Плазмын сийлбэрт зориулсан CVD бүрхүүлийн фокусын цагираг нь дэвшилтэт хагас дамжуулагч сийлбэрийн системд ашиглагддаг чухал хэрэглээний эд анги юм. Субстрат + CVD бүрхүүлийн нийлмэл бүтэцтэй энэхүү бүтээгдэхүүн нь плазмын тархалтыг оновчтой болгох, сийлбэрийн жигд байдлыг сайжруулах, камерын эд ангийн ашиглалтын хугацааг уртасгах зорилготой юм.
Vet Energy компанид бид FinFET болон 3D NAND процессууд зэрэг орчин үеийн хагас дамжуулагч зангилааны хатуу шаардлагыг хангасан фокусын цагираг нийлүүлэхийн тулд химийн ууршуулах (CVD) технологи болон дэвшилтэт керамик материалын чиглэлээр гүнзгий туршлага хуримтлуулсан.
Плазмын сийлбэрт фокусын цагирагийн үүрэг
Плазмын сийлбэрийн системд (ICP болон CCP реактор гэх мэт) фокусын цагираг нь вафлийн ирмэгийн эргэн тойронд байрладаг бөгөөд процессын тогтвортой байдал болон гарцын гүйцэтгэлд чухал үүрэг гүйцэтгэдэг.
1. Плазмын жигд байдлын хяналт
Фокусын цагираг нь вафлийн гадаргуу дээрх плазмын нягтралын тархалтыг зохицуулахад тусалдаг цахилгаан ба физик хил хязгаарын үүрэг гүйцэтгэдэг.
Гол давуу талууд:
● Зүсэлтийн хурдны жигд байдлыг сайжруулсан
● Төвөөс ирмэг хүртэлх хэлбэлзлийг бууруулсан
● Үйл явцын давтагдах чадварыг сайжруулсан
2. Ирмэгийн нөлөөллийн нөхөн олговор
Фокусын цагираггүй бол вафлийн ирмэг дээрх плазмын бүрхүүлийн гажуудал нь жигд бус сийлбэрт хүргэж болзошгүй.
Фокусын цагираг нь "виртуал вафлийн өргөтгөл" болж үр дүнтэй ажилладаг бөгөөд дараах ирмэгтэй холбоотой гажигийг багасгадаг:
● Ваферын ирмэг дээр хэт их сийлбэр хийх
● Чухал хэмжээсийн (CD) хазайлт
● Профайлын гажуудал
3. Ионы траектори ба энергийн хяналт
Орон нутгийн цахилгаан орон дээр нөлөөлснөөр фокусын цагираг нь ионы уналтын өнцөг болон энергийн тархалтыг тогтворжуулахад тусалдаг бөгөөд энэ нь дараахь зүйлд чухал үүрэгтэй.
● Өндөр харьцаатай (HAR) сийлбэр
● Анизотроп профайлын хяналт
● Хажуугийн хананы эвдрэлийг бууруулсан
4. Танхимын хамгаалалт ба бохирдлыг бууруулах
Зориулалтын бүрэлдэхүүн хэсэг болохын хувьд фокусын цагираг нь плазмын шууд нөлөөлөл болон тунадасны дайвар бүтээгдэхүүнийг шингээдэг.
Үр дүнд хүрэх давуу талууд:
● Танхимын ханын элэгдлийг бууруулсан
● Бөөмийн бохирдол бага
● Уртасгасан засвар үйлчилгээний мөчлөг (PM интервал)
