Duursame silikonkarbiedwafelhanteringspeddel

Kort beskrywing:

vet-china bied uitstekende duursame silikonkarbied-waferhanteringspeddel, wat hoë werkverrigting en innoverende ontwerp kombineer om doeltreffende en veilige waferhantering te verseker. Met sy duursaamheid en presisie is vet-china se silikon-koolstofwaferhanteringspeddel 'n onontbeerlike hulpmiddel in u halfgeleiervervaardigingsproses, wat produksiedoeltreffendheid verbeter en die risiko van puin verminder.


Produkbesonderhede

Produk-etikette

vet-china verseker dat elke duursameSilikonkarbied Wafer Hanteringspeddelhet uitstekende werkverrigting en duursaamheid. Hierdie silikonkarbied-waferhanteringspeddel gebruik gevorderde vervaardigingsprosesse om te verseker dat die strukturele stabiliteit en funksionaliteit daarvan in hoëtemperatuur- en chemiese korrosie-omgewings behoue ​​bly. Hierdie innoverende ontwerp bied uitstekende ondersteuning vir die hantering van halfgeleierwafers, veral vir outomatiese bedrywighede met hoë presisie.

SiC-vrydraende peddelis 'n gespesialiseerde komponent wat in halfgeleiervervaardigingstoerusting soos oksidasie-oonde, diffusie-oonde en gloei-oonde gebruik word. Die hoofgebruik is vir die laai en aflaai van wafers, en ondersteun en vervoer wafers tydens hoëtemperatuurprosesse.

Algemene strukturevanSiCcanti-lewerpverslawing: 'n Vrydraende struktuur, vas aan die een kant en vry aan die ander kant, het tipies 'n plat en roeispaanagtige ontwerp.

WerkpbeginselvanSiCcanti-lewerpverslawing:

Die vrydraende peddel kan op en af ​​of heen en weer binne die oondkamer beweeg, dit kan gebruik word om wafers van laaiareas na verwerkingsareas, of uit verwerkingsareas te skuif, om wafers te ondersteun en te stabiliseer tydens hoëtemperatuurverwerking.

Fisiese eienskappe van herkristalliseerde silikonkarbied

Eiendom

Tipiese Waarde

Werktemperatuur (°C)

1600°C (met suurstof), 1700°C (reduserende omgewing)

SiC-inhoud

> 99.96%

Gratis Si-inhoud

< 0.1%

Grootmaatdigtheid

2.60-2.70 g/cm3

Skynbare porositeit

< 16%

Kompressiesterkte

> 600 MPa

Koue buigsterkte

80-90 MPa (20°C)

Warm buigsterkte

90-100 MPa (1400°C)

Termiese uitsetting @1500°C

4.70 10-6/°C

Termiese geleidingsvermoë @1200°C

23 W/m•K

Elastiese modulus

240 GPa

Termiese skokweerstand

Uiters goed

Vrydraende Paddle9
Vrydraende Paddle8
生产设备1
公司客户1

  • Vorige:
  • Volgende:

  • WhatsApp Aanlyn Klets!