Anel de grafite revestido com TaC

A VET Energy concentra-se na pesquisa e desenvolvimento e na produção de anéis de grafite revestidos com carbeto de tântalo (TaC) de alto desempenho por deposição química de vapor (CVD) e está comprometida em fornecer soluções essenciais em materiais consumíveis para as indústrias de semicondutores, fotovoltaica e de alta temperatura. Nossa tecnologia de deposição química de vapor (CVD), desenvolvida internamente, forma um revestimento denso e uniforme de carbeto de tântalo na superfície do substrato de grafite por meio de processos de precisão, melhorando significativamente a resistência a altas temperaturas (>3000 °C), a resistência à corrosão e a resistência ao choque térmico do produto, prolongando a vida útil em mais de 3 vezes e reduzindo os custos totais para os clientes.

Nossas vantagens técnicas:
1. Resistência à oxidação em altas temperaturas
Em uma atmosfera de ar a 1200℃, a taxa de ganho de peso por oxidação é ≤0,05 mg/cm²/h, o que representa mais de 3 vezes a vida útil de resistência à oxidação do grafite comum, sendo adequado para condições de ciclos de aquecimento e resfriamento de alta frequência.
2. Resistência à corrosão por silício fundido/metal
O revestimento de TaC é extremamente inerte a metais como silício líquido (1600℃), alumínio/cobre fundido, etc., evitando falhas estruturais em anéis guia tradicionais devido à penetração de metal, sendo especialmente adequado para semicondutores de potência e fabricação de semicondutores de terceira geração.
3. Contaminação por partículas ultrabaixas
O processo CVD atinge uma densidade de revestimento superior a 99,5% e uma rugosidade superficial de Ra ≤ 0,2 μm, reduzindo o risco de desprendimento de partículas da fonte e atendendo aos rigorosos requisitos de limpeza da fabricação de wafers de 12 polegadas.
4. Controle preciso do tamanho
Adotando usinagem de precisão CNC, a tolerância dimensional do substrato de grafite é de ±0,01 mm e a deformação total após o revestimento é <±5 μm, o que é adequado para instalação em câmaras de equipamentos de alta precisão.