耐久性に優れた炭化ケイ素製ウェハーハンドリングパドル

vet-chinaは、すべての耐久性のある炭化ケイ素ウェハーハンドリングパドル優れた性能と耐久性を備えています。この炭化ケイ素製ウェーハハンドリングパドルは、高度な製造プロセスを採用することで、高温や化学腐食環境下でも構造的な安定性と機能性を維持します。この革新的な設計は、半導体ウェーハのハンドリング、特に高精度な自動化作業において優れたサポートを提供します。

SiCカンチレバーパドルは、酸化炉、拡散炉、焼鈍炉などの半導体製造装置で使用される特殊な部品であり、主な用途はウェーハのロードとアンロード、高温プロセス中のウェーハの支持と搬送です。

一般的な構造のSiCcアンチレバーpアドル: 片持ち梁構造とは、片端が固定され、もう一方の端が自由な構造で、一般的に平らでパドル状の形状をしている。

働くp原則のSiCcアンチレバーpアドル:

カンチレバーパドルは炉室内で上下または前後に移動でき、ウェーハをローディングエリアから処理エリアへ、または処理エリアから搬出するために使用でき、高温処理中にウェーハを支えて安定させる役割も果たします。