wet-china her bir çydamlylygy üpjün edýärSilikon karbidli waferli eltip berme kürekajaýyp öndürijilige we berklige eýedir. Bu kremniý karbidli waferi gaýtadan işleýän kürek, ýokary temperatura we himiki korroziýa gurşawynda gurluş durnuklylygynyň we funksiýasynyň saklanmagyny üpjün etmek üçin ösen önümçilik proseslerini ulanýar. Bu innowasion dizaýn, esasanam ýokary takyklykly awtomatlaşdyrylan operasiýalar üçin ýarymgeçirijili waferi gaýtadan işlemek üçin ajaýyp goldaw berýär.
SiC Konsolly Kürekoksidlenme peçi, diffuziýa peçi we ýumşatma peçi ýaly ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynda ulanylýan ýöriteleşdirilen bölek bolup, esasy ulanylyşy wafli ýüklemek we düşürmek üçin, ýokary temperatura proseslerinde waflileri goldaýar we daşaýar.
Umumy gurluşlar-nyňSiCcantiwiruspaddle: bir ujunda berkidilen, beýleki ujunda bolsa erkin konsol gurluşy, adatça, tekiz we kürek ýaly dizaýna eýedir.
Işleýärpprinsip-nyňSiCcantiwiruspaddle:
Konsol kürek peç kamerasynyň içinde ýokary we aşak ýa-da öňe we yza hereket edip bilýär, ol waferleri ýüklenýän ýerlerden gaýtadan işleýän ýerlere ýa-da gaýtadan işleýän ýerlerden daşamak, ýokary temperaturada gaýtadan işleýän mahalynda waferleri goldamak we durnuklaşdyrmak üçin ulanylyp bilner.
| Gaýtadan kristallaşdyrylan kremniý karbidiniň fiziki häsiýetleri | |
| Emläk | Adaty gymmatlyk |
| Iş temperaturasy (°C) | 1600°C (kislorod bilen), 1700°C (reduksasiýa gurşawy) |
| SiC mazmuny | > 99.96% |
| Mugt Si mazmuny | < 0.1% |
| Köp mukdarda dykyzlyk | 2.60-2.70 g/sm33 |
| Görünýän gözeneklilik | < 16% |
| Sykyş güýji | > 600 MPa |
| Sowuk egilme güýji | 80-90 MPa (20°C) |
| Gyzgyn egilme güýji | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termal giňelme @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Ýylylyk geçirijiligi @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastik modul | 240 GPa |
| Termal şoka garşylyk | Örän gowy |
-
Ýokary arassalykly grafit çubugynyň ýörite uglerod çubugynyň ýokary...
-
altyn we kümüş döküm galyplary Silikon galyp, Si...
-
Hytaýyň Grafit Podşipnik Öndürijisi Karbon Buş...
-
C/C Kompozit ýa-da Uglerod-Uglerod Kompozit Material
-
Gaýtadan zarýadlanýan element 12v wodorod ýangyç elementi 60w Pe...
-
Grafit turbalarynyň özleşdirilen zawody, inçe däneli ...



