دامپزشک-چین تضمین میکند که هر بادوامپد جابجایی ویفر سیلیکون کاربیدعملکرد و دوام عالی دارد. این پاروی جابجایی ویفر سیلیکون کاربید از فرآیندهای تولید پیشرفتهای استفاده میکند تا پایداری ساختاری و عملکرد آن در محیطهای با دمای بالا و خوردگی شیمیایی حفظ شود. این طراحی نوآورانه، پشتیبانی عالی برای جابجایی ویفر نیمههادی، به ویژه برای عملیات خودکار با دقت بالا، فراهم میکند.
پد کنسول SiCیک قطعه تخصصی است که در تجهیزات تولید نیمههادی مانند کوره اکسیداسیون، کوره انتشار و کوره آنیل مورد استفاده قرار میگیرد و کاربرد اصلی آن بارگیری و تخلیه ویفر، پشتیبانی و انتقال ویفرها در فرآیندهای دمای بالا است.
ساختارهای رایجازسی سیcضد اهرمpادل: یک سازهی طرهدار، که از یک سر ثابت و از سر دیگر آزاد است، معمولاً طرحی مسطح و پارو مانند دارد.
کار کردنpاصلازسی سیcضد اهرمpادل:
پاروییِ کنسول میتواند در داخل محفظه کوره به بالا و پایین یا جلو و عقب حرکت کند، میتوان از آن برای جابجایی ویفرها از مناطق بارگیری به مناطق پردازش یا خارج از مناطق پردازش استفاده کرد و ویفرها را در طول پردازش در دمای بالا پشتیبانی و تثبیت کرد.
| خواص فیزیکی کاربید سیلیکون تبلور مجدد یافته | |
| ملک | مقدار معمول |
| دمای کار (°C) | ۱۶۰۰ درجه سانتیگراد (با اکسیژن)، ۱۷۰۰ درجه سانتیگراد (محیط احیاکننده) |
| محتوای SiC | > ۹۹.۹۶٪ |
| محتوای رایگان Si | <0.1٪ |
| چگالی ظاهری | ۲.۶۰-۲.۷۰ گرم بر سانتیمتر مکعب3 |
| تخلخل ظاهری | کمتر از ۱۶٪ |
| استحکام فشاری | > 600 مگاپاسکال |
| استحکام خمشی سرد | ۸۰-۹۰ مگاپاسکال (۲۰ درجه سانتیگراد) |
| استحکام خمشی گرم | ۹۰-۱۰۰ مگاپاسکال (۱۴۰۰ درجه سانتیگراد) |
| انبساط حرارتی در دمای ۱۵۰۰ درجه سانتیگراد | ۴.۷۰ ۱۰-6/°C |
| رسانایی حرارتی در دمای ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد | ۲۳ وات بر متر • کلوین |
| مدول الاستیک | ۲۴۰ گیگا پاسکال |
| مقاومت در برابر شوک حرارتی | فوقالعاده خوب |
