تضمن شركة vet-china أن كل منتج متينمجداف مناولة رقائق كربيد السيليكونيتميز هذا المنتج بأداءٍ ممتاز ومتانة فائقة. يستخدم هذا المجداف المصنوع من كربيد السيليكون لمعالجة رقائق أشباه الموصلات عمليات تصنيع متطورة لضمان استقراره الهيكلي ووظائفه حتى في درجات الحرارة العالية والبيئات التي تتعرض للتآكل الكيميائي. يوفر هذا التصميم المبتكر دعمًا ممتازًا لمعالجة رقائق أشباه الموصلات، وخاصةً للعمليات الآلية عالية الدقة.
مجداف ناتئ من كربيد السيليكونوهو مكون متخصص يستخدم في معدات تصنيع أشباه الموصلات مثل فرن الأكسدة وفرن الانتشار وفرن التلدين، ويتمثل الاستخدام الرئيسي في تحميل وتفريغ الرقائق، ودعم ونقل الرقائق أثناء العمليات ذات درجات الحرارة العالية.
الهياكل الشائعةلكربيد السيليكونcمضاد للرافعةpدمن: الهيكل الكابولي، المثبت من طرف واحد والحر من الطرف الآخر، عادة ما يكون له تصميم مسطح يشبه المجداف.
عملpالمبدألكربيد السيليكونcمضاد للرافعةpدمن:
يمكن للمجداف الكابولي أن يتحرك لأعلى ولأسفل أو ذهابًا وإيابًا داخل حجرة الفرن، ويمكن استخدامه لنقل الرقائق من مناطق التحميل إلى مناطق المعالجة، أو خارج مناطق المعالجة، ودعم وتثبيت الرقائق أثناء المعالجة بدرجة حرارة عالية.
| الخواص الفيزيائية لكربيد السيليكون المعاد تبلوره | |
| ملكية | القيمة النموذجية |
| درجة حرارة التشغيل (°م) | 1600 درجة مئوية (مع الأكسجين)، 1700 درجة مئوية (بيئة مختزلة) |
| محتوى كربيد السيليكون | > 99.96% |
| محتوى السيليكون الحر | أقل من 0.1% |
| الكثافة الظاهرية | 2.60-2.70 جم/سم3 |
| المسامية الظاهرية | أقل من 16% |
| قوة الضغط | > 600 ميجا باسكال |
| قوة الانحناء على البارد | 80-90 ميجا باسكال (20 درجة مئوية) |
| قوة الانحناء الساخن | 90-100 ميجا باسكال (1400 درجة مئوية) |
| التمدد الحراري عند 1500 درجة مئوية | 4.70 10-6/°C |
| الموصلية الحرارية عند 1200 درجة مئوية | 23 واط/م•ك |
| معامل المرونة | 240 جيجا باسكال |
| مقاومة الصدمات الحرارية | جيد للغاية |
