vet-china presenterer den innovative Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, en omfattende løsning for avansert halvlederprosessering. Dette waferhåndteringssystemet er designet med nitid presisjon og gir uovertruffen stabilitet og justering, noe som er avgjørende for høyeffektive produksjonsmiljøer.
Vertical Column Wafer Boat & Pedestal er konstruert med førsteklasses materialer som garanterer termisk stabilitet og motstand mot kjemisk korrosjon, noe som gjør den egnet for de mest krevende halvlederfabrikasjonsprosessene. Den unike vertikale søyledesignen støtter wafere sikkert, noe som reduserer risikoen for feiljustering og potensiell skade under transport og prosessering.
Med integreringen av vet-Chinas Vertical Column Wafer Boat & Pedestal kan halvlederprodusenter forvente forbedret gjennomstrømning, minimert nedetid og økt produktutbytte. Dette systemet er kompatibelt med ulike waferstørrelser og -konfigurasjoner, og tilbyr fleksibilitet og skalerbarhet for ulike produksjonsbehov.
vet-Chinas forpliktelse til kvalitet sikrer at hver vertikale kolonne-waferbåt og -sokkel oppfyller de høyeste standardene for kvalitet og ytelse. Ved å velge denne banebrytende løsningen investerer du i en fremtidssikker tilnærming til waferhåndtering som maksimerer effektivitet og pålitelighet i halvlederproduksjon.
Egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid
Rekrystallisert silisiumkarbid (R-SiC) er et høytytende materiale med en hardhet som kun overgår diamant, og som dannes ved høye temperaturer over 2000 ℃. Det beholder mange av SiCs utmerkede egenskaper, som høy temperaturstyrke, sterk korrosjonsbestandighet, utmerket oksidasjonsmotstand, god termisk sjokkmotstand og så videre.
● Utmerkede mekaniske egenskaper. Rekrystallisert silisiumkarbid har høyere styrke og stivhet enn karbonfiber, høy slagfasthet, kan gi god ytelse i ekstreme temperaturmiljøer, kan gi bedre motvektsytelse i en rekke situasjoner. I tillegg har den god fleksibilitet og blir ikke lett skadet av strekking og bøying, noe som forbedrer ytelsen betraktelig.
● Høy korrosjonsbestandighet. Rekrystallisert silisiumkarbid har høy korrosjonsbestandighet mot en rekke medier, kan forhindre erosjon av en rekke korrosive medier, kan opprettholde sine mekaniske egenskaper over lang tid, har sterk vedheft, slik at den har lengre levetid. I tillegg har den også god termisk stabilitet, kan tilpasse seg et visst temperaturområde og forbedre påføringseffekten.
● Sintring krymper ikke. Fordi sintringsprosessen ikke krymper, vil ingen gjenværende spenning forårsake deformasjon eller sprekkdannelser i produktet, og deler med komplekse former og høy presisjon kan fremstilles.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysiske egenskaper til omkrystallisert silisiumkarbid | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Typisk verdi |
| 使用温度/ Arbeidstemperatur (°C) | 1600 °C (med oksygen), 1700 °C (reduserende miljø) |
| SiC含量/ SiC-innhold | > 99,96 % |
| 自由Si含量/ Gratis Si-innhold | < 0,1 % |
| 体积密度/Bulktetthet | 2,60–2,70 g/cm²3 |
| 气孔率/ Tilsynelatende porøsitet | < 16 % |
| 抗压强度/ Kompresjonsstyrke | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kald bøyningsstyrke | 80–90 MPa (20 °C) |
| 高温抗弯强度Varm bøyningsstyrke | 90–100 MPa (1400 °C) |
| 热膨胀系数/ Termisk ekspansjon @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Varmeledningsevne @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastisitetsmodul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termisk sjokkmotstand | Ekstremt bra |
VET Energi er deekte produsent av tilpassede grafitt- og silisiumkarbidprodukter med CVD-belegg,kan leverediverseTilpassede deler for halvleder- og solcelleindustrien. OVårt tekniske team kommer fra topp innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby mer profesjonelle materialløsningerfor deg.
Vi utvikler kontinuerlig avanserte prosesser for å tilby mer avanserte materialer,oghar utviklet en eksklusiv patentert teknologi som kan gjøre bindingen mellom belegget og underlaget tettere og mindre utsatt for løsning.
| Hjerte- og kardiovaskulær sykdom SiC薄膜基本物理性能 Grunnleggende fysiske egenskaper til CVD SiCbelegg | |
| 性质 / Eiendom | 典型数值 / Typisk verdi |
| 晶体结构 / Krystallstruktur | FCC β-fase多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Tetthet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hardhet | 2500 维氏硬度（500g belastning） |
| 晶粒大小 / Kornstørrelse | 2~10 μm |
| 纯度 / Kjemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Varmekapasitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Bøyestyrke | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøy, 1300 ℃ |
| 导热系数 / TermalKonduktivitet | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk ekspansjon (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Hjertelig velkommen til å besøke fabrikken vår, la oss snakke videre!
