vet-china는 모든 Durable 제품이탄화규소 웨이퍼 핸들링 패들탁월한 성능과 내구성을 자랑합니다. 이 실리콘 카바이드 웨이퍼 핸들링 패들은 첨단 제조 공정을 통해 고온 및 화학적 부식 환경에서도 구조적 안정성과 기능성을 유지하도록 설계되었습니다. 혁신적인 디자인은 특히 고정밀 자동화 작업에서 반도체 웨이퍼 핸들링을 위한 탁월한 지원을 제공합니다.
SiC 캔틸레버 패들반도체 제조 장비(산화로, 확산로, 어닐링로 등)에 사용되는 특수 부품으로, 주로 웨이퍼 로딩 및 언로딩, 고온 공정 중 웨이퍼 지지 및 이송에 사용됩니다.
일반적인 구조~의SiCc안티레버p썩다: 한쪽 끝이 고정되어 있고 다른 쪽 끝이 자유로운 캔틸레버 구조는 일반적으로 평평하고 노처럼 생긴 디자인을 가지고 있습니다.
일하고 있는p원칙~의SiCc안티레버p썩다:
캔틸레버 패들은 용광로 챔버 내에서 위아래 또는 앞뒤로 움직일 수 있으며, 웨이퍼를 로딩 영역에서 처리 영역으로 이동시키거나 처리 영역 밖으로 이동시키는 데 사용될 수 있고, 고온 처리 중 웨이퍼를 지지하고 안정화하는 역할을 합니다.
| 재결정된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 재산 | 일반적인 값 |
| 작동 온도 (°C) | 1600°C (산소 존재 시), 1700°C (환원 환경) |
| SiC 함량 | > 99.96% |
| 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 부피 밀도 | 2.60-2.70 g/cm3 |
| 겉보기 다공성 | 16% 미만 |
| 압축 강도 | > 600 MPa |
| 냉간 굽힘 강도 | 80-90 MPa (20°C) |
| 고온 굽힘 강도 | 90-100 MPa (1400°C) |
| 1500°C에서의 열팽창 | 4.70 10-6/°C |
| 1200°C에서의 열전도율 | 23 W/m•K |
| 탄성 계수 | 240 GPa |
| 열충격 저항성 | 매우 좋음 |
