CVD dangos fokusavimo žiedas plazminiam ėsdinimui yra labai svarbus eksploatacinis komponentas, naudojamas pažangiose puslaidininkių ėsdinimo sistemose. Šis produktas, pagamintas iš substrato ir CVD dangos kompozicinės struktūros, skirtas optimizuoti plazmos pasiskirstymą, pagerinti ėsdinimo vienodumą ir pailginti kameros komponentų tarnavimo laiką.
„Vet Energy“ pasitelkia didelę cheminio garinimo nusodinimo (CVD) technologijos ir pažangių keraminių medžiagų patirtį, kad sukurtų fokusavimo žiedus, kurie atitinka griežtus šiuolaikinių puslaidininkinių mazgų, įskaitant „FinFET“ ir 3D NAND procesus, reikalavimus.
Fokusavimo žiedo vaidmuo plazminio ėsdinimo metu
Plazminio ėsdinimo sistemose (pvz., ICP ir CCP reaktoriuose) fokusavimo žiedas yra aplink plokštelės kraštą ir atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį proceso stabilumui ir našumui.
1. Plazmos vienodumo kontrolė
Fokusavimo žiedas veikia kaip elektrinė ir fizinė riba, padedanti reguliuoti plazmos tankio pasiskirstymą per plokštelės paviršių.
Pagrindiniai privalumai:
● Pagerintas ėsdinimo greičio vienodumas
● Sumažintas skirtumas nuo centro iki krašto
● Pagerintas proceso kartojamumas
2. Briaunų efekto kompensavimas
Be fokusavimo žiedo, plazmos apvalkalo iškraipymas plokštelės krašte gali sukelti netolygų ėsdinimą.
Fokusavimo žiedas efektyviai veikia kaip „virtualus plokštelės prailginimas“, sumažindamas su kraštais susijusias anomalijas, tokias kaip:
● Per didelis ėsdinimas ant plokštelių kraštų
● Kritinio matmens (CD) nuokrypis
● Profilio iškraipymas
3. Jonų trajektorija ir energijos valdymas
Fokusavimo žiedas, paveikdamas vietinį elektrinį lauką, padeda stabilizuoti jonų kritimo kampus ir energijos pasiskirstymą, o tai yra labai svarbu:
● Didelio kraštinių santykio (HAR) ėsdinimas
● Anizotropinio profilio valdymas
● Sumažintas šoninių sienelių pažeidimas
4. Kameros apsauga ir užterštumo mažinimas
Kaip aukojimo komponentas, fokusavimo žiedas sugeria tiesioginį plazmos poveikį ir nusėdimo šalutinius produktus.
Gauti privalumai:
● Sumažėjusi kameros sienelių erozija
● Mažesnis dalelių užterštumas
● Ilgesni techninės priežiūros ciklai (PM intervalai)
