Visoko čist kremenčev čoln za predelavo rezin

Kremenov čoln iz rezinje ključno nosilno orodje v proizvodnji polprevodnikov, proizvodnji fotovoltaičnih celic ter naprednih raziskavah in razvoju materialov, zasnovano za stabilen prenos in pozicioniranje rezin v visokotemperaturnih procesih. Ta izdelek je izdelan iz ultra čistega taljenega silicijevega dioksida (SiO2), z odlično temperaturno odpornostjo, kemično stabilnostjo in ultra nizkimi lastnostmi onesnaženja s kovinami, primeren za difuzijske peči, oksidacijske peči, PECVD/LPCVD in drugo opremo, ki se pogosto uporablja pri premazovanju rezin, ionski implantaciji, visokotemperaturnem žarjenju in drugih procesih jeder.

Glavne prednosti kvarčnega čolna VET Energy:

• Material ultra visoke čistosti
  Čistost ≥99,99 %: Vsebnost nečistoč (Na, K, Fe itd.) <5 ppm, kar preprečuje kontaminacijo rezin in zagotavlja izkoristek čipa.
  Nizka količina padavin in adsorpcije: površina je super polirana (Ra ≤ 0,4 μm), da se zmanjša oprijem delcev in ostanki plina.
• Stabilnost pri visokih temperaturah
  Temperaturna omejitev: Dolgoročna delovna temperatura 1100 ℃, kratkotrajni vrh 1300 ℃, brez deformacij, brez kristalnih oborin.
  Nizek koeficient toplotnega raztezanja (5,5 x 10-7/℃), odlična odpornost na toplotne šoke, prilagodljivost hitremu dvigu in padcu temperature (npr. hitro žarjenje RTP).
• Natančna strukturna zasnova
  Natančnost reže ±0,1 mm: ujemanje rezin od 2” do 12”, napaka enakomernosti razmika <0,05 mm, kar zagotavlja, da rezine nimajo odmika.
  Visoka nosilnost: Največja nosilnost 50 rezin (v smislu 12-palčnih rezin) v enem samem čolnu, kar omogoča stabilen prenos tankih rezin (≥100 μm).
• Kemijska inertnost
  Odpornost proti koroziji: Odporno na kisline (razen HF), alkalije in korozijo z organskimi topili, združljivo s postopkom čiščenja CMP.
  Odlična plinotesnost: stopnja puščanja <5x10-10 Pa.m3/s, primerno za vakuumska in zaščitna plinska okolja.
• Dolga življenjska doba in vzdrževanje
  Pričakovana življenjska doba ≥ 5000 ciklov (normalni delovni pogoji), površino je mogoče večkrat očistiti in uporabiti, kar zmanjša skupne stroške.
  Modularna zasnova: omogoča delno zamenjavo (npr. en sam zob čolna), kar skrajša čas izpada.

Ponujamo tako prozorne kot matirane površine glede na zahteve strank:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko podjetje, ki se osredotoča na proizvodnjo in prodajo vrhunskih naprednih materialov, vključno z grafitom, silicijevim karbidom, keramiko, površinsko obdelavo, kot so SiC prevleka, TaC prevleka, steklena ogljikova prevleka, pirolizna ogljikova prevleka itd. Ti izdelki se pogosto uporabljajo v fotovoltaiki, polprevodnikih, novi energiji, metalurgiji itd.

Naša tehnična ekipa prihaja iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov in je razvila več patentiranih tehnologij za zagotavljanje učinkovitosti in kakovosti izdelkov, strankam pa lahko ponudi tudi profesionalne materialne rešitve.