vet-china presenterar den innovativa Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, en heltäckande lösning för avancerad halvledarbearbetning. Detta waferhanteringssystem är designat med noggrann precision och ger oöverträffad stabilitet och uppriktning, vilket är avgörande för högeffektiva tillverkningsmiljöer.
Vertical Column Wafer Boat & Pedestal är konstruerad med premiummaterial som garanterar termisk stabilitet och motståndskraft mot kemisk korrosion, vilket gör den lämplig för de mest krävande halvledartillverkningsprocesserna. Dess unika vertikala kolumndesign stöder wafers säkert, vilket minskar risken för feljustering och potentiella skador under transport och bearbetning.
Med integrationen av vet-Chinas Vertical Column Wafer Boat & Pedestal kan halvledartillverkare förvänta sig förbättrad genomströmning, minimerad driftstopp och ökad produktutbyte. Detta system är kompatibelt med olika waferstorlekar och konfigurationer, vilket erbjuder flexibilitet och skalbarhet för olika produktionsbehov.
vet-Chinas engagemang för excellens säkerställer att varje vertikal kolumnwaferbåt och piedestal uppfyller de högsta standarderna för kvalitet och prestanda. Genom att välja denna banbrytande lösning investerar du i en framtidssäker metod för waferhantering som maximerar effektivitet och tillförlitlighet inom halvledartillverkning.
Egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid
Omkristalliserad kiselkarbid (R-SiC) är ett högpresterande material med en hårdhet som är näst efter diamant, vilken bildas vid en hög temperatur över 2000 ℃. Den behåller många av SiC:s utmärkta egenskaper, såsom hög temperaturhållfasthet, stark korrosionsbeständighet, utmärkt oxidationsbeständighet, god termisk chockbeständighet och så vidare.
● Utmärkta mekaniska egenskaper. Omkristalliserad kiselkarbid har högre hållfasthet och styvhet än kolfiber, hög slagtålighet, kan prestera bra i extrema temperaturmiljöer och ge bättre motviktsprestanda i en mängd olika situationer. Dessutom har den god flexibilitet och skadas inte lätt av sträckning och böjning, vilket avsevärt förbättrar dess prestanda.
● Hög korrosionsbeständighet. Omkristalliserad kiselkarbid har hög korrosionsbeständighet mot en mängd olika medier, kan förhindra erosion av en mängd olika korrosiva medier, kan bibehålla sina mekaniska egenskaper under lång tid, har stark vidhäftning, vilket ger en längre livslängd. Dessutom har den god termisk stabilitet, kan anpassa sig till ett visst temperaturområde och förbättra dess appliceringseffekt.
● Sintring krymper inte. Eftersom sintringsprocessen inte krymper kommer ingen kvarvarande spänning att orsaka deformation eller sprickbildning i produkten, och delar med komplexa former och hög precision kan framställas.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 使用温度/ Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
| Sic含量/ SiC-innehåll | > 99,96 % |
| 自由Si含量/ Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
| 体积密度/Skrymdensitet | 2,60–2,70 g/cm²3 |
| 气孔率/ Skenbar porositet | < 16 % |
| 抗压强度/ Kompressionsstyrka | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kall böjhållfasthet | 80–90 MPa (20 °C) |
| 高温抗弯强度Varm böjhållfasthet | 90–100 MPa (1400 °C) |
| 热膨胀系数/ Termisk expansion vid 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Värmeledningsförmåga vid 1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elasticitetsmodul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termisk chockbeständighet | Extremt bra |
VET Energy är deriktig tillverkare av kundanpassade grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikaanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. OVårt tekniska team kommer från topprankade inhemska forskningsinstitutioner och kan erbjuda mer professionella materiallösningarför dig.
Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material,ochhar utarbetat en exklusiv patenterad teknik som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β-fas多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度（500g last） |
| 晶粒大小 / Kornstorlek | 2~10 μm |
| 纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Böjhållfasthet | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt böjning, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermajagLedningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera det vidare!
