Fokusni obroč s CVD prevleko za plazemsko jedkanje je ključna potrošna komponenta, ki se uporablja v naprednih sistemih za jedkanje polprevodnikov. Ta izdelek, zasnovan s kompozitno strukturo substrata in CVD prevleke, je zasnovan za optimizacijo porazdelitve plazme, izboljšanje enakomernosti jedkanja in podaljšanje življenjske dobe komponent komore.
V podjetju Vet Energy izkoriščamo poglobljeno strokovno znanje na področju tehnologije kemičnega nanašanja iz pare (CVD) in naprednih keramičnih materialov za izdelavo fokusnih obročev, ki izpolnjujejo stroge zahteve sodobnih polprevodniških vozlišč, vključno s postopki FinFET in 3D NAND.
Vloga fokusnega obroča pri plazemskem jedkanju
V sistemih za plazemsko jedkanje (kot so reaktorji ICP in CCP) je fokusni obroč nameščen okoli roba rezine in igra ključno vlogo pri stabilnosti procesa in izkoristku.
1. Nadzor enakomernosti plazme
Fokusni obroč deluje kot električna in fizična meja, ki pomaga uravnavati porazdelitev gostote plazme po površini rezine.
Ključne prednosti:
● Izboljšana enakomernost hitrosti jedkanja
● Zmanjšana odstopanja od središča do roba
● Izboljšana ponovljivost procesa
2. Kompenzacija robnega učinka
Brez fokusnega obroča lahko popačenje plazemske ovojnice na robu rezine povzroči neenakomerno jedkanje.
Fokusni obroč učinkovito deluje kot »virtualni podaljšek rezine« in zmanjšuje anomalije, povezane z robovi, kot so:
● Prekomerno jedkanje na robovih rezin
● Odstopanje kritične dimenzije (CD)
● Popačenje profila
3. Ionska trajektorija in nadzor energije
Z vplivanjem na lokalno električno polje fokusni obroč pomaga stabilizirati kote vpada ionov in porazdelitev energije, kar je ključnega pomena za:
● Jedkanje z visokim razmerjem stranic (HAR)
● Anizotropni nadzor profila
● Manjša poškodba bočnic
4. Zaščita komore in zmanjšanje kontaminacije
Kot žrtvena komponenta fokusni obroč absorbira neposredno izpostavljenost plazmi in stranske produkte odlaganja.
Posledične prednosti:
● Zmanjšana erozija sten komore
● Manjša kontaminacija z delci
● Podaljšani vzdrževalni cikli (intervali preventivnega vzdrževanja)
