Бат бөх силикон карбидын вафли бариултай сэлүүр

вет-чина нь бат бөх чанарыг баталгаажуулдагЦахиурын карбидын вафли бариултай сэлүүрмаш сайн гүйцэтгэл, бат бөх чанартай. Энэхүү цахиурын карбидын вафлины сэлүүр нь өндөр температур болон химийн зэврэлтийн орчинд бүтцийн тогтвортой байдал, үйл ажиллагаагаа хадгалахын тулд дэвшилтэт үйлдвэрлэлийн процессыг ашигладаг. Энэхүү шинэлэг загвар нь хагас дамжуулагч вафлины сэлүүрийг боловсруулах, ялангуяа өндөр нарийвчлалтай автоматжуулсан үйл ажиллагаанд маш сайн дэмжлэг үзүүлдэг.

SiC Консолын сэлүүрнь исэлдэлтийн зуух, диффузийн зуух, шарах зуух зэрэг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжид ашиглагддаг тусгай бүрэлдэхүүн хэсэг бөгөөд гол хэрэглээ нь вафли ачих, буулгах, өндөр температурын процессын үед вафлиг дэмжих, тээвэрлэхэд зориулагдсан.

Нийтлэг бүтэц-ынSiCcмөнхийн эсрэгpдүүжин: нэг үзүүртээ бэхлэгдсэн, нөгөө үзүүртээ чөлөөтэй консолын бүтэц нь ихэвчлэн хавтгай, сэлүүртэй төстэй загвартай байдаг.

Ажиллаж байнаpзарчим-ынSiCcмөнхийн эсрэгpдүүжин:

Консолын сэлүүр нь зуухны камер дотор дээш доош эсвэл урагш хойш хөдөлж чаддаг бөгөөд үүнийг өндөр температурт боловсруулах явцад вафлиудыг дэмжиж, тогтворжуулахын тулд вафлиудыг ачих хэсгээс боловсруулах хэсэг рүү эсвэл боловсруулах хэсгээс гаргахад ашиглаж болно.