Anel de grafite revestido com TaC

A VET Energy concentra-se em P&D e na produção de anéis de grafite revestidos com carboneto de tântalo (TaC) CVD de alto desempenho e está comprometida em fornecer soluções essenciais de materiais consumíveis para as indústrias de semicondutores, fotovoltaica e de alta temperatura. Nossa tecnologia de deposição química de vapor (CVD), desenvolvida de forma independente, forma um revestimento denso e uniforme de carboneto de tântalo na superfície do substrato de grafite por meio de processos de precisão, melhorando significativamente a resistência a altas temperaturas (> 3000 °C), a resistência à corrosão e a resistência ao choque térmico do produto, prolongando a vida útil em mais de 3 vezes e reduzindo os custos totais para os clientes.

Nossas vantagens técnicas:
1. Resistência à oxidação em alta temperatura
Em uma atmosfera de ar de 1200°C, a taxa de ganho de peso de oxidação é ≤0,05mg/cm²/h, o que é mais de 3 vezes a vida útil de resistência à oxidação do grafite comum e é adequado para condições de ciclo de aquecimento-resfriamento de alta frequência.
2. Resistência à corrosão do silício/metal fundido
O revestimento TaC é extremamente inerte a metais como silício líquido (1600°C), alumínio/cobre fundido, etc., evitando falhas estruturais de anéis-guia tradicionais devido à penetração de metal, especialmente adequado para semicondutores de potência e fabricação de semicondutores de terceira geração.
3. Contaminação de partículas ultrabaixa
O processo CVD atinge uma densidade de revestimento de >99,5% e uma rugosidade de superfície de Ra≤0,2μm, reduzindo o risco de desprendimento de partículas da fonte e atendendo aos rigorosos requisitos de limpeza da fabricação de wafers de 12 polegadas.
4. Controle preciso do tamanho
Adotando usinagem de precisão CNC, a tolerância de tamanho do substrato de grafite é de ±0,01 mm, e a deformação geral após o revestimento é <±5μm, o que é adequado para instalação em câmaras de equipamentos de alta precisão.