Dayung Pengendalian Wafer Silikon Karbida Tahan Lama

vet-china memastikan bahawa setiap Tahan LamaDayung Pengendalian Wafer Silikon Karbidamempunyai prestasi dan ketahanan yang sangat baik. Dayung pengendalian wafer silikon karbida ini menggunakan proses pembuatan canggih untuk memastikan kestabilan struktur dan fungsinya kekal dalam persekitaran suhu tinggi dan kakisan kimia. Reka bentuk inovatif ini memberikan sokongan yang sangat baik untuk pengendalian wafer semikonduktor, terutamanya untuk operasi automatik berketepatan tinggi.

Dayung Cantilever SiCmerupakan komponen khusus yang digunakan dalam peralatan pembuatan semikonduktor seperti relau pengoksidaan, relau resapan dan relau penyepuhlindapan, kegunaan utamanya adalah untuk pemuatan dan pemunggahan wafer, menyokong dan mengangkut wafer semasa proses suhu tinggi.

Struktur biasadaripadaSiCcantileverpaddle: Struktur kantilever, yang dipasang pada satu hujung dan bebas di hujung yang lain, biasanya mempunyai reka bentuk yang rata dan seperti dayung.

BekerjapprinsipdaripadaSiCcantileverpaddle:

Dayung kantilever boleh bergerak ke atas dan ke bawah atau ke depan dan ke belakang di dalam ruang relau, ia boleh digunakan untuk menggerakkan wafer dari kawasan pemuatan ke kawasan pemprosesan, atau keluar dari kawasan pemprosesan, menyokong dan menstabilkan wafer semasa pemprosesan suhu tinggi.