vet-china ຮັບປະກັນວ່າທຸກໆທົນທານໄມ້ຄ້ອນຈັບແຜ່ນຊິລິກອນຄາໄບດ໌ມີປະສິດທິພາບ ແລະ ຄວາມທົນທານທີ່ດີເລີດ. ໄມ້ຄ້ອນຈັບແຜ່ນຊິລິໂຄນຄາໄບນີ້ໃຊ້ຂະບວນການຜະລິດທີ່ກ້າວໜ້າເພື່ອຮັບປະກັນວ່າໂຄງສ້າງ ແລະ ໜ້າທີ່ຂອງມັນຍັງຄົງຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການກັດກ່ອນທາງເຄມີ. ການອອກແບບທີ່ມີນະວັດຕະກໍານີ້ໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນທີ່ດີເລີດສຳລັບການຈັດການແຜ່ນຊີມິຄອນດັກເຕີ, ໂດຍສະເພາະສຳລັບການດຳເນີນງານອັດຕະໂນມັດທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ.
ໄມ້ພາຍ SiC Cantileverເປັນອົງປະກອບພິເສດທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ ເຊັ່ນ: ເຕົາຜຸພັງ, ເຕົາແຜ່ກະຈາຍ, ແລະ ເຕົາອົບລະລາຍ, ການນຳໃຊ້ຫຼັກແມ່ນສຳລັບການໂຫຼດ ແລະ ຂົນແຜ່ນເວເຟີ, ຮອງຮັບ ແລະ ຂົນສົ່ງແຜ່ນເວເຟີໃນລະຫວ່າງຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
ໂຄງສ້າງທົ່ວໄປຂອງຊີຊີcຕ້ານລີເວີpເບາະ: ໂຄງສ້າງຂາງ, ຕິດກັບປາຍດ້ານໜຶ່ງ ແລະ ເປັນອິດສະຫຼະຢູ່ປາຍອີກດ້ານໜຶ່ງ, ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວມີການອອກແບບທີ່ຮາບພຽງ ແລະ ຄ້າຍຄືກັບໄມ້ພາຍ.
ກຳລັງເຮັດວຽກpຫຼັກການຂອງຊີຊີcຕ້ານລີເວີpເບາະ:
ໄມ້ພາຍ cantilever ສາມາດເຄື່ອນຍ້າຍຂຶ້ນ ແລະ ລົງ ຫຼື ກັບໄປມາພາຍໃນຫ້ອງເຕົາໄຟ, ມັນສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອຍ້າຍແຜ່ນເວເຟີຈາກພື້ນທີ່ໂຫຼດໄປຫາພື້ນທີ່ປະມວນຜົນ, ຫຼືອອກຈາກພື້ນທີ່ປະມວນຜົນ, ສະຫນັບສະຫນູນ ແລະ ສະຖຽນລະພາບແຜ່ນເວເຟີໃນລະຫວ່າງການປະມວນຜົນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ.
| ຄຸນສົມບັດທາງກາຍະພາບຂອງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ຖືກນຳມາໃຊ້ໃໝ່ | |
| ຊັບສິນ | ຄ່າປົກກະຕິ |
| ອຸນຫະພູມການເຮັດວຽກ (°C) | 1600°C (ມີອົກຊີເຈນ), 1700°C (ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຫຼຸດລົງ) |
| ເນື້ອໃນ SiC | > 99.96% |
| ເນື້ອຫາ Si ຟຣີ | < 0.1% |
| ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງມວນສານ | 2.60-2.70 ກຣາມ/ຊມ33 |
| ຮູພຸນທີ່ປາກົດຂື້ນ | < 16% |
| ຄວາມແຮງຂອງການບີບອັດ | > 600 MPa |
| ຄວາມແຮງຂອງການບິດງໍເຢັນ | 80-90 MPa (20°C) |
| ຄວາມແຮງຂອງການບິດງໍຮ້ອນ | 90-100 MPa (1400°C) |
| ການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ @1200°C | 23 ວັດ/ມ•ກິໂລວັດ |
| ໂມດູນຄວາມຍືດຫຍຸ່ນ | 240 GPa |
| ຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນ | ດີຫຼາຍ |









