Vet-China tryggir að allir endingargóðirKísilkarbíðskífu meðhöndlunarspaðihefur framúrskarandi afköst og endingu. Þessi kísilkarbíð-skífumeðhöndlunarspaði notar háþróaða framleiðsluferla til að tryggja að uppbygging hans og virkni haldist stöðug í umhverfi með miklum hita og efnafræðilegri tæringu. Þessi nýstárlega hönnun veitir framúrskarandi stuðning við meðhöndlun hálfleiðaraskífa, sérstaklega fyrir sjálfvirkar aðgerðir með mikilli nákvæmni.
SiC Cantilever spaðaer sérhæfður íhlutur sem notaður er í framleiðslubúnaði fyrir hálfleiðara eins og oxunarofna, dreifingarofna og glæðingarofna, aðalnotkunin er til að hlaða og afferma skífur, styðja og flytja skífur við háhitaferli.
Algengar mannvirkiafSiCcvörnpfíkniefni: Sjálfberandi uppbygging, föst í öðrum endanum og laus í hinum, hefur yfirleitt flata og spaðlaga hönnun.
VinnapmeginreglaafSiCcvörnpfíkniefni:
Hægt er að hreyfa sveigjanlegan spaðann upp og niður eða fram og til baka innan ofnhólfsins og hann er hægt að nota til að færa skífur frá hleðslusvæðum til vinnslusvæða eða út úr vinnslusvæðum, til að styðja og stöðuga skífur við háhitavinnslu.
| Eðliseiginleikar endurkristölluðs kísilkarbíðs | |
| Eign | Dæmigert gildi |
| Vinnuhitastig (°C) | 1600°C (með súrefni), 1700°C (afoxandi umhverfi) |
| SiC innihald | > 99,96% |
| Ókeypis Si efni | < 0,1% |
| Þéttleiki rúmmáls | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Sýnileg gegndræpi | < 16% |
| Þjöppunarstyrkur | > 600 MPa |
| Kalt beygjuþol | 80-90 MPa (20°C) |
| Beygjustyrkur í heitu formi | 90-100 MPa (1400°C) |
| Varmaþensla @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Varmaleiðni @1200°C | 23 W/m•K |
| Teygjanleiki | 240 GPa |
| Varmaáfallsþol | Mjög gott |
