वेट-चाइना यह सुनिश्चित करता है कि प्रत्येक टिकाऊ उत्पादसिलिकॉन कार्बाइड वेफर हैंडलिंग पैडलइसमें उत्कृष्ट प्रदर्शन और टिकाऊपन है। सिलिकॉन कार्बाइड से बना यह वेफर हैंडलिंग पैडल उन्नत निर्माण प्रक्रियाओं का उपयोग करके उच्च तापमान और रासायनिक संक्षारण वाले वातावरण में भी अपनी संरचनात्मक स्थिरता और कार्यक्षमता को बनाए रखता है। यह अभिनव डिज़ाइन सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग के लिए उत्कृष्ट सहायता प्रदान करता है, विशेष रूप से उच्च परिशुद्धता वाले स्वचालित कार्यों के लिए।
SiC कैंटिलीवर पैडलयह ऑक्सीकरण भट्टी, प्रसार भट्टी और एनीलिंग भट्टी जैसे अर्धचालक निर्माण उपकरणों में उपयोग किया जाने वाला एक विशेष घटक है, जिसका मुख्य उपयोग वेफर को लोड और अनलोड करने, उच्च तापमान प्रक्रियाओं के दौरान वेफर्स को सहारा देने और परिवहन करने के लिए होता है।
सामान्य संरचनाएँकासिकcएंटीलीवरpसड़ा: एक कैंटिलीवर संरचना, जो एक सिरे पर स्थिर और दूसरे सिरे पर स्वतंत्र होती है, आमतौर पर एक सपाट और चप्पू जैसी आकृति की होती है।
कार्यरतpसिद्धांतकासिकcएंटीलीवरpसड़ा:
कैंटिलीवर पैडल भट्टी के कक्ष के भीतर ऊपर-नीचे या आगे-पीछे चल सकता है; इसका उपयोग वेफर्स को लोडिंग क्षेत्रों से प्रसंस्करण क्षेत्रों में ले जाने या प्रसंस्करण क्षेत्रों से बाहर निकालने के लिए किया जा सकता है, साथ ही उच्च तापमान प्रसंस्करण के दौरान वेफर्स को सहारा देने और स्थिर करने के लिए भी किया जा सकता है।
| पुन: क्रिस्टलीकृत सिलिकॉन कार्बाइड के भौतिक गुण | |
| संपत्ति | विशिष्ट मान |
| कार्यशील तापमान (°C) | 1600°C (ऑक्सीजन के साथ), 1700°C (अपचायक वातावरण) |
| SiC सामग्री | > 99.96% |
| निःशुल्क एसआई सामग्री | < 0.1% |
| थोक घनत्व | 2.60-2.70 ग्राम/सेमी3 |
| स्पष्ट सरंध्रता | < 16% |
| संपीड़न ताकत | > 600 एमपीए |
| ठंडे तापमान पर झुकने की क्षमता | 80-90 एमपीए (20°C) |
| गर्म झुकने की ताकत | 90-100 एमपीए (1400°C) |
| 1500°C पर ऊष्मीय प्रसार | 4.70 10-6/°C |
| 1200°C पर तापीय चालकता | 23 W/m•K |
| प्रत्यास्थ मापांक | 240 जीपीए |
| थर्मल शॉक प्रतिरोध | बहुत ही अच्छा |









