Grafitni substrat s prevleko iz silicijevega karbida za polprevodnike, MOCVD susceptor

Kratek opis:

VET Energy SiC prevlečeni susceptor je visokozmogljiv izdelek, zasnovan za zagotavljanje doslednega in zanesljivega delovanja v daljšem časovnem obdobju. Ima izjemno dobro toplotno odpornost in toplotno enakomernost, visoko čistost in odpornost proti eroziji, zaradi česar je idealna rešitev za obdelavo rezin.

Kraj izvora:Zhejiang, Kitajska (celinska)

Kemična sestava:Grafit prevlečen s SiC

Upogibna trdnost:470 MPa

Toplotna prevodnost:300 W/mK

Kakovost:Popolno

Funkcija:CVD-SiC

Uporaba:Polprevodnik/fotovoltaika

Gostota:3,21 g/cm³

Toplotno raztezanje:4 10-6/K

Pepel: <5 ppm

Vzorec:Na voljo

Koda HS:6903100000

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

VET Energy SiC prevlečen susceptorje visokozmogljiva rešitev, skrbno izdelana za zagotavljanje zanesljivega in doslednega delovanja skozi daljšo življenjsko dobo, ki izpolnjuje stroge zahteve proizvodnje polprevodnikov. Z izjemno toplotno odpornostjo, vrhunsko toplotno enakomernostjo in visoko čistostjo je ta izdelek idealen za nosilce rezin MOCVD in druge aplikacije obdelave rezin, ki zahtevajo stabilnost in natančnost. Zaradi robustne odpornosti proti eroziji je vrhunska izbira za okolja, kjer sta vzdržljivost in kemična odpornost bistvenega pomena.

NašeGrafitni susceptor s prevleko SiCpredstavlja ključno komponento v procesu izdelave polprevodnikov, saj izkorišča ekskluzivno patentirano tehnologijo podjetja VET Energy za doseganje izjemno visoke čistosti, vrhunske enakomernosti prevleke in izjemne toplotne stabilnosti. Prevleka izboljša grafitno podlago z visoko kemično odpornostjo in znatno podaljšano življenjsko dobo. Predanost podjetja VET Energy kakovosti je privedla do susceptorja s prevleko SiC, ki izpolnjuje razvijajoče se potrebe trga nosilcev grafitnih rezin in postavlja visok standard za grafitne susceptorje s prevleko SiC, ki se uporabljajo vMOCVD procesi.

Ključne značilnosti susceptorjev s prevleko SiC:

1. Odpornost proti oksidaciji pri visokih temperaturah:Odpornost na temperature do 1700 ℃ je primerna za ekstremne pogoje obdelave.

2. Visoka čistost in toplotna enakomernost:Zagotavlja dosledne rezultate, kar je ključnega pomena zaMOCVD susceptorjiin druge precizne aplikacije.

3. Odlična odpornost proti koroziji:Odporen na kisline, alkalije, soli in različne organske reagente.

4. Izboljšana površinska trdota:Kompaktna površina z drobnimi delci, ki zagotavljajo večjo vzdržljivost in dolgo življenjsko dobo.

5. Podaljšana življenjska doba:Zasnovani za trajno delovanje, ki v zahtevnih procesnih okoljih prekaša standardne susceptorje s prevleko iz silicijevega karbida.

Kot vodilni proizvajalec se VET Energy specializira za prilagojene grafite inizdelki iz silicijevega karbidaz različnimi možnostmi premaza, vključno zSiC prevleka, TaC premaz, stekleno-ogljikov premazin pirolitično ogljikovo prevleko. Ponosno služimo polprevodniški in fotovoltaični industriji ter dobavljamo grafitne susceptorje s prevleko iz silicijevega karbida, ki izpolnjujejo specifične operativne zahteve.

Naša tehnična ekipa z izkušnjami iz vrhunskih domačih raziskovalnih ustanov je predana razvoju materialnih rešitev za razvijajoče se potrebeGrafitni susceptor s prevleko SiCtrg. Z našim patentiranim postopkom je VET Energy razvil edinstveno tehnologijo, ki znatno izboljša trdnost vezi med silicijevim karbidnim premazom in podlago, s čimer zmanjša tveganje odstopanja in poveča dolgoročno zanesljivost.

Uporaba in prednosti pri obdelavi polprevodnikov

TheSiC prevleka za MOCVDomogočagrafitni susceptorkomponente za ohranjanje integritete v visokotemperaturnih in korozivnih okoljih, kar je ključnega pomena za proizvodnjo preciznih polprevodnikov. Te grafitne komponente s prevleko iz SiC so še posebej cenjene v procesih, ki zahtevajo susceptorje s prevleko iz silicijevega karbida zanosilci grafitnih rezin, ki zahtevajo visoko toplotno stabilnost, čistost in odpornost proti kemični eroziji.

Z našimi naprednimi tehnikami nanašanja silicijevega karbida VET Energy še naprej podpira trg nosilcev grafitnih rezin z zagotavljanjem prilagojenih, visokozmogljivihGrafitni susceptorji s prevleko SiCki obravnavajo izzive, specifične za industrijo, od postopkov MOCVD do visoko čistih aplikacij na področju polprevodnikov.