Прочная лопатка для работы с кремниево-карбидными пластинами

Краткое описание:

Компания vet-china предлагает превосходные прочные лопатки для работы с кремниевыми пластинами из карбида кремния, сочетающие в себе высокую производительность и инновационный дизайн, что обеспечивает эффективную и безопасную обработку пластин. Благодаря своей прочности и точности, лопатки для работы с кремниевыми пластинами из карбида кремния от vet-china являются незаменимым инструментом в вашем процессе производства полупроводников, повышая эффективность производства и снижая риск образования отходов.


Подробная информация о товаре

Метки товаров

vet-china гарантирует, что каждый прочныйЛопатка для перемещения кремниевых пластинОбладает превосходными характеристиками и долговечностью. Эта лопатка для перемещения кремниевых пластин изготовлена ​​с использованием передовых производственных процессов, обеспечивающих сохранение структурной стабильности и функциональности в условиях высоких температур и химической коррозии. Эта инновационная конструкция обеспечивает отличную поддержку при работе с полупроводниковыми пластинами, особенно в высокоточных автоматизированных операциях.

SiC консольная лопастьЭто специализированный компонент, используемый в оборудовании для производства полупроводников, таком как печи для окисления, диффузионные печи и печи для отжига. Его основное назначение — загрузка и выгрузка пластин, а также поддержка и транспортировка пластин во время высокотемпературных процессов.

Общие структурыизSiCcантирычагpспятить: Консольная конструкция, закрепленная с одного конца и свободная с другого, обычно имеет плоскую, лопатообразную форму.

РаботающийpпринципизSiCcантирычагpспятить:

Лопасть консольного механизма может перемещаться вверх и вниз или вперед и назад внутри камеры печи, ее можно использовать для перемещения пластин из зон загрузки в зоны обработки или из зон обработки, поддерживая и стабилизируя пластины во время высокотемпературной обработки.

Физические свойства перекристаллизованного карбида кремния

Свойство

Типичное значение

Рабочая температура (°C)

1600 °C (с кислородом), 1700 °C (восстановительная среда)

содержание SiC

> 99,96%

Содержание свободного Si

< 0,1%

Объемная плотность

2,60-2,70 г/см³3

Кажущаяся пористость

< 16%

Прочность на сжатие

> 600 МПа

Прочность на изгиб в холодном состоянии

80-90 МПа (20°C)

Прочность на горячую гибку

90-100 МПа (1400°C)

Тепловое расширение при 1500 °C

4.70 10-6/°C

Теплопроводность при 1200 °C

23 Вт/м•К

Модуль упругости

240 ГПа

Устойчивость к термическому шоку

Очень хорошо

Консольная лопатка9
Консольная лопасть8
生产设备1
公司客户1

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Онлайн-чат в WhatsApp!