Yarimo'tkazgichlar sanoatining grafit materiallariga bo'lgan talablari ayniqsa yuqori, grafitning mayda zarrachalar hajmi yuqori aniqlik, yuqori haroratga chidamlilik, yuqori quvvat, kichik yo'qotish va boshqa afzalliklarga ega, masalan: sinterlangan grafit mahsulotlari qoliplari.Yarimo'tkazgichlar sanoatida ishlatiladigan grafit uskunalari (shu jumladan, isitgichlar va ularning sinterlangan qoliplari) takroriy isitish va sovutish jarayonlariga bardosh berishi kerakligi sababli, grafit uskunalarining xizmat muddatini uzaytirish uchun odatda ishlatiladigan grafit materiallari barqaror ishlashga va issiqlikka chidamli ta'sir funktsiyasiga ega bo'lishi talab qilinadi.
01 Yarimo'tkazgich kristallarini o'stirish uchun grafit aksessuarlari
Yarimo'tkazgich kristallarini o'stirish uchun ishlatiladigan barcha jarayonlar yuqori harorat va korroziyali muhitda ishlaydi. Kristall o'stirish pechining issiq zonasi odatda isitgich, tigel, izolyatsiya silindri, yo'naltiruvchi silindr, elektrod, tigel ushlagichi, elektrod gaykasi va boshqalar kabi issiqlikka chidamli va korroziyaga chidamli yuqori tozalikdagi grafit komponentlari bilan jihozlangan.
Biz kristall ishlab chiqarish moslamalarining barcha grafit qismlarini ishlab chiqarishimiz mumkin, ular alohida yoki to'plamlarda yetkazib berilishi mumkin, yoki mijozlar talablariga muvofiq turli o'lchamdagi moslashtirilgan grafit qismlari. Mahsulotlar hajmi joyida o'lchanishi mumkin va tayyor mahsulotlarning kul miqdori kamroq bo'lishi mumkin.5ppm dan ortiq.
02 Yarimo'tkazgich epitaksiyasi uchun grafit aksessuarlari
Epitaksial jarayon deganda, substrat bilan bir xil panjara joylashuviga ega bo'lgan monokristalli material qatlamining monokristalli substratda o'sishi tushuniladi. Epitaksial jarayonda plastinka grafit diskka yuklanadi. Grafit diskning ishlashi va sifati plastinkaning epitaksial qatlami sifatida muhim rol o'ynaydi. Epitaksial ishlab chiqarish sohasida ko'p miqdorda ultra yuqori tozalikdagi grafit va SIC qoplamali yuqori tozalikdagi grafit asosi talab qilinadi.
Kompaniyamizning yarimo'tkazgichli epitaksiya uchun grafit bazasi keng ko'lamli qo'llanilishga ega, sanoatda keng qo'llaniladigan uskunalarning aksariyatiga mos kelishi mumkin va yuqori tozalik, bir xil qoplama, a'lo xizmat muddati va yuqori kimyoviy qarshilik va issiqlik barqarorligiga ega.
03 Ion implantatsiyasi uchun grafit aksessuarlari
Ion implantatsiyasi bor, fosfor va mishyakning plazma nurini ma'lum bir energiyaga tezlashtirish va keyin uni plastinka materialining sirt qatlamiga yuborish jarayonini anglatadi, bu sirt qatlamining material xususiyatlarini o'zgartirish uchun amalga oshiriladi. Ion implantatsiyasi moslamasining tarkibiy qismlari yuqori tozalikdagi materiallardan tayyorlanishi kerak, ular ajoyib issiqlikka chidamlilik, issiqlik o'tkazuvchanligi, ion nuri keltirib chiqaradigan korroziya kamroq va aralashmalar miqdori past bo'lishi kerak. Yuqori tozalikdagi grafit qo'llanilish talablariga javob beradi va ion implantatsiyasi uskunalarining uchish naychasi, turli yoriqlar, elektrodlar, elektrod qopqoqlari, o'tkazgichlar, nur terminatorlari va boshqalar uchun ishlatilishi mumkin.
Biz nafaqat turli xil ion implantatsiya mashinalari uchun grafit himoya qoplamasini taqdim eta olamiz, balki turli xil xususiyatlarga ega yuqori korroziyaga chidamli yuqori tozalikdagi grafit elektrodlari va ion manbalarini ham taqdim eta olamiz. Qo'llaniladigan modellar: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM va boshqa uskunalar. Bundan tashqari, biz mos keladigan keramika, volfram, molibden, alyuminiy mahsulotlari va qoplangan qismlarni ham taqdim eta olamiz.
04 Grafit izolyatsiya materiallari va boshqalar
Yarimo'tkazgichlar ishlab chiqarish uskunalarida ishlatiladigan issiqlik izolyatsiya materiallari grafit qattiq kigiz, yumshoq kigiz, grafit folga, grafit qog'oz va grafit arqonni o'z ichiga oladi.
Bizning barcha xomashyolarimiz import qilingan grafit bo'lib, uni mijozning talablariga muvofiq kesish yoki butunlay sotish mumkin.
Uglerod-uglerod patnisi quyosh monokristalli kremniy va polikristalli kremniy xujayralarini ishlab chiqarish jarayonida plyonka qoplamasi uchun tashuvchi sifatida ishlatiladi. Ish printsipi: kremniy chipini CFC patnisiga joylashtiring va plyonka qoplamasini qayta ishlash uchun uni pech naychasiga yuboring.
