SiC-pinnoitteella varustetut grafiitti-MOCVD-kiekkojen kantajat, suskeptorit

SiC-pinnoitteella päällystetyt grafiittiset MOCVD-kiekkojen kantajat, suskeptorit, esittelykuva

Lyhyt kuvaus:

VET Energyn piikarbidipäällysteinen MOCVD-suskeptori epitaksiaaliseen kasvuun on tehokas tuote, joka on suunniteltu tarjoamaan tasaista ja luotettavaa suorituskykyä pitkän aikaa. Sillä on erittäin hyvä lämmönkestävyys ja terminen tasaisuus, korkea puhtausaste ja eroosiokestävyys, mikä tekee siitä täydellisen ratkaisun kiekkojen käsittelysovelluksiin.

Lähetä meille sähköpostia Lataa PDF-tiedostona

Tuotetiedot

Tuotetunnisteet

SiC-pinnoitegrafiitti MOCVD-kiekkojen kantajat/suskeptori

Kaikki suskeptorimme on valmistettu erittäin lujasta isostaattisesta grafiitista. Hyödynnä grafiittiemme korkeaa puhtautta – ne on kehitetty erityisesti haastaviin prosesseihin, kuten epitaksiaan, kiteenkasvatukseen, ioni-istutukseen ja plasmaetsaukseen, sekä LED-sirujen tuotantoon.

Tuotteidemme ominaisuudet:

1. Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys jopa 1700 ℃:iin asti.
2. Korkea puhtaus ja terminen tasaisuus
3. Erinomainen korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
4. Korkea kovuus, tiivis pinta, hienot hiukkaset.
5. Pidempi käyttöikä ja kestävämpi

Sydän- ja verisuonitauti SiC薄膜基本物理性能 CVD-piikarbidin perusfysikaaliset ominaisuudetpinnoite
性质 / Kiinteistö	典型数值 / Tyypillinen arvo
晶体结构 / Kristallirakenne	FCC β-vaihe多晶，主要为（111）取向
密度 / Tiheys	3,21 g/cm³
硬度 / Kovuus	2500 维氏硬度 (500 g kuorma)
晶粒大小 / Viljan koko	2–10 μm
纯度 / Kemiallinen puhtaus	99,99995 %
热容 / Lämpökapasiteetti	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimaatiolämpötila	2700 ℃
抗弯强度 / Taivutuslujuus	415 MPa RT 4-piste
杨氏模量 Youngin moduuli	430 Gpa 4pt mutka, 1300 ℃
导热系数 / ThermalJohtavuus	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Lämpölaajeneminen (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy on räätälöityjen grafiitti- ja piikarbidituotteiden valmistaja, joka tarjoaa erilaisia pinnoitteita, kuten SiC-, TaC-, lasihiili- ja pyrolyyttistä hiilipinnoitetta. Se voi toimittaa erilaisia räätälöityjä osia puolijohde- ja aurinkosähköteollisuudelle.

Tekninen tiimimme tulee kotimaisista huippututkimuslaitoksista ja voi tarjota sinulle ammattimaisempia materiaaliratkaisuja.

Kehitämme jatkuvasti edistyneitä prosesseja tarjotaksemme edistyneempiä materiaaleja, ja olemme kehittäneet ainutlaatuisen patentoidun teknologian, joka voi tehdä pinnoitteen ja alustan välisestä sidoksesta tiiviimmän ja vähemmän alttiita irtoamiselle.

Lämpimästi tervetuloa tutustumaan tehtaaseemme, keskustellaan lisää!