Paleta duradera para manipulación de obleas de carburo de silicio

Breve descripción:

vet-china ofrece una excelente paleta de manipulación de obleas de carburo de silicio, duradera y de alto rendimiento, que combina un diseño innovador para garantizar una manipulación eficiente y segura de las obleas. Gracias a su durabilidad y precisión, la paleta de manipulación de obleas de carburo de silicio de vet-china es una herramienta indispensable en su proceso de fabricación de semiconductores, ya que mejora la eficiencia de la producción y reduce el riesgo de residuos.


Detalles del producto

Etiquetas de producto

vet-china garantiza que cada producto es duradero.Paleta para manipulación de obleas de carburo de silicioOfrece un rendimiento y una durabilidad excelentes. Esta paleta para manipulación de obleas de carburo de silicio utiliza procesos de fabricación avanzados para garantizar que su estabilidad estructural y funcionalidad se mantengan incluso en entornos de alta temperatura y corrosión química. Su diseño innovador proporciona un soporte óptimo para la manipulación de obleas de semiconductores, especialmente en operaciones automatizadas de alta precisión.

Paleta en voladizo de SiCEs un componente especializado que se utiliza en equipos de fabricación de semiconductores, como hornos de oxidación, hornos de difusión y hornos de recocido. Su principal función es la carga y descarga de obleas, así como el soporte y transporte de obleas durante procesos de alta temperatura.

Estructuras comunesdeSiccantipalancappodrido: Una estructura en voladizo, fija en un extremo y libre en el otro, suele tener un diseño plano y con forma de pala.

LaboralpprincipiodeSiccantipalancappodrido:

La paleta en voladizo puede moverse hacia arriba y hacia abajo o hacia adelante y hacia atrás dentro de la cámara del horno, y puede utilizarse para trasladar obleas desde las áreas de carga a las áreas de procesamiento, o fuera de las áreas de procesamiento, sosteniendo y estabilizando las obleas durante el procesamiento a alta temperatura.

Propiedades físicas del carburo de silicio recristalizado

Propiedad

Valor típico

Temperatura de funcionamiento (°C)

1600 °C (con oxígeno), 1700 °C (ambiente reductor)

Contenido de SiC

> 99,96%

Contenido gratuito de Si

< 0,1%

Densidad aparente

2,60-2,70 g/cm3

Porosidad aparente

< 16%

Resistencia a la compresión

> 600 MPa

Resistencia a la flexión en frío

80-90 MPa (20 °C)

Resistencia al doblado en caliente

90-100 MPa (1400 °C)

Expansión térmica a 1500 °C

4.70 10-6/°C

Conductividad térmica a 1200 °C

23 W/m•K

Módulo de elasticidad

240 GPa

Resistencia al choque térmico

Extremadamente bueno

Pala en voladizo9
Voladizo tipo pala8
生产设备1
公司客户1

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