耐久性のある炭化ケイ素ウェーハハンドリングパドル

vet-china はあらゆる耐久性を保証します。炭化ケイ素ウェーハハンドリングパドル優れた性能と耐久性を持っています。この炭化ケイ素ウェーハハンドリングパドルは、高度な製造プロセスを使用して、高温および化学腐食環境下でも構造の安定性と機能が維持されることを保証します。この革新的な設計は、半導体ウェーハのハンドリング、特に高精度の自動化操作に優れたサポートを提供します。

SiCカンチレバーパドル酸化炉、拡散炉、アニール炉などの半導体製造装置に使用される特殊部品で、主な用途はウエハのロード・アンロード、高温プロセス時のウエハの支持・搬送です。

共通構造のSiCcアンチレバーpアドル: カンチレバー構造は、一端が固定され、もう一端が自由で、通常は平らでパドルのようなデザインです。

働くp原則のSiCcアンチレバーpアドル:

カンチレバーパドルは炉室内で上下または前後に移動でき、ウェーハをローディングエリアから処理エリアに移動したり、処理エリアから移動したりするために使用でき、高温処理中にウェーハを支持して安定させます。