centra līdz malai svārstība
● Uzlabota procesa atkārtojamība
2. Malu efekta kompensācija
Bez fokusa gredzena plazmas apvalka deformācija vafeles malā var izraisīt nevienmērīgu kodināšanu.
Fokusa gredzens efektīvi darbojas kā “virtuāls vafeļu pagarinājums”, samazinot ar malām saistītas anomālijas, piemēram:
● Pārāk liela kodināšana uz plāksnīšu malām
● Kritiskās dimensijas (CD) novirze
● Profila kropļojumi
3. Jonu trajektorija un enerģijas kontrole
Ietekmējot lokālo elektrisko lauku, fokusa gredzens palīdz stabilizēt jonu krišanas leņķus un enerģijas sadalījumu, kas ir ļoti svarīgi:
● Augstas malu attiecības (HAR) kodināšana
● Anizotropiskā profila kontrole
● Samazināti sānu sienu bojājumi
4. Kameras aizsardzība un piesārņojuma samazināšana
Kā upurēšanas komponents fokusa gredzens absorbē tiešu plazmas iedarbību un nogulsnēšanās blakusproduktus.
Iegūtās priekšrocības:
● Samazināta kameras sieniņu erozija
● Mazāks daļiņu piesārņojums
● Pagarināti apkopes cikli (PM intervāli)
