CVD prsten za fokusiranje premaza za plazma je ključna potrošna komponenta koja se koristi u naprednim sustavima za jetkanje poluvodiča. Izrađen s kompozitnom strukturom podloge + CVD premaza, ovaj je proizvod dizajniran za optimizaciju distribucije plazme, poboljšanje ujednačenosti jetkanja i produljenje vijeka trajanja komponenti komore.
U Vet Energyju koristimo duboko stručno znanje u tehnologiji kemijskog taloženja iz pare (CVD) i naprednim keramičkim materijalima kako bismo isporučili fokusne prstenove koji zadovoljavaju stroge zahtjeve modernih poluvodičkih čvorova, uključujući FinFET i 3D NAND procese.
Uloga fokusnog prstena u plazma jetkanju
U sustavima za plazma jetkanje (kao što su ICP i CCP reaktori), fokusni prsten je postavljen oko ruba pločice i igra vitalnu ulogu u stabilnosti procesa i prinosu.
1. Kontrola ujednačenosti plazme
Fokusni prsten djeluje kao električna i fizička granica koja pomaže u regulaciji raspodjele gustoće plazme po površini pločice.
Ključne prednosti:
● Poboljšana ujednačenost brzine jetkanja
● Smanjena varijacija od središta do ruba
● Poboljšana ponovljivost procesa
2. Kompenzacija rubnog efekta
Bez fokusnog prstena, izobličenje plazma omotača na rubu pločice može dovesti do nejednolikog nagrizanja.
Fokusni prsten učinkovito funkcionira kao "virtualno proširenje pločice", minimizirajući anomalije povezane s rubovima kao što su:
● Prekomjerno jetkanje na rubovima pločice
● Odstupanje kritične dimenzije (CD)
● Izobličenje profila
3. Putanja iona i kontrola energije
Utjecajem na lokalno električno polje, fokusni prsten pomaže u stabilizaciji kutova upada iona i raspodjele energije, što je ključno za:
● Jetkanje s visokim omjerom stranica (HAR)
● Anizotropna kontrola profila
● Smanjeno oštećenje bočnih stijenki
4. Zaštita komore i smanjenje kontaminacije
Kao žrtvena komponenta, fokusni prsten apsorbira izravnu izloženost plazmi i nusprodukte taloženja.
Rezultirajuće prednosti:
● Smanjena erozija stijenki komore
● Manja kontaminacija česticama
● Produženi ciklusi održavanja (intervali preventivnog održavanja)
