vet-china는 모든 내구성을 보장합니다.실리콘 카바이드 웨이퍼 핸들링 패들성능과 내구성이 뛰어납니다. 이 탄화규소 웨이퍼 핸들링 패들은 고급 제조 공정을 사용하여 고온 및 화학적 부식 환경에서도 구조적 안정성과 기능이 유지되도록 보장합니다. 이 혁신적인 디자인은 특히 고정밀 자동화 작업을 위한 반도체 웨이퍼 핸들링에 탁월한 지원을 제공합니다.
SiC 캔틸레버 패들산화로, 확산로, 어닐링로 등 반도체 제조 장비에 사용되는 특수 부품으로, 주로 웨이퍼 로딩 및 언로딩, 고온 공정 시 웨이퍼 지지 및 이송에 사용됩니다.
일반적인 구조~의SiCc안틸레버p썩다: 한쪽 끝은 고정되고 다른 쪽 끝은 자유로운 캔틸레버 구조는 일반적으로 평평하고 패들 모양의 디자인을 갖습니다.
일하고 있는p원리~의SiCc안틸레버p썩다:
캔틸레버 패들은 퍼니스 챔버 내에서 위아래로 또는 앞뒤로 움직일 수 있으며, 웨이퍼를 로딩 영역에서 처리 영역으로 또는 처리 영역 밖으로 이동하여 고온 처리 중에 웨이퍼를 지지하고 안정화하는 데 사용할 수 있습니다.
| 재결정화된 탄화규소의 물리적 특성 | |
| 재산 | 일반적인 값 |
| 작동 온도(°C) | 1600°C(산소 포함), 1700°C(환원 환경) |
| SiC 함량 | > 99.96% |
| 무료 Si 콘텐츠 | < 0.1% |
| 부피 밀도 | 2.60-2.70g/cm23 |
| 겉보기 다공성 | < 16% |
| 압축 강도 | > 600MPa |
| 냉간 굽힘 강도 | 80-90MPa(20°C) |
| 뜨거운 굽힘 강도 | 90-100MPa(1400°C) |
| 열팽창 @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| 열전도도 @1200°C | 23W/m•K |
| 탄성률 | 240GPa |
| 열충격 저항 | 매우 좋음 |
